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primes MicroSpotMonitor MSM Originalbetriebsanleitung Seite 64

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MicroSpotMonitor MSM
Z-Position
Dieser Wert gibt die Lage der Fokuspunkte in der z-Richtung an. Da die Ausgleichskurve alle Messpunkte
berücksichtigt, ist die berechnete z-Position nicht zwingend am Ort des kleinsten gemessenen Strahlradius.
Fokusradius
Der Fokusradius ist der kleinste Strahlradius in der Kaustik. In der Regel ist dieser Wert dem kleinsten ge-
messenen Wert ähnlich.
Aus verschiedenen Gründen kann es vorkommen, dass keine Anpassung an die Messwerte durchgeführt
wurde. Dies ist dadurch zu erkennen, dass die Ausgleichskurve grob neben den Messwerten liegt. In diesem
Fall sind die Parameter der angepassten Ausgleichskurve zu verwerfen.
Rayleighlänge
Die Rayleighlänge ist ein abgeleiteter Parameter und beschreibt den Abstand vom Fokus in z-Richtung, bei
dem der Strahlradius um den Faktor √2 (=1.41) zugenommen und die Strahlfläche um den Faktor 2 zuge-
nommen hat. Die Rayleighlänge wächst mit der Brennweite der Fokussieroptik und der Strahlqualität. Die
doppelte Rayleighlänge ist ein ungefährer Anhaltspunkt, bis zu welcher Materialdicke (Metall) eine Bearbei-
tung mit der eingesetzten Optik möglich ist.
Damit die angepassten Werte eine möglichst hohe Aussagekraft besitzen, ist die Messung über einen
z-Bereich von mindestens ±2 Rayleighlängen durchzuführen. Wie in der ISO 11146 gefordert, sind 5 bis 6
Rayleighlängen ideal. Dieser Forderung steht jedoch die manchmal schnell sinkende Leistungsdichte des
zu vermessenden Laserstrahls gegenüber. Bei einem Abstand von 2 Rayleighlängen vom Fokus ist die
Leistungsdichte auf ein Viertel abgesunken.
Die Kaustikmessung besteht in diesem Fall aus einem Kompromiss zwischen dem gewünschten
Messbereich in der z-Richtung und der zu einer einwandfreien Messung notwendigen Leistungsdichte (Sig-
nal/Rausch-Verhältnis).
Zyklische Kaustikmessungen
Zur Durchführung zyklischer Kaustikmessungen sollten die Einstellungen der verschiedenen
Aufnahmeparameter in einer Datei gespeichert werden. Diese Daten sind dann bei Bedarf jederzeit verfügbar
und können für eine neue Messung verwendet werden. Für eine „schnelle" Prüfung des Strahls empfiehlt sich
eine Messung mit nur wenigen Ebenen, wobei bei Bedarf auch nur ein Teil der Kaustik ausgemessen wird.
Solch ein Messzyklus ist in der Regel innerhalb von 2 bis 3 Minuten beendet; mit einer Ethernet-Verbindung
wesentlich schneller. Für Prüfungen nach einem Laser- und Anlagenservice bietet sich eine Messung mit
mehr Ebenen an, weil hier die Messergebnisse mit höherer Genauigkeit ermittelt werden.
Zum Start der Messung werden die gespeicherten Kaustikdaten aus einer Voreinstellungsdatei geladen (Me-
nü Datei > Voreinstellungen laden). Nach der Eingabe des gewünschten Dateinamens werden die entspre-
chenden Daten geladen.
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Revision 01/2019 DE

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