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MicroSpotMonitor MSM
13.5.8
Einzelmessung (Menü Messung > Einzelmessung)
Dieser Menüpunkt dient dem Ausführen von Einzelmessungen. Die dazu notwendigen Einstellungen der
Messfensterposition können manuell oder automatisch vorgenommen werden. Bei Geräten mit x- und y-
Achsen ist der anfahrbare Messbereich von 2 mm x 2 mm sehr viel größer als das größte Messfenster. Es
empfiehlt sich daher eine Strahlsuche manuell durchzuführen oder die Scan-Funktion zu benutzen.
Wird ein Scan ausgelöst, tastet der MicroSpotMonitor MSM automatisch den Messbereich ab. Ist ein Punkt
maximaler Intensität ermittelbar, zoomt der MicroSpotMonitor MSM automatisch auf dieses Gebiet und passt
die Messfenstergröße an. Besitzt das Gerät keine x- oder y-Achse, so kann zum automatischen Messen
auch die Strahlsuche-Funktion verwendet werden.
Das System sucht dabei nur im Gebiet des aktuell eingestellten Fensters auf der eingestellten z-Position.
Danach erscheint das Fenster Strahlsuche. Wird die Strahlsuche erfolgreich abgeschlossen, so wird ein
Messfenster geeigneter Größe und Position im Messfeld des Einzelmessungsfensters eingeblendet. Mit der
Schaltfläche Messung kann dann der Strahl aufgenommen werden. Die Größe des Messfensters hängt von
der Vergrößerung des Messobjektivs ab. Einflussgrößen sind hierbei Objektivtyp, die Wellenlänge und der
Betriebsmode (Standard, Strahlwegverlängerung und Justage Mode).
Abb. 13.14: Dialogfenster Messeinstellungen
Bei der manuellen Strahlsuche können Sie die Lage und die Größe des Messfensters innerhalb der mechani-
schen Grenzen selbst festlegen. Wählen Sie [x] für quadratische bzw. [x] und [y] für rechteckige Messfenster.
Die Lage des Messfensters wird durch Anklicken und Verschieben des Rahmens mit der Maus verändert. Die
Lage des Fensters in z-Richtung (Höhe) kann durch den z-Schieberegler oder über eine numerische Eingabe
festgelegt werden. Die Zoom-Funktion ermöglicht eine Detailvergrößerung des Messbereichs.
Eine Messung wird mit der Schaltfläche Start gestartet. Der Messmodus Monitor startet eine fortlaufend
wiederholende Messung mit aktuellen Einstellungen. Die Wiederholrate ist abhängig von der räumlichen Auf-
lösung und der Art der Kommunikation PC-MicroSpotMonitor MSM.
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Revision 01/2019 DE
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