Inhaltsverzeichnis - Edwards AIM-S-NW25 Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einführung ......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
1.2 Beschreibung ............................................................................................................. 1
1.3 Gasabhängigkeit ......................................................................................................... 2
2 Technische Daten ................................................................................. 5
2.1 Mechanische Daten ...................................................................................................... 5
2.2 Leistung, Betriebs- und Lagerungsbedingungen ..................................................................... 5
2.3 Elektrische Daten ........................................................................................................ 7
2.4 Fehlerüberwachung ...................................................................................................... 7
2.5 Werkstoffe im Vakuum .................................................................................................. 8
3 Installation ......................................................................................... 9
3.1 Auspacken und Überprüfen ............................................................................................. 9
3.2 Anschluss der AIM-Messröhre an das Vakuumsystem ............................................................... 9
3.3 Elektrische Anschlüsse .................................................................................................. 9
3.3.1 Anschluss an Edwards-Controller oder AGD-Display ................................................................ 9
3.3.2 Anschluss an Ihre eigene Stromversorgung und Steuereinrichtung .............................................. 10
4 Betrieb ........................................................................................... 13
4.1 Sicherheit ................................................................................................................ 13
4.2 Aktivieren und Deaktivieren der AIM-Messröhre ................................................................... 13
4.3 Druckmessung ...........................................................................................................13
4.4 Schaltpunkt .............................................................................................................. 14
5 Wartung .......................................................................................... 15
5.1 Einführung ............................................................................................................... 15
5.2 Austausch der Röhre ....................................................................................................15
5.2.1 Entfernen der AIM-Messröhre vom Vakuumsystem .................................................................15
5.2.2 Anbringen der neuen Röhre ...........................................................................................15
5.2.3 Erneutes Anbringen der AIM-Messröhre am Vakuumsystem ......................................................15
5.3 Austausch der Elektrodenbaugruppe ................................................................................. 17
5.4 Austausch des Elektronik- und Magnetgehäuses ................................................................... 17
5.5 Reinigung der Innenteile ...............................................................................................17
5.6 Fehlersuche .............................................................................................................. 18
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 19
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 19
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 19
6.3 Rücksendung von Ausrüstung oder Bauteilen an den Kundendienst ............................................ 19
7 Ersatzteile und Zubehör ....................................................................... 21
7.1 Einführung ............................................................................................................... 21
7.2 Ersatzteile ............................................................................................................... 21
7.3 Zubehör .................................................................................................................. 21
© Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten.
D14641882 Issue L
Seite
Seite i