Inhaltsverzeichnis
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Einleitung
1.1
Umfang und Definitionen
Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb und Wartung der Edwards Compound-
Turbomolekularpumpen der Baureihe EXT556H. Lesen Sie sich alle Anweisungen in diesem Handbuch sorgfältig durch,
und beachten Sie sie.
Die Pumpe EXT556H ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXC- oder EXDC-Controller von Edwards ausgelegt.
Lesen Sie sich dieses Handbuch und die zusammen mit Ihrem Controller gelieferte Betriebsanleitung durch, bevor Sie
versuchen, das Gerät aufzustellen oder in Betrieb zu nehmen. Das Controller-Handbuch enthält die Einzelheiten der
elektrischen Installation.
Wichtige Sicherheitsinformationen sind in eigenen Kästen unter den Überschriften WARNUNG und VORSICHT
besonders hervorgehoben. Halten Sie sich an diese Anweisungen. Die Verwendung von Warnungs- und
Vorsichtsanweisungen ist nachfolgend definiert.
Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um
Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.
Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen, den damit verbundenen Geräten oder Prozessen zu vermeiden.
In Übereinstimmung mit den Empfehlungen von EN61010 können auf der Pumpe oder ihren Zubehörteilen die
folgenden Warnsymbole angebracht sein:
Achtung – vor Inbetriebnahme unbedingt beigefügte Dokumentation lesen!
Achtung – Stromschlaggefahr!
Achtung – Verbrennungsgefahr durch heiße Oberflächen!
Achtung – starke Anziehungskräfte entstehen, wenn die Pumpe magnetischen Feldern ausgesetzt wird.
Die in dieser Betriebsanleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem Maßeinheitensystem SI.
Ebenso wird in dieser Betriebsanleitung für die Spezifikation von Durchfluss- bzw. Durchsatzraten immer
die Abkürzung „sccm" verwendet, die Standard cm
3
-1
1 cm
min
bei einer Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von 1013 mbar (1.013 x 10
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
3
-1
min
bedeutet: Dies ist ein Durchfluss bzw. Durchsatz von
B777-50-882 Issue C
5
Pa).
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