1
Einleitung
1.1
Umfang des Handbuchs und Erklärung der Sicherheitshinweise
Diese Betriebsanleitung beschreibt die Installation, den Betrieb und die Wartung der Edwards Compound-
Molekularpumpen EXT255H, EXT255Hi und EXT255HVi. Die Pumpen sind ausschließlich nach den Anweisungen in
diesem Handbuch zu betreiben.
Die Compound-Molekularpumpen der Reihe EXT sind für den Betrieb in Verbindung mit einem der Edwards EXC-
Controller ausgelegt. Lesen Sie dieses Handbuch sowie die Anleitung, die Sie mit Ihrem EXC-Controller erhalten
haben, bitte gründlich durch, bevor Sie versuchen, die Pumpe zu installieren oder in Betrieb zu nehmen. In der
Anleitung der EXC-Controller wird beschrieben, wie die Pumpsysteme einzurichten sind und wie das lieferbare
Zubehör (Luftkühler, Belüftungsventile, Ausheizmanschetten usw.) zu verwenden ist.
Wichtige Sicherheitsinformationen sind mit WARNUNG und VORSICHT überschrieben. Die so gekennzeichneten
Informationen sind unbedingt zu beachten. Die mit WARNUNG bzw. VORSICHT überschriebenen Hinweise
unterscheiden sich wie folgt:
Bei Nichtbeachtung von Hinweisen, die mit WARNUNG gekennzeichnet sind, besteht Verletzungs-
oder Lebensgefahr
Wenn mit VORSICHT überschriebene Hinweise nicht beachtet werden, kann das betreffende Produkt bzw. die
angeschlossene Ausrüstung oder die gesamte Anlage beschädigt werden.
Gemäß den Empfehlungen der EN61010 können auf den Pumpen bzw. auf dem Zubehör die folgenden Warnsymbole
angebracht sein:
Vorsicht — Siehe beiliegende Dokumentation
Vorsicht — Gefahr eines elektrischen Schlages
Vorsicht — Heiße Oberfläche
Schutzleiteranschluss
In diesem Handbuch werden die internationalen SI-Einheiten verwendet. Durchflussleistungen werden in diesem
Handbuch in „sccm" angegeben. Diese Abkürzung steht für „standard cm
3
-1
von 1 cm
min
bei Umgebungstemperatur 0 ºC und einem Druck von 1013 mbar (1,013 x 10
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
3
min
B753–03–882 Ausgabe F
-1
" und entspricht einem Durchfluss
5
Pa).
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