Edwards EXT75DX Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen

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Inhaltsverzeichnis

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EXT75DX, EXT75iDX, EXT255DX und EXT255iDX

Beschreibung

EXT75DX

ISO63

EXT75DX

CF63

EXT75DX

DN40KF

EXT75DX

ISO100

EXT75DX

ISO100 (DN25KF Vorvakuum)

EXT75DX

ISO63 Gegenläufig

EXT75iDX

DN40KF

EXT75iDX

ISO63 (DN16KF Zwischenstufe)

EXT75iDX

ISO63 (DN25KF Zwischenstufe)

EXT255DX

ISO100

EXT255DX

CF100

EXT255iDX

ISO100 (Zwischenstufe)

Betriebsanleitung

EXT-Compound-Turbomolekularpumpen

B722-40-882

Issue E

Teilenummer

B722-41-000

B722-42-000

B722-43-000

B722-45-000

B722-46-000

B722-48-000

B722-35-000

B722-37-000

B722-38-000

B753-11-000

B753-12-000

B753-13-000

Inhaltsverzeichnis

Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT75DX

Seite 1 B722-40-882 Issue E Betriebsanleitung EXT-Compound-Turbomolekularpumpen EXT75DX, EXT75iDX, EXT255DX und EXT255iDX Beschreibung Teilenummer EXT75DX ISO63 B722-41-000 EXT75DX CF63 B722-42-000 EXT75DX DN40KF B722-43-000 EXT75DX ISO100 B722-45-000 EXT75DX ISO100 (DN25KF Vorvakuum) B722-46-000 EXT75DX ISO63 Gegenläufig B722-48-000 EXT75iDX DN40KF B722-35-000 EXT75iDX ISO63 (DN16KF Zwischenstufe)
Seite 2 Diese Seite bleibt absichtlich frei.
Seite 3: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards, Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, • EXT255DX ISO100 B753-11-000 •...
Seite 4 EXT75DX NW40 B722-43-000 • EXT75DX ISO100 B722-45-000 • EXT75DX ISO100 (NW25 B-PT) B722-46-000 • EXT75DX ISO63 Gegenläufig B722-48-000 auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN1012-2:1996, A1: 2009 Kompressoren und Vakuumpumpen.
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Anschließen der Logik-Schnittstelle an den TIC ..............29 3.5.4 Anschließen der Logik-Schnittstelle an Ihr Steuergerät ............29 3.5.5 Anschließen der Stromversorgung ..................29 Betrieb über die parallele Schnittstelle ................30 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 6 4.9.3 Betrieb bei Überdrehzahl ....................54 4.9.4 Fehler in der Stromversorgung ..................55 4.10 Ausheizen ........................ 55 Wartung ..................59 Einführung ....................... 59 Seite ii © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle – Betrieb über die serielle Schnittstelle ........32 Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss ............33 Schaltplan der Anschlüsse der Logik-Schnittstelle ..............37 Einbau von optionalem Zubehör und Ersatzteilen ..............74 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 8 Sedezimal-Umrechnungstabelle ..................64 Status-Flags ......................65 Beispiel zur Entschlüsselung von Systemstatus-Wörtern ............65 Einlassflansch-Dichtungen .....................70 Belüftungsdrosseln ......................71 Warenzeichen Windows™ ist ein Warenzeichen der Microsoft Corporation. Seite iv © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 9: Einführung
Einführung Umfang und Definitionen Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb und Wartung der Edwards Compound- Turbomolekularpumpen der Baureihe DX. Verwenden Sie die DX-Pumpen ausschließlich gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung. Andernfalls kann der Schutz, den die DX-Pumpen bieten, beeinträchtigt werden.
Seite 10: Ansteuerungselektronik
Sie sie an Ihr eigenes Steuergerät und Ihre Stromversorgung anschließen oder alternativ den Edwards Turbo Instrument Controller (TIC) oder den TIC Turbo Controller verwenden. Das Pumpen-Modul treibt den bürstenlosen Gleichstrommotor in der Pumpe an. Die Pumpe ist mit drei Hall-Effekt- Vorrichtungen ausgestattet, die als Sensoren zur Erkennung der Rotorposition arbeiten und dafür sorgen, dass der...
Seite 11: Funktionsmerkmale
Sie nicht zu lange zu warten, bis die Pumpe wieder die volle Drehzahl erreicht hat. Die Standby-Drehzahl ist ein vom Anwender wählbarer Wert (siehe Abschnitt 4.1.4). © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Timer
4.1.7). 1.4.5 Optionen für automatische Belüftung Ein Edwards TAV-Belüftungsventil kann direkt an das DX-Pumpen-Modul angeschlossen werden. Das Pumpen-Modul kann eine Vielzahl unterschiedlicher Belüftungsoptionen steuern. Die Ansteuerungselektronik kann die Belüftungsrate steuern. Mit Hilfe dieser Funktion kann die Pumpe von der Volldrehzahl kontrolliert so belüftet werden, dass das Pumpenlager nicht beschädigt wird. Sobald die Pumpendrehzahl auf unter 50 % der Maximaldrehzahl gesunken ist, kann die Pumpe gefahrlos voll belüftet werden...
Seite 13: Einstellung Der Normaldrehzahl
Statusausgänge: Diese Ausgänge geben den Status des Systems an. Analogausgang: Er liefert ein Ausgangssignal von 0 – 10 V für eine Reihe von Pumpenparametern. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14: Parallele Steuerung Und Überwachung
Betriebsmodus oder mit einer Kombination aus beiden betrieben werden. Die Logik-Schnittstelle kann direkt in den Edwards TIC Turbo Controller oder den TIC Turbo Instrument Controller eingesteckt werden. Sie können dann die von diesen bereitgestellten Funktionen nutzen. Alternativ kann die Logik- Schnittstelle auch an eine kundeneigene Steuerung angeschlossen werden.
Seite 15: Parallele Steuerung Mit Gelegentlicher Serieller Überwachung Oder Serieller Einstellung (Setup)
Für die Konfiguration der DX-Pumpe können Sie entweder Ihr eigenes einfaches serielles System verwenden oder den Edwards TIC Turbo Controller bzw. Turbo Instrument Controller. Die TICs verfügen über eine Funktion zur Speicherung der Konfiguration der DX-Pumpe. Die Konfiguration kann dann in eine andere DX-Pumpe heruntergeladen werden.
Seite 17: Technische Daten
Gase nicht miteinander reagieren oder ihre Kombination gefährliche Gase und Stoffe bildet. WARNUNG Setzen Sie keinen Teil des menschlichen Körpers dem Vakuum aus. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 18: Technische Daten - Dx-Pumpen
BSP-Anschluss Spülanschluss 1/8 Zoll 1/8 Zoll 1/8 Zoll 1/8 Zoll BSP-Anschluss BSP-Anschluss BSP-Anschluss BSP-Anschluss Zwischenstufen-Anschluss (optional) DN25KF – – – & DN16KF Seite 10 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 20 Wasserkühlung (40 °C Umgebung) 4 mbar 7 mbar Druckluftkühlung (35 °C Umgebungstemperatur) 5 mbar 5 mbar Natürliche Konvektionskühlung (30 °C 2 mbar 2 mbar Umgebungstemperatur) Seite 12 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21 Eine passende Membranpumpe mit einem Endvakuum unter 5 mbar kann eventuell ebenfalls eingesetzt werden. †† Einstellung der Leistungsgrenze 80 W (EXT75DX), 160 W (EXT255DX). WARNUNG Überschreiten Sie nicht den maximalen kontinuierlichen Betriebsdruck. Dies kann zu gefährlichen Rotortemperaturen führen und die Lebensdauer der Pumpe verkürzen.
Seite 22: Abmessungen Der Ext75Dx (Mm)
6. Spülanschluss (blindgeflanscht) (für Lüfter/TAV-Ventil) 7. Erdungsanschluss 3. Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT75iDX) 8. Kühlblock, Einbauseite 4. Manuelles Belüftungsventil im 9. Anzeige-LEDs Pumpen-Modul Belüftungsanschluss 10. Vorvakuumanschluss Seite 14 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Abmessungen Ext255Dx (Mm)
6. Spülanschluss (blindgeflanscht) 7. Erdungsanschluss (für Lüfter/TAV-Ventil) 8. Kühlblock, Einbauseite 3. Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT255iDX) 9. Anzeige-LEDs Pumpen-Modul 4. Manuelles Belüftungsventil im 10. Vorvakuumanschluss Belüftungsanschluss © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Siehe Abbildung 3 Abbildung 3 – Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften: Druck über der Zeit (Pumpe läuft anfangs mit voller Drehzahl) Seite 16 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25: Spülgas-Spezifikation
Aluminiumlegierungen, rostfreie Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz, glasfaserverstärktes Epoxidharz, flammhemmendes Polypropylen, Polyamid und PVC. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 26: Elektrische Daten
9). Bei der EXT75DX wären dies ca. 4 A und bei der EXT255DX ca. 7 A. Wenn Sie beabsichtigen, die DX-Pumpe mit einem Edwards TIC zu steuern, müssen Sie bedenken, dass es diesen in mehreren Varianten gibt. Wenden Sie sich an Edwards, um festzulegen, welche die für Ihre Anwendung am besten geeignete Variante ist.
Seite 27: Anschlussbuchse Des Pumpen-Moduls
Pins für den Zustand angegeben ist, dass das Belüftungsventil / der Lüfter angesteuert werden. Der Verbindungsstecker für das Pumpen-Modul ist als Zubehör lieferbar, siehe Abschnitt 7.4. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Anschluss-Stecker Des Pumpen-Moduls
Technische Daten Anschluss-Stecker Phoenix Teile-Nr. FKMC1881325 Spannungsabgabe 24 V Gleichspannung +10 %, -20 % (19,2 bis 26,4 V Gleichspannung) Stromabgabe 120 mA Seite 20 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29: Anzeige-Leds
5 °C bis 40 °C Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb) 10 bis 90 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend) Maximale Betriebshöhe 2.000 m Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -30 °C bis 70 °C © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Installation
Anschluss an das Vakuumsystem WARNUNG Vergewissern Sie sich, dass alle Drähte und Rohrleitungen so verlegt sind, dass sie keine Stolperfallen für das Personal darstellen. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Typisches Pumpsystem Mit Einer Dx-Pumpe
Belüftungsventil 6. Ventil der Vorvakuumpumpe 14. Luftkühler 7. Vakuum-Messgerät 15. PRX-Spülgas-Drosselventil 8. Wellschläuche 16. Geregelte Spülgaszufuhr 9. Adsorptionsfalle 17. WCX-Wasserkühler und Anschlüsse Seite 24 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 33: Ansaugsieb (Werkseitig Montiert)
Ansaugsieb erst unmittelbar, bevor Sie die Pumpe auf Ihr System montieren, denn das Sieb schützt Sie vor der Berührung mit scharfen Kanten. Es ist nicht möglich, das Ansaugsieb von einer Pumpe mit einem DN40KF-Einlassflansch zu entfernen (nur EXT75DX). Um das Ansaugsieb aus einer Pumpe mit ISO- oder CF-Einlassflansch zu entfernen, hebeln Sie das Ansaugsieb vorsichtig mit einem gebogenen Draht oder einem kleinen Schraubendreher aus dem Einlassflansch.
Seite 34: Mechanische Befestigung
Stellen Sie sicher, dass der Einlassflansch der Pumpe und alle daran montieren Komponenten sauber und staubfrei sind. Wenn der Einlassflansch der Pumpe nicht sauber gehalten wird, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen. Die Einlassanschlüsse für die EXT75DX sind CF-Flansch, ISO-Flansche und der KF-Flansch. Die Einlassanschlüsse für die EXT255DX sind CF- und ISO-Flansch:...
Seite 35: Montage Über Den Pumpenfuß
Einzelheiten zu den Befestigungsbohrungen. Hinweis: Gilt nur für die EXT75DX: Bevor Sie den Pumpenfuß montieren können, müssen Sie zuerst die vier in die Befestigungsbohrungen eingeschraubten Gummifüße herausdrehen. Wir empfehlen Ihnen, unbedingt die folgenden Anforderungen zu beachten, um sicherzustellen, dass die Pumpe selbst bei einem vollständigen Festfressen der Einheit sicher befestigt bleibt:...
Seite 36: Zwischenstufen-Anschluss (Nur Idx- Varianten)
Erden Sie die Pumpe mit dem dafür vorgesehenen Anschluss; siehe hierzu auch Abschnitt 3.5.2. Sie können die DX-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller betreiben, siehe Abschnitt 3.5.3. Sie können die DX-Pumpe auch mit Ihrem eigenen System steuern, siehe Abschnitt 3.5.4.
Seite 37: Anschließen Der Logik-Schnittstelle An Den Tic
3.5.3 Anschließen der Logik-Schnittstelle an den TIC Wenn Sie zur Steuerung Ihrer Pumpe den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller verwenden, wird das Kabel der Logik-Schnittstelle der DX-Pumpe direkt am Controller angeschlossen. Weitere Informationen hierzu sind der Betriebsanleitung des Controllers zu entnehmen.
Seite 38: Betrieb Über Die Parallele Schnittstelle
10, in der die Pin-Belegung der Logik-Schnittstelle angegeben wird. Die Steuereingänge sind wie folgt: Start Standby-Drehzahl Um einen dieser Steuereingänge zu aktivieren, müssen Sie den Pin des Steuereingangs mit der 0 V-Steuerreferenz verbinden. Seite 30 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 39: Betrieb Über Die Serielle Schnittstelle
Verbindungen vorgesehen ist. Um mehrere DX-Pumpen über eine einzelne serielle Verbindung mit einem einzigen Master zu verbinden, sind einige zusätzliche Hardware-Komponenten erforderlich. Eine Entwurfszeichnung einer möglichen Anordnung ist in Abbildung 10 dargestellt. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40: Serielle Aktivierung („Serial Enable")
Wenn die DX-Pumpe eine nicht identifizierbare Meldung zwischen den Start- und Stop-Zeichen empfängt, sendet sie eine entsprechende Fehlermeldung zurück. Weitere Hinweise zum Betrieb der DX-Pumpen im Multidrop-Modus finden Sie in Abschnitt 3.7.7. Seite 32 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 41: Meldungsstruktur
Objektnummer durch ein Leerzeichen getrennt sind, gefolgt von einem abschließenden Wagenrücklauf-Zeichen. Das Meldungsprotokoll im Multidrop-Modus weicht davon geringfügig ab, siehe Abschnitt 3.7.7. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 42: Verfügbare Befehle
Pumpen- !C852 dezimal – Stop der Pumpe steuerung Starten der Pumpe ?V852 0.1800; dezimal Gemessene Motordrehzahl 32 Bit hexa- Flags Systemstatus-Wort dezimal Seite 34 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 43 Werkseitige !S867 Zurücksetzen aller Einstellungen Konfigurationsoptionen und Parameter auf die werkseitigen Einstellungen Version der ?S868 string chars Versionsnummer der PIC-Software PIC-Software (D39647620x) © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 44: Abkürzungen Der Befehle
Zeichenfolge - kann aus mehreren ASCII-Zeichen bestehen Dezimales Multidrop-ASCII-Zeichen Hinweis: Fehler mit mehreren „X“-Zeichen sollen die maximale und nicht die feste Länge angeben. Seite 36 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 45: Schaltplan Der Anschlüsse Der Logik-Schnittstelle
5. Optionale LED-Anzeige – normal speed 11. Optionaler Standby-Schalter (Normaldrehzahl) 12. Start-Schalter 6. Strombegrenzungswiderstand für LED 7. Optionaler Wählschalter für seriellen Betrieb © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 46: Multidrop-Modus
öffnen. Wir empfehlen Ihnen, das manuelle Belüftungsventil erst zu öffnen, nachdem die Pumpendrehzahl auf 50 % der vollen Drehzahl gesunken ist. Seite 38 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 47: Elektromagnetisches Belüftungsventil Tav5 Oder Tav6
Geregelte Belüftung von 100 % bis 50 % der vollen Drehzahl bei Fail, danach öffnet das Belüftungsventil vollständig unter 50 %. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 48: Anschluss Eines Anderen Ventils An Das Vakuumsystem
Belüftungsventil zu schließen, bevor Sie einen Start-Befehl senden – dies ist als verzögerter Anlauf bekannt. Wenn Sie Ihre DX-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller steuern, können Sie Ihr TAV-Magnetventil vom TIC aus steuern. Weitere Informationen hierzu sind den Betriebsanleitungen der TICs zu entnehmen.
Seite 49: Druckluftkühlung
(1) bzw. (7)). Um Ihr Pumpen-Modul zur Steuerung eines Luftkühlers konfigurieren zu können, müssen Sie entweder Befehle über die serielle Schnittstelle senden können, oder Sie müssen Zugriff auf einen Edwards TIC Turbo und Instrument Controller oder Turbo Controller haben. 3.9.3 Wassergekühlte Ausführung...
Seite 51: Betrieb
Für die Konfiguration der DX-Pumpe können Sie Ihr eigenes serielles System verwenden. In Abschnitt 4.1 sind die Befehle aufgeführt, die Sie für die Konfiguration des Pumpen-Moduls benötigen. Alternativ können Sie auch den Edwards TIC Turbo und Instrument Controller oder TIC Turbo Controller verwenden. Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in Abschnitt 4.2.
Seite 52: Stromversorgung Eines Lüfters Vom Pumpen-Modul Aus
Um zu überprüfen, welche Belüftungsoption eingestellt ist, können Sie wie folgt eine Abfrage senden: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, entspricht dem folgenden Format: Antwort Seite 44 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 53: Einstellung Der Standby-Drehzahl
Um zu überprüfen, welche Normaldrehzahl eingestellt ist, können Sie wie folgt eine Abfrage senden: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, sieht wie folgt aus: Antwort © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 54: Timer-Einstellung Und -Optionen
Um zu überprüfen, ob der Timer aktiviert oder deaktiviert ist, senden Sie die folgende Abfrage: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, sieht wie folgt aus (wobei d=0 „deaktiviert“ bedeutet und d=1 „aktiviert“): Antwort Seite 46 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 55: Optionen Für Analogsignal
Um die Funktion „Elektronisches Bremsen“ wieder zu deaktivieren, senden Sie den folgenden Befehl: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, sieht wie folgt aus: Antwort © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 47 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 56: Werkseitige Einstellungen
Wenn Ihre Pumpe bereits eine Multidrop-Adresse hat, erhalten Sie keine Antwort. In diesem Fall müssen Sie mit Ihrer Pumpe über das Protokoll für Multidrop-Meldungen kommunizieren. Weitere Informationen zum Mulidrop-Modus und zum Protokoll für Multidrop-Meldungen finden Sie in Abschnitt 3.7.7. Seite 48 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 57: Dx-Pumpe Mit Einem Tic Konfigurieren
Sobald der Multidrop-Modus deaktiviert ist, antwortet die Pumpe nicht länger auf Multidrop-Befehle. DX-Pumpe mit einem TIC konfigurieren Die DX-Pumpe kann mit dem Edwards TIC Turbo und Instrument Controller oder dem TIC Turbo Controller konfiguriert werden. Sie können die folgenden Parameter der DX-Pumpe mit dem TIC einstellen: Einstellung der Leistungsgrenze Geregelte Belüftungsoptionen einschließlich der Betrieb eines Lüfters vom Pumpen-Modul...
Seite 58: Anlauf
Die grüne Anzeige am Pumpen-Modul leuchtet auf, wenn die Pumpe die Normaldrehzahl (dies sind standardmäßig 80 % der vollen Drehzahl, sofern Sie keinen anderen Wert für Ihre Anwendung gewählt haben). Seite 50 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 59: Betrieb Mit Standby-Drehzahl
Um die Pumpe zu starten, senden Sie den folgenden Befehl über die serielle Datenübertragungsverbindung: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, entspricht dem folgenden Format: Antwort © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 51 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 60: Standby-Drehzahl
Antwort 4.5.6 Werte der Verbindungsparameter Sie können interne Spannung, Stromstärke und Motorleistung der DX-Pumpe überwachen, indem Sie die folgende Abfrage senden: Befehl Seite 52 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 61: Gemessene Motordrehzahl
Betrieb mit einem TIC Für den Betrieb mit einem Edwards Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller kann die DX-Pumpe direkt an den Controller angeschlossen werden, der den für den Betrieb der DX-Pumpe notwendigen Strom liefert. Weitere Hinweise zur Einstellung und zum Betrieb des TIC oder TIC Turbo Controller finden Sie auf der CD-ROM mit der Teilenummer D397-00-879, die mit dem TIC oder TIC Turbo Controller geliefert wird.
Seite 62: Betrieb Unter Extremen Bedingungen
Wenn Sie den Verdacht haben, dass Ihre Pumpe möglicherweise mit Überdrehzahl läuft, sollten Sie sie ausschalten und sich an Edwards oder Ihren Lieferanten wenden. Seite 54 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 63: Fehler In Der Stromversorgung
Pumpe das Endvakuum in der kürzestmöglichen Zeit erreicht. Wenn Sie die Pumpe beheizen, verhindern Sie damit auch, dass Dämpfe im Innern der Pumpe kondensieren. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 55 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 64: Verhalten Einer Pumpe, Wenn Die Stromversorgung Nach Einem Ausfall Wieder Hergestellt Wird
B722-40-882 Issue E Zum Ausheizen der Pumpe kann die Edwards BX-Heizmanschette verwendet werden (siehe Abschnitt 7.4). Bringen Sie die Manschette direkt unter dem CF-Einlassflansch um die Pumpe herum an. Wenn Sie die Pumpe oder das System ausheizen, achten Sie darauf, dass die Temperatur am Einlassflansch 100 °C nicht übersteigt.
Seite 65 Drehzahl hochfährt. Alle Fehlersignale („Fail“), die während der Versorgung mit rückgewonnener Energie ausgelöst wurden, gehen verloren, sobald die Stromversorgung wieder hergestellt ist. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 57 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 67: Wartung
Pumpaufgabe ab, für die die Pumpe eingesetzt werden soll. Wenn die Lager ausgetauscht werden müssen, empfehlen wir Ihnen, Ihre Pumpe gegen ein im Werk vorbereitetes und eingestelltes Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie Ihre Pumpe an ein Edwards Service-Center einschicken, um die Lager ersetzen zu lassen.
Seite 68: Fehlersuche
Komponenten im Innern der Pumpe beschädigen. Wenn die DX-Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das spezifizierte Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden, oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Die Pumpe sollte an ein Edwards Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird.
Seite 69 Durchsatz hoch ist, benötigen Sie eventuell eine größere Vorvakuumpumpe. Ist der Hochvakuumbereich des Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie Systems verunreinigt? das Hochvakuumsystem. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 61 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 70: Blinksignal-Fehlercodes
Zwischen zwei aufeinander folgenden Wiederholungen eines Zyklus gibt es eine ausreichende Ruhezeit, um den Beginn einer neuen Blinksequenz klar zu kennzeichnen. Die Dauer eines langen Blinksignals („L“) entspricht der dreifachen Dauer eines kurzen Blinksignals („s“). Seite 62 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 71: Entschlüsseln Der Systemstatus-Wörter
Sie erhalten die folgende Antwort, wobei sich die erste zurückgesendete Zahl auf die Motordrehzahl in Umdrehungen pro Sekunde (Hz) bezieht: Antwort sp d © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 63 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 72: Sedezimal-Umrechnungstabelle
Liste der unteren 16 Status-Flags, die bei der Fehlersuche hilfreich sind. Die oberen 16 Status- Flags sind für Edwards reserviert. Binäre Ziffern 9 8 7 6 5 4 3 2 1 0 Bit-Nummern Seite 64 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 73: Status-Flags
Die Drehzahl liegt unter 50 % der vollen Drehzahl. Die Pumpe befindet sich nicht im parallelen Steuerungsmodus. Die Pumpe befindet sich nicht im seriellen Steuerungsmodus. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 65 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 74: Nützliche Informationen Für Den Kundendienst
Senden Sie die folgende Abfrage, um die Version der PIC-Software zu ermitteln: Befehl Die Antwort, die Sie erhalten, sieht wie folgt aus (wobei String1 die Versionsnummer der PIC-Software ist): Antwort String 1 Seite 66 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 75: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Die Pumpe enthält Phenol- und fluorsilicathaltige Materialien, die sich bei hohen Temperaturen in sehr gefährliche Stoffe zersetzen können. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 67 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 77: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Werkspezifikationen. Geräte, für die Kundendienst-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Kundendienst oder Reparatur Ihrer Anlage bereitstellen. Weitere Informationen über Kundendienstoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder einer Vertretung von Edwards.
Seite 78: Ersatzteile
An die DX-Pumpe kann ein ACX-Luftkühler montiert werden. Hinweise zur Eignung einer Luftkühlung in einer bestimmten Anwendung finden Sie in Abschnitt 3.9. Luftkühler Bestellnummer Zur Verwendung mit ACX75 B580-53-075 EXT75DX ACX250H B580-53-160 EXT255DX Seite 70 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 79: Wcx-Wasserkühler
Sie die Bestellnummern der lieferbaren Belüftungsdrosseln. Tabelle 29 – Belüftungsdrosseln Belüftungsdrossel Bohrungsdurchmesser (mm) Bestellnummer VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 71 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 80: Belüftungsflansch-Adapter
Messuhren verwendet wird und für den Betrieb einer EXT-Turbopumpe oder einer Vorvakuumpumpe nicht geeignet ist. Der zweite ist ein Turbo Controller (TC), der nur zum Steuern einer 24-V-EXT-Turbopumpe und einer Seite 72 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 81: Tic Pc Programm
Das TIC PC Programm ist eine im Lieferumfang des TIC enthaltene PC-basierende Software-Komponente, die zum Zurückladen und Einstellen der vom Anwender konfigurierbaren Parameter in der Pumpe verwendet werden kann. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 73 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 82: Einbau Von Optionalem Zubehör Und Ersatzteilen
7. Manuelles Belüftungsventil 15. WCX-Wasserkühler (mitgeliefert) 16. ACX-Luftkühler 8. Spülanschluss blindgeflanscht 17. BX-Ausheizmanschette (mitgeliefert) 18. Ansaugsieb (werkseitig montiert) 9. Spülanschluss-Adapter Nur EXT75iDX und EXT255iDX Seite 74 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 83: Index
Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien ..17 Manuelles Belüftungsventil ......38 Druckluftkühlung ........41 Mechanische Befestigung ....... 26 DX-Pumpe mit einem TIC konfigurieren ....49 Meldungsprotokoll ........33 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 75 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 84 Temperaturwerte ........52 TIC/DX PC Monitor ........73 Timer ............4 Timer-Einstellung und -Optionen ..... 46 Typische Installation ........23 Umfang und Definitionen .........1 Seite 76 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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