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Wartung
Die DX-Pumpe darf nicht vom Kunden gewartet werden. Pumpen, bei denen eine Wartung oder
Reparatur erforderlich ist, sollten bei Edwards zurückgegeben oder von einem qualifizierten
Techniker von Edwards gewartet werden.
Warten Sie, bis der Pumpenrotor zum Stillstand gekommen ist, trennen Sie anschließend das Kabel
der Logik-Schnittstelle von der Stromversorgung, bevor Sie die Pumpe für Wartungsarbeiten oder
zur Fehlersuche aus Ihrem Vakuumsystem ausbauen.
5.1
Einführung
Die folgenden Abschnitte enthalten Anweisungen zur Lagerwartung und zur Reinigung der Oberflächen der
DX-Turbomolekular-Vakuumpumpe. Die Ansaugsiebe, der Ansaugfilter und die Dichtungen für den Einlassflansch sind
als Ersatzteile erhältlich (siehe
5.2
Lagerwartung
Die Pumpe enthält bei Lieferung ausreichend Schmierstoffe für eine lebenslange Schmierung der Lager. Zwischen
einem Austausch der Lager sind daher keine routinemäßigen Wartungsarbeiten erforderlich. Die Lager können nicht
vom Anwender gewartet werden. Die Lager müssen ersetzt werden, wenn sie das Ende ihrer Nutzungsdauer erreicht
haben. Normalerweise sind dies mehr als 20.000 Stunden, es kann jedoch auch weniger sein; dies hängt von der Art
der Pumpaufgabe ab, für die die Pumpe eingesetzt werden soll.
Wenn die Lager ausgetauscht werden müssen, empfehlen wir Ihnen, Ihre Pumpe gegen ein im Werk vorbereitetes und
eingestelltes Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie Ihre Pumpe an ein Edwards Service-Center
einschicken, um die Lager ersetzen zu lassen.
5.3
Lebensdauer des Rotors
Die Lebensdauer der Rotoren einer EXT Turbopumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als
Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleunigungszyklen von Stop-Stellung auf
max. Drehzahl und zurück in Stop-Stellung zur Generalüberholung (Rotoraustausch) zurückzusenden, oder aber
nach 10 Jahren, abhängig davon, welche Bedingung zuerst eintritt.
5.4
Reinigen der Außenflächen der Pumpe
Reinigen Sie die Außenflächen der Pumpe an einem gut belüfteten Ort. Wenn Sie zum Reinigen
der Pumpe Reinigungslösungen oder Lösungsmittel verwenden, beachten Sie alle vom Hersteller
angegebenen Vorsichtsmaßnahmen. Vermeiden Sie, eventuell in der Pumpe vorhandene
Partikel einzuatmen.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
WARNUNG
Abschnitt
7.3). Montieren Sie das Ansaugsieb so, wie in
WARNUNG
B722-40-882 Issue E
Abschnitt 3.3.2
beschrieben.
Seite 59
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