Inhaltsverzeichnis
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Einführung
1.1
Umfang und Definitionen
Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb und Wartung der Edwards Compound-
Turbomolekularpumpen der Baureihe DX. Verwenden Sie die DX-Pumpen ausschließlich gemäß der vorliegenden
Betriebsanleitung. Andernfalls kann der Schutz, den die DX-Pumpen bieten, beeinträchtigt werden.
Lesen Sie sich die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der DX-Pumpe aufmerksam durch.
Wichtige Sicherheitsangaben sind durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben. Diesen
Anweisungen ist unbedingt Folge zu leisten. Die Verwendung von WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen ist
nachfolgend definiert.
Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um
Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.
Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen, den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.
Die in dieser Betriebsanleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen
Maßeinheitensystem SI. Zur Angabe von Durchfluss- bzw. Durchsatzwerten wird die Abkürzung „sccm" verwendet,
die für Standard-Kubikzentimeter pro Minute steht. Dies ist ein Durchfluss bzw. Durchsatz von 1 cm
Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von 1013 mbar (1,013 x 10
In Übereinstimmung mit der Norm EN61010 kann auf der DX-Pumpe das folgende Warnsymbol angebracht sein:
Achtung - vor Inbetriebnahme unbedingt beigefügte Dokumentation lesen!
Achtung - Verbrennungsgefahr durch heiße Oberflächen!
Die in dieser Betriebsanleitung verwendeten Einheiten entsprechen dem SI System (internationales Einheitensystem).
Äquivalente US-amerikanische Maßeinheiten werden ebenfalls angegeben.
1.2
Allgemeine Beschreibung
Unsachgemäßer Gebrauch des Gerätes könnte es beschädigen oder zu Verletzungen von Personen
führen. Der Anwender ist für den sicheren Betrieb, die Installation und die Überwachung des
Systems verantwortlich.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
WARNUNG
B722-40-882 Issue E
3
min
5
Pa).
-1
bei einer
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