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Abmessungen Der Ext75Dx (Mm) - Edwards EXT75DX Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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B722-40-882 Issue E
1. Pumpen-Modul
2. Anschlussbuchse des Pumpen-Moduls
(für Lüfter/TAV-Ventil)
3. Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT75iDX)
4. Manuelles Belüftungsventil im
Belüftungsanschluss
Seite 14
Abbildung 1 – Abmessungen der EXT75DX (mm)
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
5. Anschluss der Logikschnittstelle
6. Spülanschluss (blindgeflanscht)
7. Erdungsanschluss
8. Kühlblock, Einbauseite
9. Anzeige-LEDs Pumpen-Modul
10. Vorvakuumanschluss
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.

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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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