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B753–03–882 Ausgabe F
Parameter
Gewicht
DN100ISO-K
Hochvakuumflansch
DN100CF Hochvakuumflansch
Hochvakuumflansch
Auslassflansch
Belüftungsanschluss
Zwischenstufen-Anschluss
Spülgasflansch
Saugvermögen Einlass
†‡
N
2
†‡
He
†‡
H
2
Verdichtungsverhältnis Einlass
†‡
N
2
†‡
He
†‡
H
2
Saugvermögen Zwischenstufe ‡
†
N
2
†
He
Enddruck mit Drehschieber-
Vorvakuumpumpe **
DN100ISOK Hochvakuumflansch <5 x 10
DN100CF Hochvakuumflansch
Enddruck mit Membran-
††
Vorpumpe
DN100ISOK Hochvakuumflansch <5 x 10
DN100CF Hochvakuumflansch
*
Nicht im Lieferumfang enthalten; Anschluss mit Blindflansch versehen.
†
Pb = Vorvakuumdruck, Qi = Durchfluss durch Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT255Hi/EXT255HVi),
Qp = Durchfluss durch Hochvakuumflansch.
‡
Saugvermögen ohne Ansaugsieb bzw. Einlassfilter (nur EXT255Hi/EXT255HVi); Ansaugsiebe und Einlassfilter
reduzieren das Saugvermögen um etwa 10 %.
**
Enddruck 48 Stunden nach Ausheizen mit Pb <1 x 10
††
Enddruck 48 Stunden nach Ausheizen mit Pb <5 mbar (500 Pa).
‡‡
Ansaugdruck ist auf 1 x 10
Seite 10
Tabelle 1 — Technische Daten
EXT255H
EXT255Hi
5,6 kg
5,6 kg
8,2 kg
Entfällt
DN100ISO-K/
DN100ISO-K
DN100CF
DN25KF
DN25KF
1
1
/
" BSP
/
" BSP
8
8
-
DN25KF
*
DN10KF
DN10KF
-1
220 l s
220 l s
-1
230 l s
230 l s
-1
180 l s
180 l s
8
>1 x 10
>1 x 10
5
4 x 10
2,5 x 10
4
1,6 x 10
1,1 x 10
-
10 l s
-
10 l s
-9
<5 x 10
-10
<5 x 10
-
-8
<5 x 10
-8
<5 x 10
-
-3
-1
mbar (1 x 10
Pa) gestiegen.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
EXT255HVi
6,5 kg
Entfällt
DN100ISO-K
DN25KF
1
/
" BSP
8
DN40KF
*
*
DN10KF
-1
-1
195 l s
-1
-1
155 l s
-1
-1
100 l s
8
8
3 x 10
5
5
2 x 10
4
3
5 x 10
-1
-1
21 l s
-1
-1
23 l s
-9
-9
<5 x 10
-
-8
-8
<5 x 10
-
-2
mbar (1 Pa).
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Anmerkungen
Pb < 5 mbar (500 Pa)
Qi < 70 sccm
-1
(1,17 mbar l s
)(117 Pa l s
Pb <1 mbar (100 Pa)
Qi = 0 sccm
Pb <0,5 mbar (50 Pa)
Qi = 0 sccm
Pb <5 mbar (500 Pa)
Pb <2 mbar (200 Pa)
-2
Pb <1 x 10
mbar (1 Pa)
Pb = 5 mbar (500 Pa)
-1
Qi = 240 sccm (4 mbar l s
-1
(400 Pa l s
)
Qp = 0 sccm
Pb = 5 mbar (500 Pa)
Qi = 100 sccm
-1
(1,67 mbar l s
)
-1
(167 Pa l s
)
Qp = <20 sccm
-1
(0,33 mbar l s
)
-1
(33 Pa l s
)
-1
)
)
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