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Edwards EXT556H Betriebsanleitung Seite 4

Compound-turbomolekularpumpen
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Inhaltsverzeichnis

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B777-50-882 Issue C
7
Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 31
7.1
Einleitung ................................................................................................................ 31
7.2
Kundendienst ............................................................................................................ 31
7.3
Ersatzteile ............................................................................................................... 31
7.3.1
ISX-Ansaugsieb ..........................................................................................................31
7.3.2
HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................32
7.4
Zubehör .................................................................................................................. 32
7.4.1
Einbau .................................................................................................................... 32
7.4.2
EXC-Controller ........................................................................................................... 32
7.4.3
Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ................................................................32
7.4.4
EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................32
7.4.5
BX-Heizmanschette (nur mir ConFlat-Flansch) ..................................................................... 34
7.4.6
FL20K Adsorptionsfalle .................................................................................................34
7.4.7
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................34
7.4.8
ACX-Luftkühler ..........................................................................................................34
7.4.9
WCX-Wasserkühler ......................................................................................................35
7.4.10
Schwingungsdämpfer ...................................................................................................35
7.4.11
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................35
7.4.12
VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................35
Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.
Abbildungen
Abbildung
1
Einbaulage der Pumpe EXT556H ....................................................................................... 9
2
Typisches Pumpsystem .................................................................................................12
3
Entfernen Sie nicht die Schrauben „B" .............................................................................. 14
4
Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften ..........................................................16
5
Abmessungen und Merkmale von Pumpen der Baureihe EXT556H ............................................... 18
6
Installation des Sonderzubehörs und der Ersatzteile der EXT556H ............................................. 33
Seite ii
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