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1
Edwards EXT70/EXT200H Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung
Edwards EXT70/EXT200H Betriebsanleitung (40 Seiten)
Split Flow Compound-Turbomolekularpumpen
Marke:
Edwards
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 1.7 MB
Inhaltsverzeichnis
Konformitätserklärung
2
Einbauerklärung
3
Inhaltsverzeichnis
5
Einführung
7
Umfang und Definitionen
7
Technische Daten
9
Allgemeines
9
Pumpmedien
9
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
10
Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungsregelung
10
Wasserkühlung
11
Technische Daten
12
Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
15
Bitte die HS-Formulare IM Anhang Dieses Handbuchs Ausfüllen und Ihrer Rücksendung Beilegen.
15
Abmessungen des EXT 200/200H-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in MM)
15
Schlitze mit einer Breite von 8,4 MM
15
Abmessungen des EXT 200/200H GCMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in MM)
16
Abmessungen des EXT 200/200H ICPMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in MM)
17
Abmessungen des EXT200/200H GCMS/LCMS (Umgekehrtes Gehäuse)
18
Installation
19
Auspacken und Überprüfen
19
Typische Installation
19
Anschluss an das Vakuumsystem
20
Ein Typisches Vakuumsystem mit einer Turbomolekularpumpe
20
Mechanische Befestigung
21
Zum Lieferumfang Gehörende Artikel
21
Ansaugsiebe (Montiert Geliefert) oder Integraler Maschen-Zentrierring (Separat von der Pumpe Geliefert)
22
Anschluss und Einbaulage des Einlasses
22
Korrekte Installation des Ansaugsiebs
22
Vorvakuumanschluss
23
Einbaulagen einer EXT-Split-Flow-Pumpe
23
Zwischenstufen-Anschluss (nur Hi-Pumpenvarianten)
24
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -Steuerung
24
Elektroinstallation
25
EXDC-Controller
25
EXC-Controller
25
Kühlung
26
Einführung
26
Druckluftkühlung
26
Wasserkühlung
26
Betrieb
27
Starten der Pumpe
27
Abschalten der Pumpe
27
Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem
28
EXDC-Controller
28
EXC-Controller
28
Wartung
29
Einführung
29
Lagerwartung
29
Lebensdauer des Rotors
29
Reinigen der Pumpe
30
Fehlersuche
30
Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) 18 7 Fehlersuche
31
Lagerung und Entsorgung
35
Lagerung
35
Entsorgung
35
Service, Ersatzteile und Zubehör
37
Einführung
37
Kundendienst
37
Ersatzteile
37
ISX-Ansaugsiebe
37
Ansaugfilter (nur Pumpen mit Zwischenstufe)
38
HV-Flansch-Dichtungen
38
Zubehör
38
Installation
38
EXDC-Antriebsmodule
38
EXC-Controller
38
Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller
39
EXT-Wasserkühlblock
39
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
39
ACX-Luftkühler
39
VRX-Belüftungsdrossel
40
Optionale Zubehörteile Installieren
40
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