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Betrieb; Starten Der Pumpe; Abschalten Der Pumpe - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
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Betrieb

Nehmen Sie die Pumpe erst in Betrieb, wenn sie ans Vakuumsystem angeschlossen ist. Der
Pumpenrotor dreht sich mit sehr hohen Drehzahlen, und die Drehflügel sind möglicherweise nicht
sichtbar. Wenn die Pumpe nicht korrekt installiert ist, kann der Pumpenrotor Verletzungen
verursachen.
Bewegen Sie die Pumpe nicht, während sie läuft. Die von dieser Bewegung erzeugten
gyroskopischen Kräfte können das Vorvakuumlager übermäßig belasten und zum katastrophalen
Ausfall der Pumpe führen.
Wenn die Stromversorgung nach einer Unterbrechung wiederhergestellt wird, läuft die Pumpe
automatisch wieder an. Um Verletzungsgefahr zu vermeiden, muss die Pumpe mit dem
Vakuumsystem verbunden bleiben.
Nachdem die Stromversorgung der Pumpe, ob durch einen Notfall oder beabsichtigt, unterbrochen
wurde, läuft der Rotor mit sehr hoher Geschwindigkeit weiter. Bis der Rotor zum Stillstand kommt,
verfügt er über ein hohes Maß mechanischer Energie.
4.1

Starten der Pumpe

Um ein einfaches, manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem EXDC-
Controller zu starten, gehen Sie wie nachfolgend beschrieben vor. Weitere Hinweise finden Sie in der
Betriebsanleitung zum EXDC-Controller.
1. Stellen Sie sicher, dass das manuelle Belüftungsventil geschlossen ist (zum Schließen im Uhrzeigersinn drehen).
2. Öffnen Sie die Kühlwasserzufuhr (sofern mit Wasserkühlung gearbeitet wird) und/oder schalten Sie die
Stromversorgung des Luftkühlers ein.
3. Starten Sie die Vorvakuumpumpe.
4. Wenn der Druck des Vakuumsystems bei ca. 10 mbar oder weniger ist, schalten Sie die Stromversorgung an, um
die EXT Split Flow-Pumpe zu starten.
5. Die Pumpe beschleunigt nun auf volle Betriebsdrehzahl. Sobald die Nennbetriebsdrehzahl erreicht wird, leuchtet
die LED für die Nenndrehzahl auf dem EXDC-Controller.
Hinweis:
Weitere Einzelheiten sind der Anleitung zum EXC-Controller zu entnehmen.
4.2

Abschalten der Pumpe

Ziehen Sie das EXDC/EXC-Controller-Kabel erst dann von der Pumpe ab, wenn sich die Pumpe
vollkommen in Ruhe befindet. Andernfalls bestehen gefährliche Spannungen für das Personal und
das potentielle Risiko, den EXDC/EXC-Controller zu beschädigen.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
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B756-01-882 Issue K
Seite 21

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