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B756-01-882 Issue K
Abbildung 5 - Ein typisches Vakuumsystem mit einer Turbomolekularpumpe
1. Vakuumsystem
2. Hochvakuum-Messgerät
3. Alternative Position für
4. TMP
5. Ventil der Vorvakuumpumpe
6. Vakuum-Messgerät
Das für die EXT Split Flow-Pumpen erhältliche Zubehör wird in
3.3
Anschluss an das Vakuumsystem
Sobald die Pumpe aus der unteren Verpackung genommen wurde, kann sie leicht umkippen.
Installieren Sie die Pumpe im Vakuumsystem, bevor Sie den Controller an die Stromversorgung
anschließen. Damit wird sichergestellt, dass die Pumpe während der Installation nicht in Betrieb
gehen und Personen verletzen kann.
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Belüftungsventil
WARNUNG
WARNUNG
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
7. Adsorptionsfalle
8. Drehschieber-Vorvakuumpumpe
9. Ölnebelfilter
10. Kühllüfter
11. EXDC-Controller
12. Belüftungsventil
13. Steuersystem
Abschnitt 7.4
ausführlich beschrieben.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
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Fehlerbehebung
