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Sicherheitsverriegelungen Und Steuersystem; Exdc-Controller; Exc-Controller - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
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B756-01-882 Issue K
Hinweis:
Nur in einem Notfall dürfen Sie das Belüftungsventil schnell öffnen, um den Pumpenrotor in der
kürztestmöglichen Zeit zu verlangsamen.
Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem EXDC-Controller
abzuschalten, gehen Sie wie nachfolgend beschrieben vor. Wenn Sie mit einem EXC-Controller arbeiten, gehen Sie
wie in der Betriebsanleitung des EXC-Controllers beschrieben vor.
1. Schließen Sie das Ventil in der Vorvakuumleitung, über die die EXT Split Flow-Pumpe mit der Vorvakuumpumpe
verbunden ist.
2. Schalten Sie die Vorvakuumpumpe aus.
3. Schalten sie die Stromversorgung zur EXT Split Flow-Pumpe aus.
4. Wenn die Drehzahl der EXT Split Flow-Pumpe auf 50 % der vollen Drehzahl gefallen ist, drehen Sie das
Belüftungsventil gegen den Uhrzeigersinn, um es zu öffnen. Achten Sie darauf, dass der Druck nicht schneller
ansteigt als zulässig, sonst kann die Pumpe beschädigt werden. Siehe
5. Schließen Sie die Kühlwasserzufuhr (wenn mit Wasserkühlung gearbeitet wird) und/oder schalten Sie die
Stromversorgung des Luftkühlers aus.
4.3

Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem

Nachfolgend werden die Schutzvorrichtungen und Sicherheitsverriegelungen der Pumpe beschrieben. Eine
ausführliche Erläuterung dieser Merkmale finden Sie in der Betriebsanleitung zum Controller.
4.3.1

EXDC-Controller

Der EXDC-Controller überwacht die Temperatur der EXT Split Flow-Pumpe sowie deren Stromaufnahme.
Wenn der EXDC-Controller zu hohe Werte für Stromaufnahme und Temperatur feststellt, wird die
Drehzahl des Pumpenmotors so weit verringert, bis Stromaufnahme und Temperatur wieder im normalen
Bereich liegen.
4.3.2

EXC-Controller

Der EXC-Controller überwacht die Temperatur der EXT Split Flow-Pumpe sowie deren Stromaufnahme. Wenn
der EXC-Controller zu hohe Werte für Stromaufnahme und Temperatur feststellt, wird die Drehzahl des
Pumpenmotors so weit verringert, bis Stromaufnahme und Temperatur wieder im normalen Bereich liegen.
Wenn die Drehzahl auf 50 % der Nenndrehzahl verringert wird, wird die Stromversorgung abgeschaltet (oder
nach einer vom Anwender definierten Zeitverzögerung), und die FAIL LED auf dem EXC-Controller leuchtet.
Wenn der EXC-Controller eine zu hohe Pumpendrehzahl feststellt, wird die Pumpe sofort abgeschaltet, und
die FAIL LED auf dem EXC-Controller leuchtet.
Wenn die FAIL LED leuchtet, schalten Sie die Vorvakuumpumpe sofort aus und belüften Sie die EXT Split Flow-Pumpe.
Sobald die EXT Split Flow-Pumpe zum Stillstand gekommen ist, beheben Sie die Ursache des Fehlers (siehe
Abschnitt
5.5), drücken Sie die Start/Stop-Taste auf dem EXC-Controller und starten Sie die EXT Split Flow-Pumpe
erneut. Wenn die Pumpe heiß ist, lassen Sie sie vor einem erneuten Start ausreichend abkühlen.
Hinweis:
Alle Verweise auf LEDs und Tasten beziehen sich nicht auf die OEM-Versionen des EXC-Controllers,
d. h. EXC100L oder EXC100.
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© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt
3.4.

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