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Verbindungskabel Zwischen Pumpe Und Controller; Ext-Wasserkühlblock; Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsanschluss-Adapter; Acx-Luftkühler - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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7.4.4

Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller

Der EXC-Controller und die EXT Split Flow-Pumpe müssen mit einem entsprechenden Verbindungskabel verbunden
werden. Das Kabel ist nicht im Lieferumfang der EXT Split Flow-Pumpe oder des EXC-Controllers enthalten
(Ausnahme: EXC100L). Die folgenden Kabel sind lieferbar:
Tabelle 13 - Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller
Kabel
Zwischen Pumpe und Controller
Zwischen Pumpe und Controller
Zwischen Pumpe und Controller
7.4.5
EXT-Wasserkühlblock
Die EXT Split Flow-Pumpe kann mit einem Wasserkühler ausgestattet werden. Beachten Sie jedoch
Prüfung der Stabilität der Kühlwasserzufuhr.
Wasserkühler
WCX250M
7.4.6
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Zum Belüften des Systems stehen zwei Belüftungs-Magnetventile zur Verfügung. Die Ventile sind für 24 V Gleichstrom
ausgelegt. Es sind Schließer, die automatisch vom EXC-Controller betätigt werden können. Das Magnetventil wird an
Stelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter (im Lieferumfang des Ventils
enthalten) montiert und mit einem geeigneten Anschluss mit KF10-Flansch an Ihrem Vakuumsystem eingesetzt
werden. Mittels Belüftungsanschluss-Adapter kann der Belüftungsanschluss oder der Spülgasanschluss mit jedem
geeigneten KF10-Anschluss verwendet werden.
Tabelle 15 - TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Produkt
TAV5-Belüftungsventil
TAV6-Belüftungsventil
Adapter KF10 mit 1/8" BSP-Außengewinde
Verlängerter Belüftungsanschluss-Adapter KF10
mit 1/8-Zoll-BSP-Außengewinde
7.4.7
ACX-Luftkühler
Die EXT Split Flow-Pumpe kann mit einem ACX-Luftkühler ausgestattet werden. Beachten Sie jedoch
die Eignung der Luftkühlung für eine bestimmte Anwendung zu überprüfen.
Luftkühler
ACX250H
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Länge
1 m
3 m
5 m
Tabelle 14 - EXT-Wasserkühlblock
Bestellnummer
B735-01-164
Bestellnummer
B580-66-010
B580-66-020
B580-66-011
B580-66-028
Tabelle 16 - ACX-Luftkühler
Bestellnummer
B580-53-160
B756-01-882 Issue K
Bestellnummer
D396-18-010
D396-18-030
D396-18-050
Abschnitt 2.4
Abschnitt
zur
2, um
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