Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Sicherheitsverriegelungen Und Steuersystem; Ausheizen (Nur Mit Conflat-Flansch) - Edwards EXT556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
Vorschau ausblenden Andere Handbücher für EXT556H:
Inhaltsverzeichnis

Werbung

B777-50-882 Issue C
5. Da sich der Rotor frei dreht und in einem Vakuum bewegt, dauert es, wenn die Pumpe überhaupt nicht belüftet
wird, etwa 40 Minuten, bis der Rotor vollkommen still steht.
4.4

Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem

Wenn die Stromversorgung nach einer Unterbrechung wiederhergestellt wird, läuft die Pumpe
automatisch an. Um Verletzungsgefahr zu vermeiden, muss die Pumpe mit dem Vakuumsystem
verbunden bleiben.
Nachfolgend werden die Schutzvorrichtungen und Sicherheitsverriegelungen der Pumpe beschrieben. Eine
ausführliche Beschreibung dieser Merkmale finden Sie in der Betriebsanleitung zum EXC/EXDC-Controller.
Der EXC/EXDC-Controller überwacht die Temperatur der EXC-Pumpe sowie ihre Stromaufnahme. Wenn der
EXC-Controller zu hohe Werte für Stromaufnahme und Temperatur feststellt, wird die Drehzahl des
Pumpenrotors so weit verringert, bis Stromaufnahme und Temperatur wieder im normalen Bereich liegen.
Wenn die Drehzahl einer über einen EXC-Controller mit Strom versorgten Pumpe auf 50 % der Nenndrehzahl
verringert wird, wird die Pumpe sofort (oder nach einer vom Anwender definierten Zeitverzögerung)
abgeschaltet, und die Fehler-LED („Fail") auf dem EXC-Controller leuchtet auf.
Wenn der EXC Controller eine zu hohe Pumpendrehzahl feststellt, wird die Pumpe sofort abgeschaltet, und
die „FAIL"-LED auf dem EXC Controller leuchtet.
Der EXDC-Controller löst keinen Fehlerzustand aus, wenn die Grenzwerte für Stromaufnahme oder
Temperatur überschritten werden. Stattdessen wird die Drehzahl der Pumpe weiter so lange verringert, bis
die Werte für Stromaufnahme und Temperatur wieder innerhalb zulässiger Grenzen liegen. Bei zu hoher
Pumpendrehzahl verringert der Controller die Leistung so lange, bis die Pumpe wieder mit normaler
Drehzahl läuft.
Wenn die „FAIL"-LED leuchtet, schalten Sie die Vorvakuumpumpe sofort aus, und entlüften Sie die EXT-Pumpe.
Sobald die EXT-Pumpe zum Stillstand gekommen ist, beheben Sie die Ursache des Fehlers (siehe
drücken Sie die Start/Stop-Taste auf dem EXC-Controller, um den FAIL-Zustand zurückzusetzen, und starten Sie die
EXT-Pumpe erneut entsprechend den Richtlinien in
erneuten Start ab, bis die Pumpe abgekühlt ist.
4.5

Ausheizen (nur mit ConFlat-Flansch)

Wenn Sie die Pumpe EXT556H ausheizen, müssen Sie die Pumpe mit Wasserkühlung betreiben, um eine
Schädigung der Lagerschmierung zu vermeiden. Sie müssen auch dafür sorgen, dass die Temperatur am
Hochvakuumflansch 100 °C nicht übersteigt, um Schäden am Lager zu vermeiden.
Wenn Sie Ihre Pumpe EXT556H (und Ihr Vakuumsystem) beheizen, beschleunigen Sie damit den Entgasungsprozess,
sodass die Pumpe das Endvakuum in der kürzestmöglichen Zeit erreicht. Wenn Sie die Pumpe beheizen, verhindern
Sie damit auch, dass Dämpfe im Innern der Pumpe kondensieren.
Zum Beheizen der Pumpe können Sie die Edwards BX-Heizmanschette (siehe
Manschette direkt unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an.
Wenn Sie Ihr Vakuumsystem ausheizen und die Temperatur des Systems 110 °C übersteigt, müssen Sie einen
Wärmeschutzschild zwischen dem System und der Pumpe EXT556H anbringen. Dieser Wärmeschutzschild verringert
die Wärmeabstrahlung auf den Pumpenrotor.
Normalerweise reicht eine Ausheizzeit von vier Stunden aus, um Wasserkondensationen aus der Pumpe zu entfernen.
Die Ausheizzeit hängt jedoch von der Kondensatmenge in der Pumpe und im Vakuumsystem sowie von dem Enddruck
ab, den Sie erreichen wollen.
Seite 22
WARNUNG
Abschnitt
4.1. Wenn die Pumpe heiß ist, warten Sie vor einem
VORSICHT
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt
Abschnitt
7) verwenden. Bringen Sie die
5.5),

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

Ext556hf

Inhaltsverzeichnis