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Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung; Spülgas-Spezifikation; Wasserkühlung; Daten Zu Belüftungsgasen Und Zur Belüftungsregelung - Edwards EXT556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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2.3
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur
Belüftungsregelung
Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine relativ hohe Luftfeuchtigkeit kann jedoch die
nachfolgende Abpumpzeit deutlich erhöhen. Um die Abpumpzeiten zu verringern, sollten Sie die Pumpe mit
trockenen, sauberen Gasen belüften.
Tabelle 2 – Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungsregelung
Merkmale des Belüftungsgassystems
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Kürzeste zulässige Bremszeit auf 50 % Drehzahl
Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit
2.4
Spülgas-Spezifikation
Merkmale des Spülgassystems
Spülgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zulässiger Spülgasdurchsatz (sofern erforderlich)
Empfohlener Spülgasdurchsatz
Maximal zulässiger Spülgas-Eingangsdruck
2.5
Wasserkühlung
Die folgende Spezifikation der Wasserkühlung entspricht einer typischen Spezifikation für hochwertiges Trinkwasser.
Fragen Sie bei der für Sie zuständigen Wasserversorgungsbehörde nach, wenn Sie bezüglich der Qualität Ihres
Trinkwassers Zweifel haben.
Merkmale des Kühlwassersystems
Qualität
pH-Wert
Maximale Calciumcarbonat-Konzentration
Maximale Chlorid-Konzentration
Minimale Sauerstoffkonzentration
Empfohlener Kühlwasserdurchfluss (bei 15 °C)
Wassertemperatur
Maximaler Wasserdruck
Kühlwasser ausgesetzte Materialien
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 Mikron
0,1 ppm
>15 Sekunden
Siehe
Tabelle 3 – Spülgas-Spezifikation
Referenzwerte
Trockener Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 Mikron
0,1 ppm
20 bis 150 sccm (0,33 bis 2,48 mbar l s
25 sccm (0,42 mbar l s
2 bar Überdruck (29 psig, 3 x 10
Tabelle 4 – Spezifikation des Kühlwassersystems
Referenzwerte
Mechanisch sauber und optisch ohne Ablagerungen oder
Trübung
6,0 bis 8,0
75 ppm
100 ppm
4 ppm
15 l h
Siehe
5 bar (Überdruck), 73,5 psig, 6 x 10
Kupfer, Messing und vernickelte Flächen
Abbildung 4
-1
, 42 Pa l s
-1
Tabelle 5
B777-50-882 Issue C
-1
-1
, 33 bis 248 Pa l s
-1
)
5
Pa)
5
Pa
Seite 5
)

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