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Typisches Pumpsystem - Edwards EXT556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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B777-50-882 Issue C
1. Alternative Position für
Belüftungsventil
2. Vakuumsystem
3. Hochvakuum-Messgerät
4. Ansaugsieb (werkseitig
montiert)
5. EXT-Pumpe
Seite 12
Abbildung 2 – Typisches Pumpsystem
6. Ventil der Vorvakuumpumpe
7. Vakuummessung
8. Wellschläuche
9. Adsorptionsfalle
10. Drehschieber-
Vorvakuumpumpe
11. Ölnebelfilter
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
12. Kühlwasseranschlüsse
13. EXC-Controller
14. Luftkühler
15. PRX10- Sperrgas-
Drosselventil
16. Geregelte Spülgaszufuhr
17. Belüftungsventil
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.

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Diese Anleitung auch für:

Ext556hf

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