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Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung - Edwards nEXT730D Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen
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Stickstoff
Krypton
Argon
Kohlendioxid
Helium
Wasserstoff
Die Pumpe kann unter den folgenden Bedingungen zum Pumpen von Sauerstoff und
Wasserdampf verwendet werden:
Sauerstoff – die Sauerstoffkonzentration muss geringer als 25 % (auf das Volumen
bezogen) sein.
4.4 Belüftungsgas‐Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative
Luftfeuchtigkeit kann jedoch die nachfolgende ‑Abpumpzeit deutlich erhöhen. Um die
‑Abpumpzeiten zu verringern, belüften Sie die Pumpe mit trockenen, sauberen Gasen.
Eine Beschreibung der Belüftungsoptionen finden Sie unter
Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Konfigurieren der Belüftungsoptionen unter Optionen für eine geregelte Belüftung
Optionen für die geregelte Belüftung
Tabelle 7 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
Belüftungsgas‐Spezifikationen und Daten
zur Belüftungsregelung
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphären-
druck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Empfohlene Zeit, bis Drehzahl von 50 %
erreicht ist
Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwin-
digkeit
Maximal zulässiger Belüftungsgasversor-
gungsdruck
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
auf Seite 82und Anweisungen zum
auf Seite 74.
Seite 32
Belüftungsoptionen,
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder ande-
re Inertgase
-22 °C
1 µm
0,1 ppm
> 15 Sekunden
Siehe Abbildung unten.
1 bar (gemessen); 14,5 psig, 2 x 10
09/2021 - ©Edwards Limited
5
Pa

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