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Belüftungsventile Tav5 Und Tav6; Vrx-Belüftungsdrossel - Edwards nEXT730D Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen
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Flanschheizung
nEXT1230H (110 V)-Flanschheizung
nEXT1230H (240 V)-Flanschheizung
14.4 Belüftungsventile TAV5 und TAV6
Zum Belüften des Systems stehen 24 V DC-TAV5- und TAV6-Magnet-Belüftungsventile zur
Verfügung; diese sind entweder Ventile N/O (im Ruhezustand geöffnet) oder N/C (im
Ruhezustand geschlossen).
Die Ventile sind mit einem vorverdrahteten Anschluss zum direkten Anschluss an den
Aux-Anschluss am Controller oder als Blankdrahtversion erhältlich.
TAV5-Belüftungsventile haben eine Öffnung mit 0,5 mm Durchmesser und sind für die
Belüftung kleiner Vakuumsysteme mit bis zu 5 l geeignet. TAV6-Belüftungsventile haben
eine Öffnung mit 1,0 mm Durchmesser und sind für die Belüftung größerer
Vakuumsysteme geeignet.
Die Belüftungsventile sind vorab mit Belüftungsoption 1 verbunden und die
Standardeinstellung ist volle Belüftung mit 50 % (Option 0). Das Magnetventil wird an
Stelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter
(im Lieferumfang des Ventils enthalten) montiert und mit einem geeigneten Anschluss
mit DN10KF-Flansch an Ihrem Vakuumsystem eingesetzt werden. Mittels
Belüftungsanschluss-Adapter kann der Belüftungsanschluss oder der Spülanschluss mit
jedem geeigneten DN10KF-Anschluss verwendet werden.
Tabelle 41 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Produkt
nEXT TAV5-Kit Anschluss (in Ruhest.
geschl.) montiert (0,3 m)
nEXT TAV5-Kit (in Ruhest. geschl.), Blank-
draht (3 m)
nEXT TAV5-Kit Anschluss (in Ruhest. geöff-
net) montiert (0,3 m)
nEXT TAV5-Kit (in Ruhest. geöffnet), Blank-
draht (3 m)
nEXT TAV6-Kit (in Ruhest. geöffnet), Blank-
draht (3 m)
14.5 VRX‐Belüftungsdrossel
Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von
Belüftungsgas in die Pumpe zu begrenzen.
Tabelle 42 VRX-Belüftungsdrossel
Belüftungsdrossel
VRX10
VRX20
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Zubehör
Öffnungsdurchmes‐
ser (mm)
0,1
0,2
Seite 123
Bestellnummer
auf Anfrage
auf Anfrage
Bestellnummer
B8G200835
B58066040
B8G200834
B58066010
B58066020
Bestellnummer
B58066021
B58066022
09/2021 - ©Edwards Limited

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