Auswahl, Anschluss Und Steuerung Des Belüftungsventils; Manuelles Belüftungsventil; Elektromagnetisches Belüftungsventil Tav5 Oder Tav6; Die Magnetventile - Edwards nEXT series Betriebsanleitung

3.9 Auswahl, Anschluss und Steuerung des Belüftungsventils
Wenn die Pumpe belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft, und wenn der Druck zu schnell ansteigt,
könnte dies zu Schäden an der Pumpe führen und ihre Lebensdauer verkürzen. Wir empfehlen daher, entweder
die Geschwindigkeit des Druckanstiegs zu begrenzen (siehe
öffnen, nachdem die Drehzahl der nEXT-Pumpe auf 50 % ihrer vollen Drehzahl gesunken ist.
Um das Vakuumsystem sauber zu halten, empfiehlt Edwards, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst (oder
das Vakuumsystem) zu belüften, wenn sich die Drehzahl der DX-Pumpe zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der
vollen Drehzahl bewegt. In diesem Drehzahlbereich dreht sich der Rotor schnell genug, um jede Rückströmung von
Öl auf Kohlenwasserstoffbasis aus der Vorvakuumpumpe zu unterdrücken.
Schließen Sie das Belüftungsventil nicht an die Vorvakuumleitung an, da dies zu Verunreinigungen führen könnte.
Schließen Sie den Einlass des Belüftungsventils an die Belüftungsgasversorgung an (Informationen zur Belüftungsgas-
Spezifikation finden Sie in
Die Belüftung kann durch eine der folgenden in
durchgeführt werden.
3.9.1 Manuelles Belüftungsventil
Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der nEXT-Pumpe. Es ist nicht möglich, die Geschwindigkeit
des Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil exakt zu regeln; achten Sie deshalb darauf, das Ventil nicht
zu schnell zu öffnen. Edwards empfiehlt, das manuelle Belüftungsventil erst dann zu öffnen, nachdem die
Pumpendrehzahl auf 50 % der vollen Drehzahl gesunken ist.
3.9.2 Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5 oder TAV6
Die Magnetventile TAV5 und TAV6 können als Zubehör bestellt werden – siehe
können wie folgt eingesetzt werden:
Ein TAV5- oder TAV6-Magnetventil kann statt des manuellen Belüftungsventils an der Pumpe

verwendet werden.
Ein TAV5- oder TAV6-Magnetventil kann an einen geeigneten Flansch des Vakuumsystems

angeschlossen werden.
Wenn ein Belüftungsventil an das Vakuumsystem angeschlossen wird, wählen Sie einen Punkt oberhalb der
nEXT-Pumpe, um ein Rückströmen von Öl aus der Vorvakuumpumpe zu verhindern.
Wenn Sie das TAV5-Belüftungsventil verwenden, kann die Pumpe nur dann bei voller Drehzahl voll belüftet werden,
wenn das Vakuumsystem ein Volumen von 5 Litern oder mehr hat. Wenn Sie das TAV6-Belüftungsventil verwenden,
kann die Pumpe nur dann bei voller Drehzahl voll belüftet werden, wenn das Vakuumsystem ein Volumen von
10 Litern oder mehr hat.
Wenn das Volumen des Vakuumsystems kleiner als 5 Liter ist (wenn ein TAV5-Belüftungsventil verwendet wird) oder
wenn das Volumen des Vakuumsystems kleiner als 10 Liter ist (wenn ein TAV6-Belüftungsventil verwendet wird),
bauen Sie eine geeignete Belüftungsdrossel ein und belüften Sie die Pumpe so bei voller Drehzahl oder verwenden
Sie andernfalls die Option für geregelte Belüftung.
Belüftungsventil zu montierenden Drossel für unterschiedliche Volumina des Vakuumsystems an, damit der
Druckanstieg innerhalb der in
Hinweis: Wenn eine Belüftungsdrossel verwendet wird, dauert die Belüftung des Vakuumsystems unter Umständen
unannehmbar lang. Die Zeit kann verkürzt werden, wenn ein Belüftungsventil ohne Belüftungsdrossel
verwendet und gewartet wird, bis die Pumpendrehzahl auf 50 % der vollen Drehzahl gesunken ist, bevor
das Belüftungsventil geöffnet wird.
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VORSICHT
Abschnitt 2.3).
Abschnitt 3.9.1
Tabelle 20
Abbildung 7 dargestellten Grenzen bleibt.
Abbildung 7) oder das Belüftungsventil erst dann zu
bis 3.9.4 beschriebenen Methoden
Abschnitt
gibt Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße der auf das
B800-00-882 Issue D

7.4. Die Magnetventile

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