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Wartung
Stellen Sie beim Entfernen der Pumpe sicher, dass zum Schutz vor Verletzungen durch defekte
Komponenten sowie durch die potenzielle Ansammlung gefährlicher Stoffe, die möglicherweise
gepumpt wurden, immer persönliche Schutzausrüstung verwendet wird. Vergewissern Sie sich,
dass die Pumpe in die Atmosphäre entlüftet wird und auf eine sichere Temperatur abgekühlt ist.
Achten Sie auf möglicherweise vergossene Materialien, scharfe Kanten und Partikel. Beim
Entfernen des Ansaugsiebs der Pumpe besteht Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten.
Warten Sie, bis der Pumpenrotor zum Stillstand gekommen ist, trennen Sie anschließend das Kabel
der Logik-Schnittstelle von der Stromversorgung und trennen Sie alle anderen Stromquellen, bevor
Sie die Pumpe für Wartungsarbeiten oder zur Fehlersuche aus Ihrem Vakuumsystem ausbauen.
5.1
Einführung
Die folgenden Abschnitte enthalten Anweisungen zur Lagerwartung und zur Reinigung der Oberflächen der nEXT-
Turbomolekular-Vakuumpumpe. Die Ansaugsiebe, der Ansaugfilter und die Dichtungen für den Hochvakuumflansch
sind als Ersatzteile erhältlich (siehe
5.2
Wartung des Lagers und der Ölkartusche
Die Ölkartusche und das ölgeschmierte Lager müssen am Ende ihrer Betriebsdauer ersetzt werden. Die Betriebsdauer
liegt normalerweise bei über 17.500 Stunden für die Ölkartusche und bei über 35.000 Stunden für das Lager.
Wenn die Ölkartusche und/oder das Lager ausgetauscht werden müssen, empfiehlt folgende Möglichkeiten:
Senden der Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum zum Austausch des Lagers und/oder der
Ölkartusche
Kauf einer Ölkartusche oder eines Lagerwartungs-Kits und Austausch des Lagers und/oder der Ölkartusche
vor Ort (siehe
Abschnitt
5.3
Lebensdauer des Rotors
Die Lebensdauer der Rotoren einer EXT Turbomolekularpumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als
Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleunigungszyklen von Stopp-Stellung auf max.
Drehzahl und zurück in Stopp-Stellung zur Generalüberholung (Rotoraustausch) zurückzusenden, oder aber nach 10
Jahren, abhängig davon, welche Bedingung zuerst eintritt.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
WARNUNG
Abschnitt
7.3).
7.2)
B800-00-882 Issue D
Seite 71
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