Inhaltsverzeichnis
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Einführung
1.1
Umfang und Definitionen
Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb und Wartung der Edwards
nEXT-Turbomolekularpumpen. Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden.
Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.
Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen
Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend
definiert.
Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um
Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.
Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen sowie den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.
Die in dieser Anleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen
Maßeinheitensystem SI (System International). US-Entsprechungen der Maßeinheiten werden ebenfalls angegeben,
wo dies sinnvoll ist. Zur Angabe von Durchfluss- bzw. Durchsatzwerten wird die Abkürzung „sccm" verwendet, die
für Standard-Kubikzentimeter pro Minute steht. Hierbei handelt es sich um einen Volumenstrom von 1 cm
einer Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von 1013 mbar (1,013 x 10
Folgende Warnschilder sind an der Pumpe angebracht:
Warnung – siehe beigefügte Dokumente.
Warnung – Stromschlaggefahr.
Warnung – heiße Oberflächen.
Schutzleiterendstück.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
B800-00-882 Issue D
3
min
5
Pa).
-1
bei
Seite 1
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