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Edwards nEXT300D Handbücher
Anleitungen und Benutzerhandbücher für Edwards nEXT300D. Wir haben
1
Edwards nEXT300D Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung
Edwards nEXT300D Betriebsanleitung (100 Seiten)
Marke:
Edwards
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 2.13 MB
Inhaltsverzeichnis
Konformitätserklärung
2
Inhaltsverzeichnis
3
Einführung
9
Umfang und Definitionen
9
Allgemeine Beschreibung
10
Pumpen-Controller
11
Funktionsmerkmale
11
Einstellung der Leistungsgrenze
11
Standby-Drehzahl
12
Timer
12
Analogausgang
12
Optionen für Automatische Belüftung
13
Einstellung der Normaldrehzahl
13
Logik-Schnittstelle
13
Parallele Steuerung und Überwachung
14
Serielle Steuerung und Überwachung
14
Serielle Steuerung mit Paralleler Überwachung
14
Parallele Steuerung mit Serieller Überwachung oder Serieller Konfiguration
15
Controller-Konfiguration (Serielle Konfiguration)
15
Technische Daten
17
Allgemeines
17
Pumpmedien
17
Allgemeine Daten
17
Technische Daten - Next 240-Pumpen
18
Technische Daten - Next 300-Pumpen
19
Technische Daten - Next 400-Pumpen
20
Technische Daten - Next-Pumpen
21
Next240-Leistungskurve
22
Next300-Leistungskurve
22
Next400-Leistungskurve
23
Next 240-Abmessungen (MM)
24
Next 300-Abmessungen (MM)
26
Next 400-Abmessungen (MM)
28
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
30
Maximal Zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften: Druck über der Zeit
30
Spülgas-Spezifikation
31
Kühlwasser
31
Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
31
Spezifikation des Kühlwassersystems
31
Elektrische Daten
32
Anschluss der Logik-Schnittstelle
32
Technische Daten der Logik-Schnittstelle
32
Pin-Belegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle
34
Schnittstellenschaltungen für Next-Turbopumpen-Controller
35
Anschlussbuchse des Controllers
36
Controller-Anschluss mit Angabe der Pinnummern
36
Technische Daten des Controllers
36
Anzeige-Leds
37
Betriebs- und Lagerungsumgebung
37
Installation
39
Auspacken und Kontrollieren
39
Checkliste der Einzelnen Komponenten
39
Typische Installation
40
Anschluss an das Vakuumsystem
40
Typisches Pumpsystem mit einer Next-Pumpe
41
Ansaugsieb (nur bei CF Werkseitig Montiert)
42
Mechanische Befestigung
42
Anschluss des Hochvakuumflansches und Einbaulage
42
Montage über den Pumpenfuß
43
Vorvakuumanschluss
44
Zwischenstufen-Anschluss (nur Varianten)
44
Spülgasanschluss
44
Anschließen des Spülgases
44
Empfohlener Spülgasdurchsatz
44
Elektroinstallation
45
Einführung
45
Erdungs-(Masse-)Anschlüsse
45
Anschließen der Logik-Schnittstelle an den TIC
45
Anschließen der Logik-Schnittstelle an das Steuergerät des Kunden
45
Anschließen der Stromversorgung
46
Anschluss für die Parallele Steuerung und Überwachung
47
Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
47
Anschluss für die Serielle Steuerung und Überwachung
48
Anschließen der Seriellen Schnittstelle an das Kundeneigene Steuergerät
48
Controller-Statusinformationen
49
Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Serielle RS232-Steuerung
50
Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Serielle RS485-Steuerung
50
Serielle Aktivierung („Serial Enable")
51
Serielles Protokoll
51
Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss über die RS232-Schnittstelle
52
Meldungsstruktur
53
RS485-Multidrop-Anschluss
53
Verfügbare Befehle
54
Zusammenfassung der Befehle, die an die Next-Pumpe Gesendet werden können
54
Abkürzungen der Befehle
56
Anschluss der Logik-Schnittstelle - Gemischter Paralleler und Serieller Betrieb
57
Multidrop-Betrieb
58
Verbindung für Gemischten Parallelen und Seriellen Betrieb
58
Auswahl, Anschluss und Steuerung des Belüftungsventils
59
Manuelles Belüftungsventil
59
Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5 oder TAV6
59
Die Magnetventile
59
Steuerung Belüftungsventil
60
Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem
60
Kühlung
61
Einführung
61
Druckluftkühlung
61
Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)
61
Wasserkühlung
62
Maximale Relative Luftfeuchtigkeit, um eine Kondensation bei der Wasserkühlung zu Vermeiden
62
Betrieb
63
4 Betrieb
63
Next-Pumpe mit Seriellen Befehlen Konfigurieren
63
Einstellung der Leistungsgrenze
63
Stromversorgung eines Lüfters vom Controller aus
64
Optionen für die Geregelte Belüftung
64
Einstellung der Standby-Drehzahl
65
Einstellung der Normaldrehzahl
65
Timer-Einstellung und -Optionen
66
Optionen für Analogsignal
67
Werkseitige Einstellungen
67
Zuweisen einer Multidrop-Adresse
68
Next-Pumpe mit einem TIC Konfigurieren
69
Vor dem Einschalten der Pumpe
69
Schließen des Belüftungsventils
69
Kontrollen vor der Inbetriebnahme
70
Betrieb mit Paralleler Steuerung und Überwachung
70
Starten der Pumpe
70
Betrieb mit Standby-Drehzahl
70
Stopp der Pumpe
70
Parallele Überwachung
70
Betrieb mit Serieller Steuerung und Überwachung
71
Verzögerter Start
71
Starten der Pumpe
71
Standby-Drehzahl
71
Stopp der Pumpe
72
Temperaturwerte
72
Werte der Verbindungsparameter
72
Gemessene Motordrehzahl
72
Gemischter Paralleler und Serieller Betrieb
73
Serielle Aktivierung („Serial Enable") - Matrix
73
Betrieb mit einem TIC
74
Verlangsamen und Belüften
74
Serielle und Parallele Steuerung - Flussdiagramm
74
Betrieb unter Extremen Bedingungen
75
Betrieb mit Hohem Einlassdruck
75
Betrieb bei Hohen Temperaturen
75
Schutz vor Überdrehzahl
75
Fehler in der Stromversorgung
76
Ausheizen
76
Verhalten einer Pumpe, wenn die Stromversorgung nach einem Ausfall wieder Hergestellt wird
77
Wartung
79
Einführung
79
Wartung des Lagers und der Ölkartusche
79
Lebensdauer des Rotors
79
Reinigen der Außenflächen der Pumpe
80
Fehlersuche
80
Blinksignal-Servicecodes
83
Entschlüsseln der Servicestatus-Wörter
83
Service-Flags
83
Controller-Laufzeit
84
Pumpenlaufzeit
84
Pumpzyklen
84
Lagerlaufzeit
85
Laufzeit Ölkartusche
85
Blinksignal-Fehlercodes
85
Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter
86
Hexadezimal-Umrechnungstabelle
87
Status-Flags
87
Beispiel zur Entschlüsselung von Systemstatus-Wörtern
88
Nützliche Informationen für den Kundendienst
89
Lagerung und Entsorgung
91
Lagerung
91
Entsorgung
91
Service, Ersatzteile und Zubehör
93
Einführung
93
Kundendienst
93
Rücksenden einer Pumpe zum Kundendienst
93
Vor-Ort-Wartung von Lager und Ölkartusche
93
Wartungswerkzeug-Kits
93
Ersatzteile
94
ISX-Ansaugsieb
94
Ansaugfilter
94
HV-Flansch-Dichtungen und Integrierte Ansaugsiebe
94
Wartungs-Kit
94
Anschlüsse DN16KF und DN25KF
95
Zubehör
95
Installation
95
ACX-Luftkühler
95
WCX-Wasserkühler
95
BX-Heizmanschette
96
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsflansch-Adapter
96
VRX-Belüftungsdrossel
96
Belüftungsflansch-Adapter
97
PRX-Spülgas-Drosselventil
97
Adapter-Kit für Flanschklemme
97
Schnittstellenkabel
97
Adapterwerkzeug-Kit für Flanschklemme
97
Adapteranschluss-Kit für Flanschklemme
97
TIC PC Programm
98
Explosionszeichnung der Next-Zubehörteile
98
Explosionszeichnung der Next-Zubehörteile
99
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