Edwards nEXT730D Betriebsanleitung Seite 4

4.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.6 Spülgas-Spezifikation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.7 Wasserkühlung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.8 Elektrische Daten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.9 Anschluss der Logik-Schnittstelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.10 Serielles Protokoll. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
4.11 Verfügbare Befehle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
4.12 Multidrop-Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
4.13 Aux-Anschlussbuchse des Motor-Controllers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
4.14 Anzeige-LEDs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
5. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
5.1 Auspacken und Überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
5.2 Anschluss an das Vakuumsystem. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
5.3 Spülgasanschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
5.4 Elektroinstallation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
5.5 Anschluss der parallelen Steuerung und Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . . 62
5.6 Anschluss für die serielle Steuerung und Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . . 64
5.7 Verbindung für gemischten parallelen und seriellen Betrieb. . . . . . . . . . . . . 66
5.8 Kühlung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
6. Konfiguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
6.1 Konfiguration der Pumpe mit seriellen Befehlen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
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5.2.1 Entfernen/Austausch des Ansaugsiebes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
5.2.2 Einbaulage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
5.2.3 Montage der Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
5.2.4 Vorvakuumanschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
5.3.1 Empfohlener Spülgasdurchsatz. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
5.3.2 Anschließen des Spülgases. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
5.4.1 Erdungs-(Masse-)Anschlüsse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
5.4.2 TIC- oder TAG-Logik-Schnittstellen-Anschlüsse. . . . . . . . . . . . . . . . . 60
5.4.3 Anschließen der Logik-Schnittstelle an die Steuereinrichtung. . . . . 60
5.4.4 Anschließen der Stromversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
5.6.1 Anschließen der seriellen Schnittstelle an das kundeneigene
Steuergerät. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
5.6.2 Serielle Aktivierung („Serial Enable"). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
5.8.1 Kühlungsanforderungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
5.8.2 Druckluftkühlung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
5.8.3 Wasserkühlung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
6.1.1 Meldungsstruktur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
6.1.2 Liste der Befehle und Antworten - Definitionen. . . . . . . . . . . . . . . . 72
6.1.3 Einstellung der Leistungsgrenze. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
6.1.4 Stromversorgung eines Lüfters über den Motor-Controller. . . . . . . 74
6.1.5 Optionen für die geregelte Belüftung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
6.1.6 Einstellung der Standby-Drehzahl. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
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