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Edwards T-Station 75 Betriebsanleitung
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Edwards T-Station 75 Betriebsanleitung

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Beschreibung
T-Station 75W DN40KF 200-230 V 50/60 Hz
T-Station 75W DN40KF 100-120 V 50/60 Hz
T-Station 75W ISO63 200-230 V 50/60 Hz
T-Station 75W ISO63 100-120 V 50/60 Hz
T-Station 75W CF63 200-230 V 50/60 Hz
T-Station 75W CF63 100-120 V 50/60 Hz
Betriebsanleitung
T-Station 75
Bestellnummer
Beschreibung
TS75W1001
T-Station 75D DN40KF 200-230 V 50/60 Hz
TS75W1002
T-Station 75D DN40KF 100-120 V 50/60 Hz
TS75W2001
T-Station 75D ISO63 200-230 V 50/60 Hz
TS75W2002
T-Station 75D ISO63 100-120 V 50/60 Hz
TS75W3001
T-Station 75D CF63 200-230 V 50/60 Hz
TS75W3002
T-Station 75D CF63 100-120 V 50/60 Hz
D395-93-882
Issue A
Bestellnummer
TS75D1001
TS75D1002
TS75D2001
TS75D2002
TS75D3001
TS75D3002

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Verwandte Anleitungen für Edwards T-Station 75

Inhaltszusammenfassung für Edwards T-Station 75

  • Seite 1 D395-93-882 Issue A Betriebsanleitung T-Station 75 Beschreibung Bestellnummer Beschreibung Bestellnummer T-Station 75W DN40KF 200-230 V 50/60 Hz TS75W1001 T-Station 75D DN40KF 200-230 V 50/60 Hz TS75D1001 T-Station 75W DN40KF 100-120 V 50/60 Hz TS75W1002 T-Station 75D DN40KF 100-120 V 50/60 Hz...

  • Seite 2: Konformitätserklärung

    Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, T-Station 75 T S 7 5 - X X – 0 0 X Die Materialnummern decken eine Produktfamilie ab, in der Folgendes variieren kann: - Einlassflansche der Turbomolekularpumpe, Stromversorgung und Vorvakuumpumpen.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Sicherheit ........................ 28 Wartungsplan ......................28 Untersuchung der Schläuche, Leitungen und Anschlüsse ............29 Fehlersuche ......................29 Fehlercodes ......................31 Werkseitige Standardeinstellungen .................. 32 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 4 Titel der Publikation Nummer der Publikation Membranpumpe - XDD1 A746-02-882 Drehschieberpumpe - E2M0.7 / E2M1.5 A371-32-882 Turbomolekularpumpen - EXT75DX / EXT255DX B722-40-882 Seite ii © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 5: Einführung

    Diese Betriebsanleitung enthält Anweisungen zur Installation, zum Betrieb sowie zur Wartung der T-Station der Firma Edwards. Verwenden Sie die T-Station nur so, wie es in dieser Anleitung beschrieben wird. Lesen Sie sich die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der T-Station aufmerksam durch.

  • Seite 6: Beschreibung

    Turbomolekularpumpe. The T-Station wird über ein bedienerfreundliches Touchpad-Bedienfeld gesteuert. Ein einzelner integrierter Messröhreneingang kann an eine Reihe von Edwards-Aktivmessröhren angeschlossen werden, um Druckmessungen und/oder das Steuerungs-Management der Turbomolekularpumpe zu ermöglichen. Dank ihrer Kompaktheit ist die T-Station ideal für den Einsatz als Tischgerät oder auf passenden mobilen Plattformen.

  • Seite 7: Bauteile Der T-Station

    11. Tragegriffe der T-Station 5. TAV-Belüftungsventil (optionales Zubehör, 12. Befestigungspunkte der T-Station bei gehört nicht zum Lieferumfang) Verwendung als Tischgerät (siehe Abschnitt 3.4) 6. Turbomolekularpumpenanschluss © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 8: Technische Daten

    24 V Nenngleichspannung Maximale Ausgangsleistung 80 W Aktiv-Messröhre (siehe Abbildung 1, Punkt 7) Steckverbinder-Typ RJ45, 8-polig Stromversorgung 24 V Nenngleichspannung Maximale Leistungsaufnahme Seite 4 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 9 D395-93-882 Issue A Abbildung 2 - Gerätemaße (mm) © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 10: Pinbelegung Für Eine 15-Polige Sub-D-Buchse

    Power supply common (Stromversorgung, Nullleiter) Power supply common (Stromversorgung, Nullleiter) Normal signal input (Eingang "Normal"-Signal) Abbildung 4 - Pinbelegung eines 8-poligen RJ45-Anschlusses Seite 6 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 11: Elektrische Daten

    Tabelle 3 - Elektrische Daten Strom (A) Versorgungsspannung Pumpenkombination Leistung (W) 50/60 Hz Volllast Start XDD1 / EXT75DX 1,35 13,6 3,92 12,0 E2M1.5 / EXT75DX © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 12: Pumpmedien

    Sauerstoffkonzentration geringer als 20 % (auf das Volumen bezogen) sein. Wasserdampf - Sie müssen dafür sorgen, dass der Dampf nicht im Inneren der Pumpe kondensiert. Seite 8 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 13: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien

    Aluminiumlegierungen, rostfreie Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Nitril, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz, glasfaserverstärktes Epoxidharz, flammhemmendes Polypropylen, Polyamid und PVC. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 14: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung

    Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Siehe Abbildung 5 Abbildung 5 - Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften: Druck über der Zeit (Pumpe läuft anfangs mit voller Drehzahl) Seite 10 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 15: Installation

    Einlassdichtung (entweder O-Ring mit Zentrier- und Außenring, Co-Seal-Dichtung oder Kupfer-Kompressionsdichtung für den Einlassflansch) Anschluss (24 V) - zum Antrieb des Zubehörs von der Buchse des Pumpen-Moduls © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 16: Aufstellung Der T-Station

    3. Warten Sie einige Minuten, und überprüfen Sie dann erneut den Ölstand. Falls der Ölstand jetzt unter der MAX-Markierung liegt, füllen Sie mehr Öl in die Pumpe. Seite 12 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 17: Anschluss Der T-Station An Ihr Vakuumsystem

    Wenn Sie ein Abgas-Absperrventil installiert haben, müssen Sie dafür sorgen, dass die Pumpe bei geschlossenem Ventil nicht betrieben werden kann. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 18: Anschluss Der Stromversorgung

    Der Antrieb der Turbomolekularpumpe wird ausgeschaltet, und die Pumpe verlangsamt. Das TAV-Belüftungsventil wird von 50 % auf volle Drehzahl geöffnet.* * Dieser Vorgang betrifft nur Systeme, die mit einem TAV-Belüftungsventil von Edwards (optionales Zubehör) ausgerüstet sind. Weitere Belüftungsoptionen finden Sie in Abschnitt 4.3.3.

  • Seite 19: Anschluss Eines Vakuum-Messgeräts

    Schäden an diesem Messgerät führen und Sie würden Ihren Gewährleistungsanspruch verlieren. An die T-Station kann eine einzelne kompatible Aktiv-Messröhre angeschlossen werden. Schließen Sie die Messröhre mit einem Aktiv-Messröhrenkabel von Edwards an den Messröhrenanschluss an, der sich seitlich am Controller- Gehäuse befindet (siehe Abbildung 1).

  • Seite 20: Inbetriebnahme Der Anlage

    Vorgang durch Drücken der Eingabetaste (ENTER). Vergewissern Sie sich, dass das Gerät wie in Abschnitt 3.9 beschrieben abschaltet. Weitere betriebsrelevante Angaben, und wie Sie mithilfe der Tasten in der Fronttafel navigieren, finden Sie Abschnitt 4.3. Seite 16 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 21: Betrieb

    Bildschirm "Turbo" Bildschirm "Gauge" (Messröhre) Bildschirm "Vent valve" (Belüftungsventil) Bildschirm "Turbo Set-Point (TSP)" (Turbo-Schaltpunkt) Bildschirm "Calibrate gauge" (Messröhre kalibrieren) Bildschirm "Units" (Einheiten) © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 22: Inbetriebnahme

    Schnellzugriffsmöglichkeiten auf die Display-Ansichten und die Menüstruktur der Fronttafelanzeige der T-Station. Sie zeigen, welche Schaltflächen Sie innerhalb der Menüs wohin führen. Seite 18 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 23: Bildschirm "Turbo

    Wenn der Bildschirm "Turbo" ausgewählt ist, leuchtet die Turbo-LED, und die Drehzahl der Turbomolekularpumpe wird als Prozentsatz der vollen Drehzahl angezeigt. Ist keine Turbomolekularpumpe angeschlossen, so erscheint im Display "---". © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 24: Pumpen Einschalten

    (Weiter) gedrückt werden, kehrt das Display zur Turbodrehzahl zurück, und die Pumpen laufen weiter. Wenn die Turbomolekularpumpe verlangsamt, blinkt der untere rechte Teil des Prozentsatzzeichens, bis die Turbomolekularpumpe vollständig zum Stillstand gekommen ist. Seite 20 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 25: Bildschirm "Gauge" (Messröhre)

    ". Drücken Sie die Taste NEXT (Weiter), um zwischen 1000 und 2000 mbar auszuwählen, und drücken Sie dann die Taste ENTER (Auswahlbestätigung), um ihre Auswahl zu quittieren. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 26: Steuerung Für Messröhre On/Off (Ein/Aus)

    Diese kann auch verwendet werden, um einen Luftkühler (z. B. ACX75) mit Strom zu versorgen, wenn dieser entfernt von der Turbomolekularpumpe installiert ist. Change Turbo Vent Vent option Seite 22 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 27: Tastenbetätigungen Bei Anzeige Des Bildschirms "Vent Valve" (Belüftungsventil)

    Wenn Sie den "Turbo Set-Point" (Turboschaltpunkt) auf "Pressure" (Druck) stellen, aber keine Messröhre anschließen, wird die Turbomolekularpumpe nicht anlaufen. Turbo Change TSP option Number Entry Mode © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 28: Zifferneingabemodus

    Display kehrt zur Anzeige des Schaltpunktwerts zurück. Der TSP ist eingestellt, nachdem die vollständige Zahl eingegeben wurde. Edit digit 1 Edit digit 2 Edit digit 3 or Exp Number Entry Mode Seite 24 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 29: Bildschirm "Calibrate Gauge" (Messröhre Kalibrieren)

    Taste ENTER (Auswahlbestätigung) abbrechen. Am Display erscheint für 3 Sekunden "OFF" (Aus), um den Abbruch des Nullpunktabgleichs zu bestätigen. Calibrate Turbo Gauge © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 30: Tastenbetätigungen Bei Anzeige Des Bildschirms "Calibrate" (Kalibrieren)

    Um im "Edit mode" (Bearbeitungsmodus) durch um zum Bildschirm "Turbo" zu gelangen. die "Units" (Einheiten) zu blättern, oder durch die Menübildschirme zu blättern. Seite 26 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 31: Gasballast-Steuerventil (E2M1.5)

    Energie aufgebraucht wurde, wird das System einen Neustart durchführen. Wenn die Stromversorgung wieder hergestellt wird, nachdem die rückgewonnene Energie aufgebraucht wurde, wird das System keinen Neustart durchführen. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 32: Wartung

    Die folgenden Dokumente enthalten Angaben zu den Wartungseingriffen, die mindestens erforderlich sind, um den Normalbetrieb der T-Station aufrechtzuerhalten. Membranpumpe XDD1 A746-02-882 Drehschieberpumpen E2M0.7 / E2M1.5 A371-32-882 Turbomolekularpumpen EXT75DX / EXT255DX B722-40-882 Seite 28 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 33: Untersuchung Der Schläuche, Leitungen Und Anschlüsse

    Volumen), und lassen Sie nur die Vorvakuumpumpe laufen. Ist der Hochvakuumbereich des Systems Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie das verunreinigt? Hochvakuumsystem. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 34 Siehe den Abschnitt "Fehlersuche" in der molekularpumpe Betriebsanleitung der Turbomolekularpumpe. ist sehr laut, oder Siehe Abschnitt 1.2.2. es gibt zu starke Schwingungen oder beides. Seite 30 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 35: Fehlercodes

    Drücken Sie die Taste START/STOP (Ein/Aus), um die Fehlermeldung zu löschen. Weitere Einzelheiten zur detaillierten Fehlersuche finden Sie in der Betriebsanleitung der Turbomolekularpumpe. © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 36: Werkseitige Standardeinstellungen

    Halten Sie die Taste NEXT (Weiter) gedrückt, bis "Err01" angezeigt wird. 3. Schalten Sie die Netzstromversorgung aus und dann wieder ein. Die werkseitigen Standardeinstellungen werden jetzt eingestellt. Seite 32 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 37: Lagerung Und Entsorgung

    Hinweise, wie Sie beim Ablassen des Öls aus der E2M1.5-Drehschieberpumpe vorgehen, finden Sie in der zur Pumpe gehörenden Betriebsanleitung. Drehschieberpumpen E2M0.7 / E2M1.5 A371-32-882 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 38: Ersatzteile Und Zubehör

    Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards- Schulungen besucht haben. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei einem Unternehmen oder einer Vertriebsstelle von Edwards in Ihrer Nähe. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an: Modell und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung...

  • Seite 39: Index

    Fehlercodes ..........31 Technische Daten ......... 4 Fehlersuche ..........29 Technische Daten der T-Station ......9 Tischbefestigung ......... 12 Gasballast-Steuerventil (E2M1.5) ..... 27 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 40 Verzögerung der Turbomolekularpumpe ..... 14 Vorsicht .............1 Warnungen ..........1 Wartung ........... 28 Wartungsplan ..........28 Werkseitige Standardeinstellungen ....32 Zifferneingabemodus ........24 Seite 36 © Edwards Limited 2011. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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