Inhaltsverzeichnis
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Inhalt
Abschnitt
1
Einführung ......................................................................................... 1
1.1
Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
1.2
Beschreibung ............................................................................................................. 2
1.2.1
Übersicht .................................................................................................................. 2
1.2.2
Allgemeine Beschreibung der Hauptkomponenten der T-Station ................................................ 2
2
Technische Daten ................................................................................. 4
2.1
Allgemeines ............................................................................................................... 4
2.2
Betriebs- und Lagerungsdaten ......................................................................................... 4
2.3
Elektrische Anschlüsse .................................................................................................. 4
2.4
Elektrische Daten ........................................................................................................ 7
2.5
Pumpmedien .............................................................................................................. 8
2.6
Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .................................................................... 9
2.7
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung .............................................. 10
3
Installation ....................................................................................... 11
3.1
Sicherheit ................................................................................................................ 11
3.2
Auspacken und Kontrollieren ......................................................................................... 11
3.3
Aufstellung der T-Station ..............................................................................................12
3.4
Tischbefestigung ........................................................................................................12
3.5
Befüllung der Drehschieberpumpe mit Öl ........................................................................... 12
3.6
Anschluss der T-Station an Ihr Vakuumsystem ..................................................................... 13
3.7
Anschluss an das Abgasabsaugsystem ................................................................................ 13
3.8
Anschluss der Stromversorgung ....................................................................................... 14
3.9
Konfigurieren der T-Station ...........................................................................................14
3.9.1
Verzögerung der Turbomolekularpumpe ............................................................................ 14
3.9.2
Anschluss eines Vakuum-Messgeräts ................................................................................. 15
3.10
Inbetriebnahme der Anlage ...........................................................................................16
4
Betrieb ........................................................................................... 17
4.1
Beschreibung der Bedientafel ........................................................................................ 17
4.2
Inbetriebnahme .........................................................................................................18
4.3
Menüstruktur ............................................................................................................ 18
4.3.1
4.3.2
Bildschirm "Gauge" (Messröhre) ....................................................................................... 21
4.3.3
Bildschirm "Vent valve" (Belüftungsventil) .......................................................................... 22
4.3.4
Bildschirm "Turbo Set-Point" (Turbo-Schaltpunkt) .................................................................23
4.3.5
Bildschirm "Calibrate gauge" (Messröhre kalibrieren) .............................................................25
4.3.6
Bildschirm "Units" (Einheiten) ......................................................................................... 26
4.4
Gasballast-Steuerventil (E2M1.5) ..................................................................................... 27
4.5
Ausfall der Stromversorgung .......................................................................................... 27
5
Wartung .......................................................................................... 28
5.1
Sicherheit ................................................................................................................ 28
5.2
Wartungsplan ............................................................................................................ 28
5.3
Untersuchung der Schläuche, Leitungen und Anschlüsse .........................................................29
5.4
Fehlersuche .............................................................................................................. 29
5.5
Fehlercodes .............................................................................................................. 31
5.6
Werkseitige Standardeinstellungen .................................................................................. 32
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D395-93-882 Issue A
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