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Installation
3.1
Sicherheitshinweise
Beachten Sie die nachfolgenden Sicherheitshinweise und ergreifen Sie die entsprechenden
Vorsichtsmaßnahmen. Andernfalls können Sie sich und andere Personen verletzen und die
Ausrüstung beschädigen. Verwenden Sie diese Pumpe nur so, wie es in dieser Betriebsanleitung
beschrieben ist.
Das Kühlwasser muss entsprechend den jeweiligen Umgebungsbedingungen (Temperatur und Luftfeuchtigkeit)
so zugeführt werden, dass der Taupunkt nicht erreicht wird.
Stellen Sie sicher, dass sich die EPX-Pumpe für die vorgesehene Anwendung eignet. Die Pumpen der
Baureihe EPX L sind ausgelegt für den Einsatz als Halbleiter-Loadlock oder Transferpumpe sowie für saubere
allgemeine Vakuumanwendungen. Die Pumpen der Baureihe EPX N sind ausgelegt für die in
aufgeführten Anwendungen mit geringer Beanspruchung. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten,
wenn Sie die EPX-Pumpe für einen anderen Zweck einsetzen möchten. Die unsachgemäße Verwendung der
EPX-Pumpe kann zum Verfall der Garantie führen.
Achten Sie darauf, dass bei der Installation alle örtlichen und nationalen Sicherheitsbestimmungen
eingehalten werden.
Stellen Sie sicher, dass der Installationstechniker mit den Sicherheitsvorkehrungen hinsichtlich der
gepumpten Produkte vertraut ist. Tragen Sie geeignete Schutzkleidung, wenn Sie mit verunreinigten Teilen in
Kontakt kommen können. Zerlegen und reinigen Sie verunreinigte Bauteile der Vorvakuumleitung unter einer
Gasabzugshaube. Die EPX-Pumpe selbst darf UNTER GAR KEINEN UMSTÄNDEN zerlegt werden.
Belüften und spülen Sie das Prozesssystem, bevor Sie mit den Installationsarbeiten beginnen.
Unterbrechen Sie die Stromversorgung zu den anderen Teilen des Prozesssystems und sichern Sie sie damit
gegen versehentliches Einschalten.
Weitere Einzelheiten können Sie der Edwards-Druckschrift „Vakuumpumpen und Sicherheit des Vakuumsystems"
(Teilenummer P300-20-200) entnehmen.
3.2
Auspacken und Überprüfen
Das Heben schwerer Gegenstände kann Muskelzerrungen oder Rückenverletzungen verursachen.
Verwenden Sie zum Bewegen der Pumpe eine geeignete Hebevorrichtung. Das Gewicht der Pumpe
finden Sie in
Überzeugen Sie sich vor dem Anheben der Pumpe, dass die metrischen M12-Hebeösen so an der
EPX-Pumpe angebracht sind, wie es in
Pumpe nicht mithilfe der Rohrleitungen des Gasmoduls.
1. Verwenden Sie eine an den Hebeösen
EPX-Pumpe an einen günstigen Ort zu bringen, und entfernen Sie dann vollständig die Schutzverpackung und
-abdeckungen.
© Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
WARNUNG
Abschnitt
2.
WARNUNG
(Abbildung
2, Position 2) befestigte geeignete Hebevorrichtung, um die
Abbildung 2
(Position 2) dargestellt ist. Bewegen Sie die
A419-00-882 Issue H
Abbildung 1
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