Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Kühlwasserversorgung; Stickstoffspülsystem (Pumpen Der Baureihe Epx N); Materialien In Kontakt Mit Prozessgasen - Edwards EPX HiVac Serie Betriebsanleitung

Trockenlaufende vakuumpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

2.4
Kühlwasserversorgung
Kühlwasserparameter
Maximaler Zuflussdruck
Erforderliche Mindestdruckdifferenz zwischen Zu- und
Rücklauf
Maximale Zuflusstemperatur
Minimale Zuflusstemperatur
Maximale Partikelgröße im zufließenden Kühlwasser
Typische Wärmeabgabe der EPX-Pumpe
Minimaler Kühlwasserdurchfluss
Anschlüsse
Einlass
Auslass
2.5
Stickstoffspülsystem (Pumpen der Baureihe EPX N)
Gasmodulparameter
Stickstoffversorgungsanschluss
Maximaler Zuflussdruck
Minimaler Zuflussdruck
Mindestreinheit
Typischer Stickstoffspülgasdurchfluss bei einem
Zuflussdruck von 3,0 barg
2.6

Materialien in Kontakt mit Prozessgasen

Bauteile
Pumpengehäuse
Pumpenrotor
Innere Wellendichtungen
O-Ringe
Pumpenwelle
Stickstoff führende Bauteile des Gasmoduls
© Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 9 - Kühlwasserversorgung
Tabelle 10 - Stickstoffversorgung
Tabelle 11 - Materialien in Kontakt mit Prozessgas
Nennwert/Anmerkung
5
7 barg, 7 x 10
Pa, 100 psig
5
2 bar, 2 x 10
Pa, 30 psi
35 °C
15 °C
2
-5
0,03 mm
, 4,6 x 10
Zoll
1
-
1,3 kW, 5118 btu h
1
-
2 l/min
, 31,7 US-Gallonen h
Nach Kundenspezifikation
Nach Kundenspezifikation
Nennwert/Anmerkung
Rohr mit 6,35 mm (1/4 Zoll) Durchmesser
5
7 barg, 7 x 10
Pa, 100 psig
5
3,0 barg, 3 x 10
Pa, 45 psig
0,9995
25 slm (17 slm Gasballast)
Material
Hart anodisiertes Aluminium
Hart anodisiertes Aluminium
PTFE-beschichtetes Aluminium
Viton-Fluorelastomer
Kohlenstoffstahl
Edelstahl, hart-eloxiertes Aluminium und Viton
A419-00-882 Issue H
2
1
-
Seite 17

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis