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A419-00-882 Issue H
2.3
Elektrische Daten
Elektrische Parameter
Stromversorgung
Spannungstoleranz
Leistungsaufnahme
Maximale Leistungsaufnahme
Nennleistung bei Endvakuum (EPX)
Ausführung L
Ausführung N
Nennleistung bei max. Belastung (EPX Twin)
Ausführung L
Ausführung N
Nennwert von Sicherung/Trennschalter
200 V
400 V
Installations-(Überspannungs-)Kategorie
Verschmutzungsgrad
Mindeststrombelastbarkeit des Schutzerdungskabels
Stromversorgungsanschluss
Netzanschlusskabel
Tool-Interface-Modul (TIM)
Parallele Pumpenschnittstelle
Nennspannung
Thermoschutzschalter
Temperatur beim Öffnen
Temperatur beim Schließen
*
Maximal empfohlene Amperezahl (Sicherung); erfordert einen mehrpoligen Trennschalter mit einem
Kontaktabstand von mindestens 3 mm.
Die Netz-Trennvorrichtung (AIC bzw. Amperes Interrupting Capacity) muss ein Ausschaltvermögen von
mindestens 10.000 A haben.
Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in den Standards SEMI S2-0200 (Abschnitt 13) und SEMI S8.
Seite 16
Tabelle 8 - Elektrische Daten
Nennwert/Anmerkung
200/208 V bei 50/60 Hz; 400 V bei 50/60 Hz, 3-phasig
±10 %
3,0 kW
1,4 kW
1,6 kW
2,30 kW
2,55 kW
*
Strombegrenzung auf 17.5 A, Klasse CC
(Konstantstrombetrieb) mit 600 V Nennspannung
Strombegrenzung auf 10 A, Klasse CC
(Konstantstrombetrieb) mit 600 V Nennspannung
Klasse II
2
32 A
Nach Kundenspezifikation
4-adriges Kabel mit 2,5 mm
Adernendhülsen
Entsprechend gelieferter TIM-Schnittstelle
(siehe
Abschnitt
24 V
70 °C, 158 °F
59 °C, 138 °F
Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
2
Querschnitt und
3.11)
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