Reiter Loch - SENSOPART VISOR Benutzerhandbuch

8.3.13.4 Reiter Loch

Abbildung 195: Detektor Wafer, Reiter Loch
Einstellungen im Reiter Loch
Parameter
Loch
Helligkeit
Helligkeitsschwelle
/ Absolut
Helligkeitsschwelle
/ Relativ
Fläche
Einzeichnung
Kantenfilter
(Expertenmodus)
Gauss
(Expertenmodus)
Seite 243 DE
Funktion
Locherkennung aktivieren.
Auswahl der Helligkeit des Objekts bezogen auf die Helligkeit des Wafers.
Festlegen der Helligkeitsschwelle zur Objekterkennung als absoluten
Grauwert.
Festlegen der Helligkeitsschwelle zur Objekterkennung als Offsetwert in
Addition zum dynamisch bestimmten, mittleren Grauwert des Wafer.
Definition der minimalen zu detektierenden Loch-/Objektfläche. Wert in
Pixel*Pixel bzw. kalibriert im mm*mm.
(De)-Aktivierung der graphischen Einzeichnung detektierter Objekte.
Ausweitung dunkler Bereiche, Eliminierung heller Pixel in dunklen Berei-
chen, Elimination von Artefakten, Trennung von hellen Objekten.
Reduktion von Rauschen, Unterdrückung störender Details und Arte-
fakte, Glättung von Kanten.
®
VISOR Benutzerhandbuch
®
VISOR 068-14490 - 03.08.2018-14