Betrieb; Einschalten; Ausheizen - LEYBOLD TURBOVAC Gebrauchsanleitung

Betrieb

Sv = Saugvermögen der Vorpumpe (m
V = Behältervolumen (m 3 )
Abb. 8 Startdruck-Bestimmung einer TURBOVAC
beim Evakuieren großer Volumina
3 Betrieb

3.1 Einschalten

Aus dem Diagramm in Abb. 8 kann man den Startdruck
der TURBOVAC ablesen.
-1
Wenn S / V > 100 [h ] ist, können TURBOVAC und Vor-
v
vakuumpumpe gleichzeitig gestartet werden.
Die TURBOVAC dient dabei von Anfang an als wirksa-
mes Baffle.
Bei großem Volumen muß der Vakuumbehälter zunächst
mit der Vorvakuumpumpe evakuiert werden.
Dann die Kühlung einschalten und die TURBOVAC an
der TURBOTRONIK einschalten.
Einzelheiten siehe Gebrauchsanleitung zur TUR-
BOTRONIK.
Stöße und Schwingungs-Anregungen bei laufender
Pumpe vermeiden.
14
3
10
mbar
2
10
1
10
3 ·h -1 )
0
10
0 25
TURBOVAC
50
TURBOVAC
151 bis 1000
50 75 100
S / V
v

3.2 Ausheizen

Sollen in kurzer Zeit Drücke im Bereich von 10
erreicht werden, müssen die Vakuumkammer und die
darin enthaltenen Komponenten ausgeheizt werden.
Zusätzlich kann die TURBOVAC mit der dafür vorgese-
henen Flanschheizung ausgeheizt werden.
Den Rotor vor starker und direkter Wärmestrahlung
schützen. Beim Ausheizen an der Vorvakuumseite, z. B.
einer Adsorptionsfalle, darauf achten, daß sich direkt
angeflanschte Bauteile nicht über 80°C erwärmen.
Die Vorvakuumpumpe muß zum Abpumpen der aus der
Adsorptionsfalle anfallenden Dämpfe in Betrieb sein.
125
-1
h
-8
GA 05.118/8 - 05/2001
mbar