Verwandte Anleitungen für LEYBOLD Membranovac DM 11
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD Membranovac DM 11
- Seite 1 Vakuum-Messung LEYBOLD INFICON und Komponenten Lecksuche In Situ Analyse GA 09.115 / 3.01 MEMBRANOVAC DM 11 / DM 12 Kat.-Nr. 157 91, 157 92 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
LEYBOLD-Service Seite Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie 2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen der an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Meßkanäle ......15 Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. -
Seite 3: Beschreibung
1 Beschreibung 1.1 Allgemeine Angaben 1.1.1 Verwendungszweck Bei dem MEMBRANOVAC DM 11 und DM 12 handelt es Das MEMBRANOVAC wird betriebsbereit sich um ein Druckmeßgerät für Absolut-, Relativ-oder ausgeliefert. Trotzdem empfehlen wir Ihnen, Differenzdruckmessungen je nach den angeschlosse- diese Gebrauchsanleitung sorgfältig zu nen Sensoren in einem Meßbereich von -1999 bis 20000... -
Seite 4: Relais-Ausgänge
TM-Sensoren Hysterese 1·10 bis 9,9·10 mbar 2-stellig Lineare Sensoren 1·10 bis 9,9·10 mbar 2 oder 3-stellig Standard 1 % des Sensorbereiches (Endwert) entsprechend der Auflösungs-Einstellung Einstellbar von 0,1 bis 9,9 % vom Endwert „STD“ oder „High“ THERMOVAC-Sensoren TR 301, TR 306 1·10 bis 1·10 mbar... -
Seite 5: Rs 232 C-Schnittstelle
CE Zeichen Die Druckanzeige erfolgt linear, digital und gasartunab- hängig auf einem 5 - stelligen LCD-Display. Das MEMBRANOVAC DM 11/DM 12 entspricht den ein- Das MEMBRANOVAC kann wahlweise als Tisch- oder schlägigen, grundlegenden Sicherheits- und Gesund- Einbaugerät betrieben werden. Entsprechende Maße heitsanforderungen der EG-Richtlinien. -
Seite 6: Rs 232 C-Schnittstelle
1.4.1 Lieferumfang Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckän- Kat.-Nr. derungen, so entsteht ein Ungleichgewicht in der MEMBRANOVAC DM 11 Brücke. Eine schnell ansprechende Regelung paßt die Europa 230 V ; mbar 157 91 Heizleistung des Fadens so an, daß die Fadentempera- USA 120 V;... -
Seite 7: Bedienung Und Betrieb
Austauschen der eingebauten Netzsicherung (siehe Kapitel 2.2.1). Abhängig vom Betriebszustand Ihrer Vakuumanlage erhalten Sie eine entsprechende Druckanzeige. Über die Am MEMBRANOVAC DM 11 bzw. DM 12 ist die Netz- Erläuterungen zur Abb. 1 1 Gerätesteckdose 2 Sicherungseinschub 3 Markierung für die eingestellte Netzspannung 4 Ansatz für Schraubendreher... -
Seite 8: Ändern Der Netzspannungseinstellung / Sicherungswechsel
spannung eingestellt, die an der Kaltgerätesteckdose 2.3 Bedienelemente und (lesbar) nach rechts auf die Markierung (1/3) zeigt. deren Funktion In die Kaltgerätesteckdose integriert ist die Feinsiche- rung und der Spannungswähler für vier verschiedene Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- und An- Netzspannungsbereiche. -
Seite 9: Maßeinheit
2.3.3 Maßeinheit der rechte Pfeil der Triggeranzeige, so ist der Druck grö- ßer als der eingestellte Triggerwert. Rechts neben der numerischen Anzeige befindet sich Trigger 2 (< 2 >) die Darstellung der Maßeinheiten (2/8). Es leuchtet immer nur die Maßeinheit auf, die in der Parameterseite Für den Trigger 2 gilt analog die gleiche Aussage wie für 6 angewählt worden ist. -
Seite 10: Taste Dm 1 Und Dm 2
2.3.5 Taste DM 1 und DM 2 2.3.8.1 Kontrolle und Einstellen der Geräteparameter MEMBRANOVAC DM 11 Zur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräte- Die Taste DM hat nur bei der Kontrolle und Einstellung der Geräteparameter eine Funktion. Durch Drücken die- parameter wird die Taste PARA (2/10) gedrückt. - Seite 11 Seite 1 (TM-Sensoren angeschlossen) Der Bargraph zeigt den eingestellten Triggerwert linear Eingestellter Triggerwert von Trigger 1. innerhalb des Druckbereiches des verwendeten Sensors Die beiden Pfeile von Trigger 1 blinken bei nicht ange- Die absoluten Grenzen der Einstellung entsprechen den schlossenem oder defektem Sensor am DM-Meßkanal. Min/Max-Grenzen des angeschlossenen Sensors.
- Seite 12 Intervall-Trigger Bei Überschreitung von 850 mbar wird das Relais von Die beiden Trigger (Trigger 1 und Trigger 2) sind mit- Trigger 1 aktiviert (z.B. Steuerung des Pumpventils). einander verknüpft. Bei der Schwellwert-Einstellung Bei Unterschreitung von 750 mbar wird das Relais von muß...
- Seite 13 Hinweis Fo Si 1.62 +3 mbar Bei codierten Sensoren erfolgt die Anzeige in vorgege- 1.62 +5 PA benen Einheiten. Z.B. Sensor DI 2000 entspricht P 2000 und Sensor DI 200 entspricht P 200. Seite 10 Auswahl der Trigger-Hysterese Für lineare Differenz- und Absolutdruck-Sensoren ohne Mögliche Einstellung 0,1 % bis 9,9 % vom Sensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in den...
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Seite 14: Verriegeln Der Parametereinstellung
2.4.1 Spannungsversorgung 2.3.8.2 Verriegeln der Parametereinstellung Durch Verriegeln der Parametereinstellung kann ein Der Netzanschluß, das Umschalten des DM 11 oder DM ungewolltes Verändern einmal eingestellter Parameter 12 auf andere Netzspannungen und der Austausch der verhindert werden. Netzsicherungen ist im Kapitel 2.2 beschrieben. Ein Festhalten der Taste PARA in der Geräteparameter- seite 5 (Softwareversion) für mehr als 5 s verriegelt alle 2.4.2 Anschluß... -
Seite 15: Ausgangs-Schraubklemmen Der Meßkanäle
NO (offen) Meßkanäle NC (geschlossen) Hinweis C Trigger 2 Das MEMBRANOVAC DM 11 hat nur einen Meßkanal, NO (offen) der mit DM bezeichnet ist. Dieser hat die gleiche Bele- gung wie hier für DM 1 beschrieben ist. Bedeutung der Relaisbezeichnung: Normally Closed (Ruhekontakt) Die Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. -
Seite 16: Aufstellen Des Gerätes
2.5 Aufstellen des Gerätes 2.5.4 Verwendung des DM 11 oder DM 12 als Tischgerät Das MEMBRANOVAC arbeitet zuverlässig bei den übli- Zur Verwendung des MEMBRANOVAC’s als Tischgerät chen industriellen Umgebungsbedingungen (Kapitel kann an der Geräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 1.2.6). 200 60 900) angebracht werden. Der Standfuß wird von Das Gerät wird in einem robusten Tischgehäuse ausge- der Geräterückseite in die unterste Nut der Eckleiste ein- liefert. -
Seite 17: Abgleich Der Linearen Sensoren
2.9 Zustandsmeldungen Vakuum-Apparatur auf einen Druck <10 mbar evakuie- ren und Potentiometer „0“ an der THERMOVAC-Meß- röhre so einstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzeige Das MEMBRANOVAC DM 11 oder DM 12 zeigt ver- ergibt: schiedene Zustandsmeldungen an. FAIL FAIL bezeichnet einen Sensorfehler. -
Seite 18: Schreibertabelle
Dies ist ein Hinweis, das DM 11 oder DM 12 gemäß Gebrauchsanleitung zu bedienen, da hier eine Fehlbedienung vorliegt. Z.B.: L Die Trigger sind im Intervall-Modus, aber der Schwellwert 1 ist größer/gleich Schwellwert 2. Das Zeichen leuchtet auch kurz auf, wenn eine Taste gedrückt wird, die im Moment keine Funktion hat. - Seite 19 Anmerkung: Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgang Spalte 1: Werte in [ ] stehen für THERMOVAC-Meß- mbar Torr Micron Schreiber- röhren TR 301 und TR 306 Spannung TR : Anzeige bei TR 301 und TR 306 1,0·10 1,0·10 1,0·10 0,00 V LIN : Anzeige bei linearen 4 bis 20 mA Sensoren...
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Seite 20: Rs 232 C-Schnittstelle
3 RS 232 C-Schnittstelle 3.1 Technische 3.2 Schnittstellenparameter Beschreibung 3.2.1 Baudrate Die Pegel der RS 232 C-Schnittstelle sind wie folgt defi- Die Baudrate ist fest eingestellt auf 2400 Baud. niert: Pegel LOW (L) HIGH (H) ———————————————————————— 3.2.2 Datenformat Spannungsbereich -3 bis -25 V 3 bis 25 V Das Datenformat ist fest eingestellt auf: Logikzustand... -
Seite 21: Baudrate Und Datenformat
- Sendedaten Pin 2 Gegenseite: 3.3.1.4 Quittierungszeichen Empfangsdaten Im Fernsteuerbetrieb antwortet das A-Seriengerät auf - Empfangsdaten RxD Pin 3 Gegenseite: jede empfangene Zeichenkette, die mit dem Endezei- Sendedaten chen <CR> abgeschlossen wurde, mit einem der beiden - Signalmasse GND Pin 5 Gegenseite: Quittierungs-Zeichen: <ACK>... -
Seite 22: Rücksetz-Zeichen
Seriengerätes können bis ca. 500 ms betragen, sind 3.4 Datenausgabe und aber in den meisten Fällen deutlich kürzer. Datenformate 3.3.1.5 Rücksetz-Zeichen 3.4.1 Meßwertausgabe Mit dem Zeichen <ESC> (Escape; ASCII-Code: 27 ohne <CR> läßt sich die Schnittstelle des A-Seriengerä- 3.4.1.1 Fernsteuerbetrieb tes wieder in einen definierten Zustand zurücksetzen. -
Seite 23: Parameterausgabe Und Antwortzeiten
Ausgabe, wenn Meßbetrieb möglich 3.5 Schnittstellenbefehle Meßwertformat: und Dateneingabe beim Meßkanal:Einheit:-n.nnE-mm:Tx <CR><LF> Bedeutung: A-Seriengerät mit Meßkanal DM1, DM2, 3 Zeichen RS 232 C Schnittstelle :Einheit mbar, Torr, Pa, Micron 7 Zeichen :-n.nn Mantisse evtl. mit Vorzeichen 6 Zeichen Die Schnittstellenbefehle setzen sich aus folgenden Tei- E-mm Exponent immer mit len zusammen:... -
Seite 24: Triggereinstellungsbefehle
3.5.2 Triggereinstellungsbefehle 3.5.3 Bedienparameter Einzeltrigger einstellen Parametereinstellung für Level-Mode und falls über Tastatur vorhanden CE-Mode Parameter änderbar LOK W OFF Triggerwerte einstellen TRG W Meßkanal, p1, p2 (Geräteparameter über Wertevorrat für p1: 1 oder 2, entspricht Trigger Tastatur einstellbar) 1 oder Trigger 2 eines Meß- Parameter nicht änderbar LOK W ON kanals... -
Seite 25: Programmbeispiel Zur Einstellung Von Parametern
NAK$ = CHR$(21): ACK$ = CHR$(6) ‘opening RS232 comunication OPEN „COM1:2400,N,8,1,rs,cs,ds,cd“ FOR RANDOM AS #1 LOCATE 1, 1: PRINT “Sample Control Program for Leybold A-Series Gauge“; LOCATE 2, 1: PRINT “Membranovac DM 12 with RS232-Interface“; ‘ set display to DM2 measurement channel PRINT #1, “dsp w DM2“... - Seite 26 LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from DM12 LOCATE 13, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen line LOCATE 13, 1: PRINT “failure on reading display setting of DM12: “; LOCATE 13, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to screen ELSE LINE INPUT #1, DispSts$ ‘...
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Seite 27: Beispiele Von Leitungsverbindungen Zwischen Schnittstelle Und Ibm ® -Pc
3.8 Beispiele von Leitungsverbindungen zwischen ® Schnittstelle und IBM Beispiel für 9-polige PC-Steckverbindung A-Seriengeräte A-S- A-S- IBM-PC Bemerkung für A-Seite Name Name Bemerkung für PC-Seite —————————————————————————————————————————————————— frei lassen evtl. mit 6 verbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden Schirmanschluß... -
Seite 28: Kurzanweisung
5 Kurzanweisung Level,Intervall, Control Extern Control Intern [L, I, CE, CI] Bei Anschluß eines Gasartkorrektur (Nur für TM-Sensoren) linearen Sensors wird Seite 4 über- sprungen. GA 09.115/3.01 - 09/97... -
Seite 29: Parameterebene
2.Parameterebene Einheit Seite 6 MBAR, TORR, PA, MICRON PARA Anzeige des angeschlossenen Sensors bzw. Einstellung des Meßbereiches bei linearen Sensoren. Seite 7 TM-Sensor [TR 301, TR 306] Lin. Sensoren [Druckbereich in mbar] Bei Differenz-Drucksensoren positiver Druckbereich. PARA Einstellung des unteren Druckbereiches lin. Sensoren. Bei Differenz-Drucksensoren negativer Druckbereich. - Seite 30 LEYBOLD INFICON Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: + 49 (221) 347-0 Telefax: + 49 (221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de GA 09.115/3.01 - 09/97...