LEYBOLD TURBOVAC Gebrauchsanleitung Seite 11

Abb.6 Schema eines Turbo-Molekular-Pumpstandes
Splitterschutz
Im Hochvakuumflansch ist zum Schutz der TURBOVAC
ein Splitterschutz eingesetzt.
Die Pumpe nur mit dem Splitterschutz betreiben, da ein-
zelne Fremdkörper, die über den Ansaugstutzen in die
Pumpe gelangen, zu schweren Schäden am Rotor
führen. Schäden, die durch Eindringen von Fremdkör-
pern in den Rotorbereich entstehen, sind von der
Gewährleistung ausgeschlossen.
Flanschheizung
(nur für Pumpen mit CF-Flansch)
Die Flanschheizung ermöglicht automatisch geregeltes
Ausheizen des Hochvakuum-Anschlußflansches an
TURBOVAC und Gegenflansch der Vakuumkammer.
Die Flanschheizung direkt am Ansaugflansch der TUR-
BOVAC montieren. Dies ist auch bei angeflanschter
Pumpe möglich.
GA 05.118/8 - 05/2001
Erläuterungen zur Abb.6
1 Turbo-Molekularpumpe
2 Vorvakuum-Meßstelle
3 Vorvakuum-Pumpe
4 Federungskörper
5 Adsorptionsfalle
6 Vorvakuum-Ventil
7 Belüftungsventil
8 Hochvakuum-Ventil
9 Sperrgas-Anschluß
10 Ventil in der Grobpumpleitung
11 Elektronischer Frequenzwandler
— — — — Grobpumpleitung; zu empfehlen,
wenn kürzeste Taktzeiten erreicht werden sollen
— · — · — · — · Antriebs- und Steuerleitung
Vorsicht
Die Flanschheizung kann bei Betrieb so
heiß werden (> 80 °C), daß Verbrennungs-
gefahr besteht.
Die heißen Teile vor dem Berühren sichern.
Das Laufgeräusch der Pumpe liegt unter 70 dB(A); es
sind keine lärmdämmenden Maßnahmen erforderlich.
Anschluß
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