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4.2.3
Mage
Fig. 14
O Hochvakuumanschluß
O Vorvakuumanschluß
O Flutventil
O Anschluß
Antriebselektronik
O Luftkühlung
18
4.2.3
Dimensions
o
High vacuum connection
O Fore vacuum flange
O Venting valve
O Connection
for electronic
e Air cooling
4.2.3
Dimensions
Raccordement
O Bride vide primaire
O Vanne
Branchement
drive
unit
Refroidissement
vide
élevé
de remise
å l'air
commande
électronique
par air
BALZERS
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