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Betriebsanleitung
Operating Instructions
Instructions
de service
TPH 520 M / TPIJ
TCM
(+ TCP 121)
PM 800 198
(9505)
PFEIFFER
M
Turbomolekularpumpen,
magnetgelagert
Magnetic Bearing Turbomolecular
Pumps
Pompe turbomoléculaire å paliers å
aimants
Magnetlagerelektronik
Magnetic Bearing Electronic
Electronique de palier magnétique
5.Ausgabe/5.Edition
VACUUM
N 3439
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TPH 520 M
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TPH 520 M
- Seite 1 VACUUM PFEIFFER Betriebsanleitung Operating Instructions Instructions de service TPH 520 M / TPIJ Turbomolekularpumpen, magnetgelagert Magnetic Bearing Turbomolecular Pumps Pompe turbomoléculaire å paliers å aimants (+ TCP 121) Magnetlagerelektronik Magnetic Bearing Electronic Electronique de palier magnétique PM 800 198 (9505) 5.Ausgabe/5.Edition...
- Seite 2 Contenu Inhalt Contents Allgemeine Beschreibung General Remarks Description générale Pompes å vide primaire Vorvakuumpumpen Backing Pumps Magnetlagerelektronik Magnetic Bearing Electronic Electronique de palier magnétique TCM 520 General Généralités Allgemein Aspect général Gestaltung Design Anschlußmöglichkeiten Connection Options Connexions Technische Daten T CM 520 Technical Data, TCM 520 Caractéristiques...
- Seite 3 KURZANWEISUNG ABBREVIATED BREVE INSTRUCTION für INSTRUCTIONS pour Turbomolekularpumpen pompes turbomoléculaires TPH/TPU Turbomolecular Pumps TPH/TPU T pH/TPU 1 HV-Flansch ISO-K 4 Vorvakuumflansch 6 Flutanschluß 1 HV-flange DN 100 ISO-K 4 Fore vacuum flange 6 Venting connection 1 Bride vide élevé DN 100 ISO-K 4 Bride vide primaire 6 Raccord...
- Seite 4 MISE EN SERVICE BETRIEB OPERATION EINSCHALTEN Turbopumpe: STARTING the turbo pump: MISE EN MARCHE de la pompe tur- Schalter an Antriebselektronik Press switch at the Electronic Drive bomoléculaire: Actionner Ie commutateur sur com- drücken (siehe 5.2)- Unit TCP (see 5.2). mande électronique TCP (voir 5.2).
- Seite 5 Ersatzteile Spare Parts Pieces de rechange Ersatzteilliste TPH/TPU 520 M Spare Parts List Liste de piéces de rechange TPH/TPU Ersatzteilliste T pH/TPU Spare Parts List T CM Liste de piéces de rechange Zubehör Accessories Accessoires Schaltplan Legende zum Schaltplan Wiring Diagram Legend for Wiring Diagram...
- Seite 6 Notizen / Notes BALZERS...
- Seite 7 Operating Instructions Instructions service Betriebsanweisung für pour Turbomolecular Pumps pompes turbomoléculaires Turbomolekularpumpen TPH/TPU M und TPH/TPU 520 M and TPH/TPU M et Magnetlagerelektronik Magnetic Bearing Electronic électronique de palier magnétique TCM 520 Wichtige Hinweise Important Information Directives importantes Prüfen Sie sofort nach dem Auspak- Please check immediately after A la réception...
- Seite 8 Sie haben die Möglichkeit, die Geräte — We can also carry out decontamination — II vous est également loisibte de nous durch uns dekontaminieren zu lassen work on your behalf (with the excep- laisser Ie soin de décontaminer nous- (ausgenommen Sind radioaktiv konta- tion of appliances...
- Seite 9 M mit Flansch ISO-K TPU 520 M mit Flansch DN 160 CF-F TPH 520 M with flange DN 100 ISO-K TPH 520 M with flange DN 160 ISO-K TPU 520 M with flange DN 160 CF-F M avec bride ISO-K...
- Seite 10 En cas de coupure de courant, l'éner- In the event of a power failure, the Bei Stromausfatl Wird die Energie des gie motrice du rotor sera transformée energy of the rotor is utilised and the Rotors genutzt. Der Motor Wird als en générateur, afin d'assurer l'alimen- motor is switched...
- Seite 11 3.2 Aspect général 3.2 Design 3.2 Gestaltung The TCM 520 is a rack module (19" La TCM 520 est un appareil pour rack Die TCM 520 ist ein Rackeinschub (1 9" 19" BALZERS H3 comportant: BALZERS H3), comprising: BALZERS H3) mit: —an emergency current PCB, —...
- Seite 12 Le tableau ci-dessous montre The table below shows the different Die Tabelle zeigt die Steckverbindun- plugs on the TCM 520, TCP 121 or connexions de la TCM 520, de la gen am TCM 520, TCP 121 oder TCP 121 ou de la TCP 380. TCP 380.
- Seite 13 4 Pompe turbomoléculaire 4 Turbomolecular Pump 4 Turbomolekularpumpe T pH/TPU T pH/TPU T pH/TPU 520 M Installation Installation Installation 4.1. I Remarques relatives å 4.1 _ 1 Note concerning Installation 4.1. I Hinweis zur Installation — Remove the blank flanges at the high l'instal/ation —...
- Seite 14 4.1.2.1 Pare-éclats 4.1.2.1 Splitterschutz 4.1.2.1 Splinter Shield A splinter shield (see accessories) Pour protéger la pompe turbo contre Zum Schutz der Turbopumpe gegen Fremdkörper kann ein Splitterschutz be fitted to protect the turbo pump l'introduction de particules étrangéres, from foreign matter. The splinter shield il est possible de l'équiper d'un pare- eingesetzt werden (siehe Zubehör).
- Seite 15 4.1.4 Cooling 4.1_4 Refroidissement 4.1.4 Kühlung En raison de son faible besoin énergéti- Die magnetisch gelagerte Turbopumpe Owing to its low power requirements, benötigt aufgrund ihres niedrigen Ener- .the magnetic bearing turbo pump que. Ia pompe turbomoléculaire repo- giebedarfs keine Zwangskühlung. needs no mandatory cooling.
- Seite 16 4. I .5 Venting 4.1.5 Remise å Vair 4.1.5 Fluten Caution: Achtung! Attention! Die 7ürbomoIekularpumpe darf nur The turbomolecular pump must always La pompe turbomoléculaire ne peut über das montierte F/utventil geflutet be vented via the venting valve fitted, étre remise å Vair que par la vanne de werden, nicht über den Hochvakuum- and not via the high or fore vacuum...
- Seite 17 4.1.6 ElektrischerAnschluß 4.1.6 Electrical Connections 4.1.6 Raccordement électrique Fig. 12, Schaltplan PM031500 Fig. 12, Fig. 12, schéma de connexions — Netzspannung über Kontakte X9/a2 Wiring Diagram PM 031 500 -S PM 031 (N), b2 (L), a8 anschließen — Connect the supply voltage via con- —...
- Seite 18 TPH/U 520M Flutventil Posit mssg-s« Schutzleiter nicht axnl Vibr. Sensor radial Motor E.M. axial TCM 520 Fig. 12 TCM -TPH/U Anschlußschema _ TPH / U Connections diagram Schéma raccordements - TPH/U 4.1.7 Commande å distance et vanne 4.1.7 Remote Control 4.1.7 Fernbedienung de vide élevé...
- Seite 19 4. I .8 Operation using Pumping Unit 4. I .8 Fonctionnement avec commande 4. I .8 Betrieb mit Pumpstandsteuerung 1001 Control 1001 de groupe de pompage kann zusammen The TCM 520 can be operated 1001 Pumpstandsteuerung TCS 1001 together with the Pumping Unit Con- La TCM 520 peut étre utilisée en com- trol TCS 1001.
- Seite 20 Technische Daten 4.2 Technical Data, 4.2 Caractéristiques techniques TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU Bride Flansch Flange ISO-K ISO-K ISO-K CF-F CF-F CF-F Anschlußnennweite Nominal diameter Diamétre nominal connection raccords Eingang Entrée DN 100 ISO-K IOOCF-F DN 1601SO-K DN 160 CF-F Inlet Ausgang Outlet Sortie DN 25 ISO-KF...
- Seite 21 4.2. I Enddruck 4.2. I Ultimate Pressure 4.2. I Pression finale Unter Enddruck von Turbomoleku- According to German Industrial Stand- Par pression finale dans Ie cas des larpumpen Wird nach DIN 28428 ards DIN 28 482, the ultimate pres- pompes turbomolécu)aires. on entend Druck verstanden, der in einem...
- Seite 22 4.2.3 Dimensions 4.2.3 Dimensions 4.2.3 Mage Fig. 14 Raccordement vide élevé High vacuum connection O Hochvakuumanschluß O Bride vide primaire O Fore vacuum flange O Vorvakuumanschluß O Vanne de remise å l'air O Venting valve O Flutventil Branchement commande électronique O Connection for electronic drive...
- Seite 23 5 Operation 5 Mise en service 5 Betrieb Choix mode remise Wahl Flutart 5.1 Venting Mode Selection I'air Note Hinweis Bei Scha/terste/lung (S 16) "Vent on " In the "Vent on" switch position (S 16), Remarque Le sélecteur (SI 6) étant sur Ia position Wird der Rotor bei einer sehr...
- Seite 24 5.4 Switching Off the Pump 5.4 Abschalten der Pumpe 5.4 Arrét de Ia pompe —Arréter Ia pompe turbomoléculaire —Turbopumpe abschalten (Schalter Sl — Switch off the turbo pump (switch SI an der TCP Oder S4 der Fernbedienung). on the TCP or S4 of the remote con- moyen de Ia touche SI sur Ia TCP ou...
- Seite 25 5.6 Betriebsunterbrechung 5.6 Operating Intermissions, 5.6 Interruption de service de Ia In Zeiten, in denen die TCM 520 nicht During times when the TCM 520 is not En période ou la TCM 520 n'est pas eingesetzt wird, sollte sie trocken in use, it should be stored in a dry and pas utilisée, celle-ci doit étre stockée staubfrei...
- Seite 26 5.7. I Nettoyage de Ia pompe sans Ia 5.7. I Cleaning in assembled 5.7. I Reinigung im unzerlegten Condition démonter Zustand —Pumpe abschalten und auf Atmosphä- — Switch off the pump and vent to atmo- —Arréter la pompe turbomoléculaire, remettre å ia pression atmosphérique. rendruck fluten.
- Seite 27 6 Trouble Shooting 6 Dépistage d'erreurs 6 Fehlersuche Généralités General 6.1 Allgemeines Les réparations ne peuvent étre effec- Reparaturen dürfen nurvon fachkundi- Any repair work must be carried out by tuées que par des personnes quali- qualified persons who have attended a gen, von Balzers geschulten Personen fiées, qui ont suivi un cours de forma-...
- Seite 28 U2[V] Sensor- UI[V] Widerstand unterer Anschlag oberer Anschlag Sensor resistor lower stop upper stop Résistance butée butée supérieure inférieure paralléle capteur min. min. max. max. -1,89 - 1,55 1,18 1,83 1,89 - 1,55 1.23 1,89 - 1.43 1.09 1.72 -1,85 -0,90 1.09 - 1.43...
- Seite 29 6.2.2 Funktionsprüfung mit Meß- und 62.2 Function Testing with Measuring 6.2.2 Contröle du fonctionnement avec Prüfadapter and Test Adapter adaptateur de mesure et d'essai Fig. 16 Meß-und Prüfadapter Measuring and test adapter Adaptateur de mesure et d'essai Der Meß- und Prüfadapter (Fig.
- Seite 30 Das eingebaute Instrument zeigt, je Depending on the position of the L'instrument installé indique, selon la nach Schalterstellung den Magnet- switch, the built-in meter indicates position du commutateur, le courant strom Imag Oderden Motorstrom Imot a n. current of either the magnet (Imag) o r magnétique (Imag) o u le courant du Der Magnetstrom liegt bei senkrecht...
- Seite 31 Recherche d'erreurs dans 6.3 Fehlersuche im TCM 6.3 Trouble Shooting in the Die Magnetlagerelektronik TCM 520 The Magnetic Bearing Electronic L'électronique de paliers magnétiques besteht aus folgenden Teilen: Netzfilter, TCM 520 comprises the following com- de Ia TCM 520 est constituée des pié- Netztrafo, Verbindungsprint (VP) mit...
- Seite 32 tnnn Fig. 19 Fig. 18 Meßpunkte: Leistungsprint Measuring points: Reglerprint Power Controller Pointes de mesurage: Carte d'alimentation électrique Carte de régulation p4:+ 12 v P5:— P6: Sensorspannung/ Sensor voltage/ Tension de captour La tension secteur parvient au trans- Über das Netzfilter, die Sicherung The supply voltage is fed to the power formateur-secteur...
- Seite 33 6.4 Affichagø d'erreurs 6.4 Fehleranzeige 6.4 Error Display The TCM 520 has a micro-computer La TCM 520 est équipée, pour la sur- Die TCM 520 hat einen Micro-Compu- for operation monitoring. Before start- veillance du service, d'un micro-ordina- ter zur Betriebsüberwachung. Vor und teur.
- Seite 34 6.5 Explications I'affichage 6.5 Error Code Explanations 6.5 Erläuterungen zur Fehler- d'erreurs anzeige II sera affiché Iorsque Ia tension d'une This is displayed if at least one of the Wird angezeigt, wenn mindestens eine deux tensions d'alimentation des- two supply voltages drops below II V der beiden Versorgungsspannungen cend au-dessus du seuil de II V, bien...
- Seite 35 Displayed if either the sensor cable, Erreur affichée Iorsque I'un des cåbles Wird angezeigt, wenn entweder (de capteur, de la pompe, ou de la Sensorkabel, das Pumpenkabel Oder the pump cable or the venting valve cable are not connected. E8 leads vanne de remise å...
- Seite 36 Fusibles 6.6 Sicherungen Fuses 520: 520: 520. = 2 AT für — 120 Fl = 2 amps delayed action fuse for Fl = 2 A pour 100— 120 V, 100— volts action retardée = 1 AT für — 240 Fl = I amps delayed action fuse Fl = 1 A pour 200 —...
- Seite 37 7 Ersatzteile 7 Spare Parts 7 Pieces de rechange 7.1 Spare Parts List 7.1 Liste de piöces de rechange Ersatzteilliste TPH/TPU TPH/TPU TPH/TPU Achtung ! Please note: Attention Bei Ersatzteilanfrage bzw. Bestellung When inquiring about or ordering Veui/lez indiquer sur 18demande de Typ und Gerätenummer angeben.
- Seite 38 7.2 Liste de piöces de rechange TCM 520 7.2 Ersatzteilliste 7.2 Spare Parts List TCM 520 Stück Pos. Benennung/Designation/Désignation Quantity Item Pieces No. de cat Pos. PM 031 Reglerprint kompl./Controller pcb, compl./Carte de régulation, au comp. P0920 Spannungsregler LM 317 T/Voltage regulator LM 31 7 T/ Régulateur de tension LM 3 17 T P 0920 Spannungsregier LM 337 T/Voltage regulator LM 337 T/Régulateur de tension LM 337T PM 031...
- Seite 39 8 Accessoires 8 Zubehör 8 Accessories Refroidissement par air 115 V 50/60Hz PMZOI Air cooling fan Luftkühlung V 50/60 PM ZOI Luftkühlung Air cooling fan Refroidissement par air PM 031 Meß- und Prüfadapter Measuring and test adapter Adaptateur de mesure et d'essai Chauffage PM 033...
- Seite 40 Notizen / Notes BALZERS...
- Seite 41 TPH/U 520M • 12M xs.'ai XS'a7 X5/b6 eysn-ss x8'5 TCS 303 x2i•. TCP 121 TCP 380 xStb8 XSYb6 II—i xs.'z3 xstas Iiiu, BALZERS...
- Seite 42 PM 031 901-X v 12 omn•z 0319d5-x zpyql PM 031 902-X 901*-X PM 021 3 78* i PM OBI Schaltplan Wiring Diagram Schéma de connexions BALZERS...
- Seite 43 Safety information Information sécurité Sicherheitsinformation I'état d'appareils return vacuum für die Rücksendung von Vakuumgeräten systems and compo- de composants de tech- nique du vide å retour- -komponenten nents å I'usine Allgemeine Information General Introduction Information générale L'employeur ("utilisateur) est respon- Der Unternehmer (Betreiber) trägt die...
- Seite 44 BALZERS Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten am Ort ihres Einsatzes erfolgen soil, Wird die Sendung und -komponenten Wird nur durchgeführt, wenn eine kor- rekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 45 BALZERS Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum equipment/compo- delay. The manufacturer reserves the right to refuse accep- nents can only be carried out if a cqrrectly completed decla- tance of consignments submitted for repair or maintenance work where...
- Seite 46 BALZERS Déclaration sur I'état de contamination de matériel de technique du vide rempli. Selon I'état du matériel, nous nous réservons le droit Notre service peut intervenir et s'occuper du matériel seule- de refuser la réparation dans notre usine. ment si vous I'avez envoyé avec ce certificat précisement Ce certificat doit étre rempli...