Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TMH 200M
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TMH 200M
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Turbomolekular-Drag-Pumpe, magnetgelagert TMH 200M TMU 200M...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
4.2. Einschalten................ 13 Einschalten bei Verwendung großer 2. Kennenlernen der Pumpen Vorpumpen und großer Rezipienten......13 TMH 200M / TMU 200M ......4 4.3. Heizen (nur Pumpen mit Gehäuseheizung)....13 2.1. Hauptmerkmale ..............4 4.4. Intervallbetrieb der Vorpumpe........13 Bestimmungsgemäße Verwendung ........5 4.5. -
Seite 3: Wichtig Für Ihre Sicherheit
1. Wichtig für Ihre Sicherheit ☞ Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung. Abkürzungen im Text ☞ Informieren Sie sich über: TCM = Magnetlagerelektronik TMP = Turbomolekularpumpe – Gefahren, die von der Pumpe ausgehen; – Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen; Positionsnummern –... -
Seite 4: Tmh 200M / Tmu 200M
2. Kennenlernen der Pumpen TMH 200M / TMU 200M 2.1. Hauptmerkmale Umgebungsbedingungen Die Turbopumpe ist unter Einhaltung folgender Umgebungs- bedingungen zu installieren: Die Turbomolekularpumpe TMH 200M Hochvakuumflansch Aufstellungsort: wettergeschützt Vorvakuumflansch (Innenräume) Kühlwasseranschluss Temperatur: +5 °C bis +40 °C (bei Elektroanschluss Wasserkühlung bis +50 °C). -
Seite 5: Bestimmungsgemäße Verwendung
Abkürzungen auf dem Typenschild der Turbopumpe betrieben, so ist Sperrgas zu verwenden. TMH 200M: Vollständig magnetisch gelagerte Pumpe – Die Turbopumpen dürfen nur mit einer Pfeiffer Vacuum- Zusatz ”P“: Sperrgasanschluss zur Verhinderung des Magnetlagerelektronik TCM 1601 und zugehörigen Kabeln Eindringens aggressiver Gase in den Motor- betrieben werden. -
Seite 6: Installation
änderungen an der Turbopumpe vornehmen. gern die Auspumpzeit! Alle Flanschbauteile müssen bei Installation fett-, staubfrei und trocken sein. Verwendung von Pfeiffer Vacuum Splitterschutz oder Im Falle eines plötzlichen Blockieren des Rotors Schutzgitter WARNUNG können Drehmomente bis 1 1 4 4 1 1 0 0 N N m m auftreten, die... - Seite 7 Abreißen der Turbopumpe kommen. Die Bauteile für die Installation sind Spezialausführungen Die Bauteile für die Installation sind im zugehörigen von Pfeiffer Vacuum. Befestigungssatz (siehe Kap. 10. Zubehör) enthalten. – Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm 2 des Flanschmaterials Pratze (ISO-K mit ISO-F) ist zu beachten.
- Seite 8 CF-F-Flansch 6 6 k k t t - - S S c c h h r r a a u u b b e e u u n n d d D D u u r r c c h h s s t t e e c c k k b b o o h h r r u u n n g g ➡...
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Seite 9: Vorvakuumseite Anschließen
➡ Zeitverzögernd öffnendes Vorvakuum-Sicherheitsventil flansch! (z.B. TVV 001, Zubehör) in die Vorvakuumleitung einbauen Erschütterungen der Pumpe vermeiden! (in Pfeiffer Vacuum Drehschieberpumpen bereits serienmäßig integriert). Dies verhindert die Belüftung des Bei Drehschieber-Vorpumpe und Einbaulage A oder C muss Rezipienten über die Vorpumpe. -
Seite 10: Kühlung Anschließen
3.4. Kühlung anschließen Anschluss ans Kühlwassernetz ➡ Schmutzfänger (Zubehör) in die Vorlaufleitung einbauen. Die Turbopumpen TMH/TMU 200M sind serienmäßig ➡ Vorlaufleitung mit Schlauchklemme an einen der beiden wassergekühlt. Kühlwasseranschlüsse anschließen. Zulässige Umgebungstemperatur bei Wasserkühlung: ➡ Rücklaufleitung an den anderen Kühlwasseranschluss der 5 - 50 °C. -
Seite 11: Luftkühlung (Zubehör)
Luftkühlung (Zubehör) 3.5. Flutventil anschließen Luftkühlung nur bei Umgebungstemperatur Die TMH/TMU 200M dürfen nur über das ACHTUNG ACHTUNG 5-40 °C! bereits montierte Flutventil geflutet werden. Der Luftzufuhr und Abluft nicht behindern! Einsatz anderer Flutventile ist nicht erlaubt. Maximale Gaslast bei Luftkühlung vermindert (siehe 8. -
Seite 12: Sperrgas Anschließen
3.6. Sperrgas anschließen 3.8. Magnetlagerelektronik anschließen Zum Schutz der Turbopumpe, insbesondere bei korrosiven – Verbindungskabel zwischen Magnetlagerelektronik und und staubbehafteten Prozessen, ist es erforderlich, diese mit Turbopumpe einstecken. Sperrgas zu betreiben. Der Anschluss erfolgt über ein Sperrgasventil (siehe Zubehör). Die Kabelstecker müssen gerade auf die ACHTUNG Einbaustecker aufgesetzt werden (Gefahr von Sperrgasanschluss siehe unter 2.1. -
Seite 13: Betrieb
4. Betrieb 4.1. Vor dem Einschalten 4.3. Heizen (nur Pumpen mit Gehäuseheizung) Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher WARNUNG Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmutzungsgrad und Geschwindigkeit. Bei offenem Hochvakuum- dem gewünschten Enddruck. Die Heizdauer sollte mindestens flansch Verletzungsgefahr und Gefahr der 4 Stunden betragen. -
Seite 14: Gasartabhängiger Betrieb
Anhalt für den aktuellen Fanglagerverschleiß der anteilige Pumpe führen. Verschleiß der Einzelereignisse aufsummiert werden. Zum Fanglagerwechsel verständigen Sie bitte Ihren zuständi- gen Pfeiffer Vacuum-Service. Eckpunkte der Leistungskennlinie siehe unter 8. Technische Daten. Beim Hochlauf der Pumpe wird immer mit Maximalleistung gefahren, um die Hochlaufzeit zu minimieren. -
Seite 15: Was Tun Bei Störungen
• Undichtigkeit an Rezipient, • Lecksuche, ausgehend vom Rezipienten Leitungen oder Pumpe • Undichtigkeit beseitigen Ungewöhnliche Betriebsgeräusche • Beschädigung des Rotors • Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum-Service verständigen • Splitterschutz sitzt nicht fest • Splitterschutz auf festen Sitz überprüfen (falls vorhanden) (siehe Abschnitt 3.2.) •... -
Seite 16: Wartung
Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Anlagen- kontaminierte Pumpen nicht versenden! Verfügbarkeit aufrecht zu erhalten: – Pumpe vor Ort durch den Pfeiffer Vacuum-Service reparie- ren lassen; – Pumpe zur Reparatur ins Stammwerk einsenden; Kontaminierte Geräte versenden –... -
Seite 17: Technische Daten
8. Technische Daten G G r r ö ö ß ß e e E E i i n n h h e e i i t t T T M M H H 2 2 0 0 0 0 M M T T M M U U 2 2 0 0 0 0 M M Anschlussnennweiten: Eingang... -
Seite 18: Maßbild
8.1. Maßbild DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Ø138.5 ø143 135.5 DN 25 ISO-KF Werte in Klammern gelten für TMU 200M (DN 100 CF-F). -
Seite 19: Ersatzteile
9. Ersatzteile Pos. Benennung Stück Größe Nummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH/U 200M Gummifuß PK 001 111 USIT-Ring U 10,35x16x2 P 3529 133 -A Flutventil TVF 005 G 1/8” PM Z01 135 siehe unter 2.1. Ersatzteile Luftkühlung Lüfter 110 V P 5099 251 -R7 Fingerschutz P 5099 251 Z4 Puffer... -
Seite 20: Zubehör
10. Zubehör Benennung Größe Nummer zugeh. Anleitung/ Bestellmenge Bemerkung Magnetlagerelektronik TCM 1601 90 - 132 V; 50/60 Hz PM C01 675 PM 0478 BN 190 - 265 V; 50/60 Hz Verbindungskabel Turbopumpe – TCM PM 051 003 -T Andere Längen auf Anfrage Pumpstandsteuergerät TCS 180 90 - 122 V;... -
Seite 21: Erklärung Zur Kontaminierung
Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung bei nicht vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. -
Seite 22: Konformitätserklärung
EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 200 M / TMU 200 M Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale... - Seite 23 Roots Pumps Dry Vacuum Pumps Leak Test Units Valves Flanges, Feedthroughs Vacuum Measurement Gas Analysis System Technology Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...