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Bestimmungsgemäße Verwendung
– Die Turbomolekularpumpen TMH/TMU 200M dürfen nur
zur Vakuumerzeugung eingesetzt werden.
– Mit den Turbopumpen dürfen nur solche Medien gepumpt
werden, gegen die sie chemisch beständig sind. Bei ande-
ren Medien müssen die Pumpen für diese Prozesse durch
den Anwender qualifiziert werden.
– Bei Anfall von Prozessstaub sind prozessabhängige
Wartungsintervalle festzulegen und es ist Sperrgas zu
verwenden.
– Wird die Pumpe mit mehr als 50% der zulässigen Gaslast
betrieben, so ist Sperrgas zu verwenden.
– Die Turbopumpen dürfen nur mit einer Pfeiffer Vacuum-
Magnetlagerelektronik TCM 1601 und zugehörigen Kabeln
betrieben werden.
– Die Turbopumpe muss an eine Vorvakuumpumpe nach
Abschnitt 3.3. angeschlossen sein.
– Einsatz der Pumpe nur bei Einhaltung der Umgebungsbe-
dingungen nach Schutzart IP 20.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt u. a.:
– Das Pumpen von explosiven Gasen,
– das Einsetzen der Pumpe in explosionsgefährdeten
Bereichen,
– das Einsetzen der Pumpen in radioaktiven Bereichen,
– das Pumpen von Gasen und Dämpfen, die die Materialien
der Pumpe angreifen,
– das Pumpen von korrosiven Gasen ohne Sperrgas,
– das Pumpen von kondensierenden Dämpfen,
– der Betrieb mit unzulässig hohen Gaslasten,
– der Betrieb mit falschem Gas-Mode,
– der Betrieb mit einer zu großen eingestrahlten
Wärmeleistung (siehe 8. Technische Daten),
– das Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen stoßarti-
ge Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte
auf die Pumpe einwirken,
– der Betrieb mit Konvektionskühlung,
– das Verwenden von Zubehörteilen, die nicht in dieser
Anleitung genannt werden oder mit dem Hersteller nicht
abgesprochen wurden,
– der Einsatz in Umgebungen, die eine Schutzart besser als
IP 20 verlangen.
Die Turbopumpen und Flanschverbindungen dürfen nicht zum
Besteigen der Anlage benutzt werden.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher
Haftungs- und Gewährleistungsanspruch.
2.2. Unterschiede zwischen den Pumpentypen
Merkmal
TMH 200M
HV-Flansch
DN 100 ISO-K
Dichtung
Elastomer
< 5 · 10 -10 mbar
Erreichbarer
Enddruck
Abkürzungen auf dem Typenschild der Turbopumpe
TMH 200M:
Vollständig magnetisch gelagerte Pumpe
Zusatz "P":
Sperrgasanschluss zur Verhinderung des
Eindringens aggressiver Gase in den Motor-
und Lagerraum
2.3. Lieferumfang
Turbomolekularpumpe mit:
- Schutzdeckel für den Hochvakuumflansch,
- Schutzdeckel für den Vorvakuumflansch,
- Schutzdeckel für den Stromanschluss,
- Schutzdeckel für das Flutventil,
- Gegenstecker für das Flutventil.
TMU 200M
DN 100 CF-F
Metall
< 5 · 10 -10 mbar
5
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