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7.6
TMH 071 Betriebsmittelspeicher ersetzen
Benötigtes Werkzeug
Benötigtes Material
3
Das Aufsetzen der Gerätehaube erfolgt in umgekehrter Reihenfolge. Achten Sie
beim Aufsetzen der Gerätehaube darauf, dass keine elektrischen Verbindungen
zwischen Gerätehaube und Chassis eingeklemmt werden.
4
Zum sichern der Gerätehaube drehen Sie die Roto-Lock Verschlüsse bis zum
Anschlag in Richtung „CLOSE".
Die Turbomolekularpumpe TMH 071 ist zur Schmierung der Kugellager mit einem
Betriebsmittel gefüllt. Ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers ist alle 2 Jahre unab-
hängig von der in dieser Zeit erreichten Betriebsstundenzahl durchzuführen. Unter
extremen Belastungen oder beim Einsatz in unreinen Prozessen müssen kürzere
Austauschintervalle gewählt werden.
Spezialwerkzeug Stirnlochschlüssel
Betriebsmittelspeicher P/N: 200 000 577
Warnung
Bevor Sie mit den Wartungsarbeiten beginnen, muss sichergestellt werden, dass
Massenspektrometer und Turbopumpe vollständig geflutet sind. Nur im gefluteten
Zustand lässt sich der Verschlussdeckel zum Betriebsmittelspeicher öffnen.
1
Zum Fluten der TMH 071 Vorvakuumanschluss zum Modul1000 auftrennen und
Gerät für ca. 10 bis 25s einschalten. Nach ca. 10 s öffnet Ventil V2 und
Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe werden angeflutet. Mindestens
weitere 10 s warten bis das Hochvakuumsystem vollständig geflutet wurde.
2
Netzschalter wieder ausschalten und Gerät vom Netz trennen.
3
Drehen Sie das Gerät auf eine Längsseite, damit Sie Zugang zu dem auf der
Unterseite des Gerätes vorhandenen Revisionsschacht haben.
Hinweis Achten Sie darauf, dass die Vorvakuumanschlüsse nicht beschädigt
werden.
4
Für den Austausch des Betriebsmittelspeicher der Turbomolekularpumpe muss der
Verschlussdeckel auf der Unterseite der TMH 071 herausgedreht werden. Siehe
hierzu
Abb.
7-3/3.
7-7
Wartungsarbeiten
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