Inhaltsverzeichnis
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Vorsicht
Turbomolekularpumpe kann durch ruckartige Bewegungen beschädigt werden.
Modul1000 während des Betriebs nur vorsichtig und in gleichmäßiger Geschwin-
digkeit bewegen.
Vorsicht
Gefahr der Beschädigung.
Das Modul1000 kann durch Überhitzen geschädigt werden.
Service-Meldung beachten und verschmutzten Luftfilter austauschen.
Vorsicht
Gefahr der Beschädigung.
Das Modul1000 kann durch Verschluss der Öffnungen überhitzen und ausfallen.
Öffnungen für Lufteinlass und Luftauslass frei lassen.
Vorsicht
Das Modul1000 kann zerstört werden, wenn Flüssigkeit eingedrungen ist.
Ist Flüssigkeit in das Modul1000 eingedrungen, Modul1000 nicht einschalten und
Kontakt mit dem INFICON-Service aufnehmen.
Vorsicht
Das Modul1000 kann zerstört werden, wenn es über Monate oder Jahre unter
ungünstigen Verhältnissen (feucht, zu heißt, zu kalt, zu hoch über dem
Meeresspiegel) gelagert wurde. (Siehe technische Daten!)
Wurde das Modul1000 unter diesen Umständen gelagert, Modul1000 ausgeschal-
tet lassen und Kontakt mit dem INFICON-Service aufnehmen.
Vorsicht
Gefahr der Beschädigung.
Das Modul1000 kann durch unsachgemäßen Transport beschädigt werden.
Das Modul1000 immer in der Original-Verpackung transportieren.
Wichtige Sicherheitshinweise
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