INFICON LDS3000 Betriebsanleitung
Massenspektrometer-modul
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Andere Handbücher für LDS3000:
- Betriebsanleitung (108 Seiten) ,
- Originalbetriebsanleitung (141 Seiten) ,
- Originalbetriebsanleitung (144 Seiten)
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Inhaltszusammenfassung für INFICON LDS3000
- Seite 1 O R I G I N A L - B E T R I E B S A N L E I T U N G Typenbez. LDS3000 Produktbeschreibung Massenspektrometer-Modul 560-300 Katalog-Nr. ab Software-Version MS-Modul 2.31 Dokumenten-Nr. jiqa54d1-c (1410)
- Seite 2 Dieses Dokument gehört zu der Software-Version, die auf der Titelseite vermerkt ist. Dokumente für andere Software-Versionen sind bei unserem Vertrieb erhältlich. Nachdruck, Übersetzung und Vervielfältigung erfordern die schriftliche Genehmi- gung der INFICON GmbH.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Zu dieser Anleitung ......6 Zielgruppen ..........6 Mitgeltende Dokumente . - Seite 4 Wartung bei INFICON ........
- Seite 5 Anhang ........73 EG-Einbauerklärung .
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Seite 6: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung Zielgruppen Diese Betriebsanleitung richtet sich an den Betreiber und an technisch qualifiziertes Fachpersonal mit Erfahrung im Bereich der Dichtheitsprüftechnik und Integration von Dichtheitsprüfgeräten in Dichtheitsprüfanlagen. Der Einbau und die Anwendung des Geräts erfordern außerdem Kenntnisse im Umgang mit elektronischen Schnittstel- len. -
Seite 7: Text-Auszeichnungen
1.3.2 Text-Auszeichnungen Auszeichnung Bedeutung Voraussetzung für die Durchführung einer Handlung Werkzeug oder Hilfsmittel für eine Handlung ► Handlungsanweisung 1, 2, 3, ... Mehrere Handlungsanweisungen in festgelegter Reihenfolge Ergebnis einer Handlung Zu dieser Anleitung... -
Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung Das Gerät ist ein modulares Dichtheitsprüfgerät zum Einbau in industrielle Dicht- heitsprüfanlagen. Die Prüfgase, mit denen das Gerät messen kann, sind Helium und Wasserstoff (Formiergas). Das Gerät ist für die Über- und die Unterdruckprüfung geeignet. Das Gerät wird zur integralen Prüfung im Vakuum und zur lokalen Prüfung mit Schnüffelleitung verwen- det. -
Seite 9: Allgemeine Sicherheitshinweise
Allgemeine Sicherheitshinweise Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechni- schen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Benutzers oder Dritter bzw. Schäden am Gerät und weitere Sachschäden möglich. Elektrische Energie Das Gerät wird mit elektrischen Spannungen bis zu 24 V betrieben. -
Seite 10: Lieferumfang, Transport, Lagerung
Stecker für Output Stecker für Gauges Exit Betriebsanleitung USB-Stick mit Anleitungen, 3D-Zeichnungen und Videos ► Den Lieferumfang bitte nach Erhalt des LDS3000 auf Vollständigkeit prüfen. Transport Beschädigung durch ungeeignete Verpackung Das Gerät kann beim Transport in einer ungeeigneten Verpackung beschädigt werden. -
Seite 11: Beschreibung
Die MSB-Box gibt Daten über digitale Schnittstellen an die Bedieneinheit CU1000, das I/O-Modul IO1000 oder das Bus-Modul BM1000 aus. Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000. Es kann zusammen mit einem BUS-Modul oder I/O-Modul und einem Datenkabel ohne zusätzliches INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage betrieben werden. -
Seite 12: Geräteaufbau
Geräteaufbau 4.2.1 Gesamtgerät Abb. 1 Massenspektrometer-Modul LDS3000 Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor PSG500, in- ternes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch Abb. 2. Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls MSB-Box. Schnittstellen des Massenspektrometer-Moduls (siehe Kapitel 4.2.3, Seite... -
Seite 13: Anschlussblock
4.2.2 Anschlussblock Abb. 2 Anschlussblock Anschluss Ultra Anschluss Fine/Sniffer Anschluss Gross/Forepump 4.2.3 MSB-Box Abb. 3 Anschlüsse MSB-Box OUTPUT Anschluss für Gasballast und drei Ventile Steckerbelegung Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A Ventil 3 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 4 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 6 (nicht verwendet, Reserve) Beschreibung... - Seite 14 SNIFFER Elektrischer Anschluss für Schnüffelleitung GAUGES, EXT Anschluss für optionale externe Druckmessstellen (0 ... 10 V/0 … 20 mA) für INFICON-Service Steckerbelegung +24-V-Output, max. 200 mA Input für P3-Service-Druckmessstelle, 0 ... 10 V Referenz zum Input für P3-Service-Druckmessstelle 20-mA-Input für P3-Service-Druckmessstelle Anschluss für Drucksensor PSG500, Prüfleck und Suppressor am Vorverstärker...
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Seite 15: Technische Daten
SERVICE RS232-Anschluss für INFICON-Service I/O / ANYBUS CONTROL UNIT Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit Die Anschlüsse „I/O Anybus“ und „Control Unit“ haben die gleiche Funktionalität. Es können wahlweise angeschlossen werden: – Bedieneinheit CU1000 + I/O-Modul IO1000 oder – Bedieneinheit CU1000 + Bus-Modul BM1000 oder –... -
Seite 16: Umgebungsbedingungen
Betrieb im Vakuummodus Kleinste nachweisbare Leckrate 5 x 10 mbar l/s Helium (je nach Drehzahl der Turbo- molekularpumpe): Zeit bis zur Betriebsbereitschaft 150 s Betrieb im Schnüffelmodus Kleinste nachweisbare Leckrate- 1 x 10 mbar l/s Helium (je nach Drehzahl der Turbo- molekularpumpe): Ansprechzeit Schnüffelbetrieb Gross: <... - Seite 17 Parameter Werkseinstellung Kalibrierfaktor VAC/SNIF Mx (für Vakuum, Schnüffeln und alle Massen) Kathodenauswahl Auto Cat1 Kompatibilitätsmodus LDS3000 Konfig. Analog-Ausgang 1 Leckrate Mantisse Konfig. Analog-Ausgang 2 Leckrate Exponent Konfig. Analog-Ausgang Skalierung 0,5 V / Dekade Konfiguration digitale Ausgänge Pin 1: Trigger 1, invertiert...
- Seite 18 Parameter Werkseinstellung Sprache Englisch TMP-Drehzahl 1500 Triggerlevel 1 (2, 3, 4) 1 x 10 mbar l/s Vorverstärkertest bei CAL Wartungsmeldung ZERO bei Start ZERO-Modus Alles unterdrücken Beschreibung...
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Seite 19: Montage
Montage Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen Um den Platzverhältnissen an der Einbauposition optimal entsprechen zu können, kann die MSB-Box gedreht und gewendet werden. Die MSB-Box sitzt in zwei Führungsschienen und kann von links oder rechts in das Gehäuse geschoben werden. Bei Bedarf kann sie auch gedreht werden, so dass die Beschriftungen auf dem Kopf stehen. -
Seite 20: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren Das Massenspektrometer-Modul kann in allen Lagen montiert werden. Abb. 5 Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Selbstsichernde Muttern M8 Maulschlüssel SW13 Innensechskantschlüssel SW6 ... -
Seite 21: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Anschließen
Die folgenden Angaben gelten für den Einsatz von Helium als Prüfgas. Um die KnL zu erreichen, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein: – Der LDS3000 muss mindestens 20 Minuten in Betrieb sein. – Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibratio- nen/Stoße, saubere Umgebung) -
Seite 22: Anschluss
Drehzahl Turbomolekularpumpe Anschluss 1000 Hz 1500 Hz KnL: 5 x 10 mbar l/s 1 x 10 mbar l/s 0,2 mbar 0,2 mbar Ultra kurzfristig (< 3 s): 0,2 mbar 0,4 mbar 5 l/s 6 l/s KnL: 1 x 10 mbar l/s 5 x 10 mbar l/s 0,9 mbar... -
Seite 23: Elektrische Verbindungen Herstellen
Elektrische Verbindungen herstellen Die elektrischen Verbindungen laufen alle von und zur MSB-Box. Sachschäden durch falsch dimensioniertes oder falsch angeschlossenes Netzteil Ein falsch dimensioniertes oder falsch angeschlossenes Netzteil kann das Gerät zerstören. ► Geeignetes Netzteil verwenden: – Netzteil verwenden, das eine elektrisch sicher getrennte Ausgangsspannung liefert –... -
Seite 24: Betrieb
• Betriebsanleitung XL Sniffer Adapter • Interface Protocols LDS3000 Die in den folgenden Abschnitten angeführten Pfade beziehen sich auf die Bedie- nung des Massenspektrometer-Moduls mit der Bedieneinheit CU1000. Werden das Bus-Modul oder das I/O-Modul eingesetzt, müssen die Aktionen im Rahmen des ein- gesetzten Protokolls umgesetzt werden. -
Seite 25: Voreinstellungen
Einstellungen > Einrichten > Zubehör > XL Sniffer A. LD-Protokoll Befehl 2594 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:COMP Die folgende Tabelle zeigt die funktionellen Unterschiede und Gemeinsamkeiten zwischen LDS2010 und LDS3000: LDS2010 LDS3000 Triggerausgänge ohne gemeinsamen Bezug mit gemeinsamen Bezug sonstige Ausgänge... - Seite 26 LDS2010 LDS3000 Trigger 1 (Schnüffel-LED, Relais- Ansteuerung Schnüffel-LED, PWM- Ansteuerung Schnüffel-LED, Audio- ausgang, Audiosignal) Audioausgang an der Bedieneinheit ausgang an der Bedieneinheit für für Aktivboxen Aktivboxen Limit-Low/High (ser. Schnittstellen, Limit Low wirkt auf alle Ausgaben, separat einstellbar für Schnittstel- Anzeige, Analogausgang)
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Seite 27: Gasart Wählen (Masse)
LDS2010 LDS3000 Kalibrieraufforderung Vorverstärkertemperaturänderung Vorverstärkertemperaturänderung 5 K oder 30 min 5 K oder 30 min. oder TMP Dreh- zahl geändert Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/ Bedieneinheit und Rest getrennt SNIF) für alle Schnittstellen Password 3 Level 5 Level nur über Bedieneinheit Schlüsselschalter... - Seite 28 Das Gerät muss einmal pro Schicht im LOW FLOW und im HIGH FLOW kalibriert werden. Danach können Sie ohne Neu-Kalibrierung zwischen den Flüssen wech- seln. Desweiteren ist eine Kalibrierung nach folgenden Ereignissen notwendig: – Schnüfflelleitungs-Wechsel – Filterwechsel – Kalibrierungs-Aufforderung durch das System Vorverstärkertest Beim Kalibrieren testet das Gerät den eingebauten Vorverstärker.
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Seite 29: Kalibrierung Besonderheiten Intern
Kalibrierung Besonderheiten intern – mit internem Prüfleck – Bestimmung des Untergrunds. Bei Be- – Autotune (Massenabgleich) darf nach dem Kalibrieren den Maschi- – Bestimmung des Kalibrierfaktors bei einge- nen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, schwungenem Signal des Prüflecks siehe Kapitel 6.5.7, Seite 36 –... -
Seite 30: Externe Kalibrierung
Prüfleck öffnen/ Prüfleck öffnen/schließen. Wenn das Prüfleck mittels Bedieneinheit oder Schnitt- schließen stelle geöffnet wurde, kann keine interne Kalibrierung durchgeführt werden. Das Prüfleck muss zuerst wieder geschlossen werden. – 0 Zu – 1 Auf Bedieneinheit Funktionen > Ventile > Prüfleck intern öffnen LD-Protokoll Befehl 12 ASCII-Protokoll... - Seite 31 Leckrate Prüfleck Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll. extern Schnüffeln Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich. Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden. 1E-7 ... 9.9E-1 mbar l/s Bedieneinheit Einstellungen >...
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Seite 32: Externe Dynamische Kalibrierung
Abb. 6 Externes Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Be- schreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe Seite 48 6.5.3 Externe dynamische Kalibrierung Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse lie- fern. - Seite 33 ► LD- und ASCII-Protokol: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw. *STATus:CAL 1 Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten. 2 Messung starten. 3 Warten bis zum Zeitpunkt, an dem das Leckratensignal optimal zum normalen Messablauf der Anlage passt. 4 Kalibrierung starten: Bedieneinheit: Funktionen >...
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Seite 34: Externe Kalibrierung Mit Der Schnüffelleitung Sl3000Xl (Zubehör)
Abb. 7 Externes dynamisches Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe Seite 48 6.5.4 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör) Die Vorgehensweise entspricht der einer externen oder externen dynamischen Kali- brierung im Schnüffelbetrieb. Der Low Flow und der High Flow müssen separat kalibriert werden. -
Seite 35: Kalibrierung Mit Externem Prüfleck Prüfen
► Prüfung starten: Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Prüfen int. LD-Protokoll: 4, Parameter 4 ASCII-Protokoll: *CAL:PROOFINT IO1000: CAL Prüfen intern, siehe ab Seite 48 Prüfung wird automatisch durchgeführt. 6.5.5.2 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen ► LD- und ASCII-Protokol: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw. -
Seite 36: Kalibrierfaktor Eingeben
6.5.6 Kalibrierfaktor eingeben 6.5.6.1 Kalibrierfaktor Schnüffeln Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4 im Low Flow und im High Flow. Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben. „High Flow-“ bzw. XL-Einstellungen sind nur in der Betriebsart „XL Sniffer Adapter“ verfügbar. -
Seite 37: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
6.5.7.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen Massenspektrometer-Modul intern kalibriert. 1 Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen. Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein an. 2 Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten. Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an. Maschinenfaktor ein- Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie- stellen... -
Seite 38: Messung Starten Und Stoppen
2 Externes Prüfleck und Ventil (falls vorhanden) zwischen Lecksuchgerät und An- lage öffnen. 3 Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal bestätigen. Bedieneinheit: „OK“ LD-Protokoll: 11, Parameter 1 ASCII-Protokoll: *CAL:ACKnowledge IO1000 siehe Abb. 6 Aufforderung „Prüfleck schließen“ (Externes Prüfleck). 4 Externes Prüfleck schließen. Vorhandenes Ventil offen lassen. 5 Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal bestätigen. -
Seite 39: Parameter Speichern Und Laden
Parameter speichern und laden Um die Parameter der Bedieneinheit und des Massenspektrometer-Moduls zu si- chern und wieder herzustellen, kann ein USB-Stick an der CU1000 verwendet wer- den. Parameter speichern: ► „Funktionen > Daten > Parameter > Speichern > Parameter speichern“ Parameter laden: ►... -
Seite 40: Messergebnis-Darstellung Mit Signalfiltern
ZERO-Modus einstel- Legt den Grad des von ZERO unterdrückten Heliumuntergrundes fest (nicht mit Fil- ter I•CAL). – 0 alle Dekaden – 1 1 – 2 Dekaden – 2 2 – 3 Dekaden – 3 2 Dekaden – 4 3 – 4 Dekaden –... -
Seite 41: Vorvakuumpumpe Dekontaminieren
Filter-Umschaltleck- Leckrate-Hintergrund für die Mittelungsdauer in mbar l/s. Unterhalb dieses Wertes rate einstellen ist die Mittelungsdauer 10,24 s. Oberhalb dieses Wertes ist die Mittelungsdauer 160 ms (gilt nur für zweistufige Filter) 1E-11 ... 9.9E-3 Bedieneinheit Einstellungen > ZERO/Filter > Einstellungen Filter > 2-stufig LD-Protokoll Befehl 403 ASCII-Protokoll... -
Seite 42: Einheit Für Den Druck Wählen
Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit der Schnittstellen für Vakuum bzw. Schnüffeln Schnittstelle – 0 mbar l/s – 1 Pa m – 2 atm cc/s – 3 Torr l/s – 4 ppm (nicht VAC) – 5 g/a (nicht VAC) – 6 oz/yr (nicht VAC) Bedieneinheit Einstellungen >... -
Seite 43: Triggerwerte Einstellen
6.15 Triggerwerte einstellen Das Massenspektrometer-Modul besitzt vier unabhängige Triggerwerte. 1 / 2 / 3 / 4 Bedieneinheit Einstellungen > Trigger > Trigger 1 (2, 3, 4) > Triggerlevel LD-Protokoll Befehl 385 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:TRIGger1 (2, 3, 4) 6.16 Kapillarüberwachung einstellen Druckwert Kapillare Um ein Verstopfen der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein minimaler verstopft... -
Seite 44: Ionenquelle Einrichten
Drehzahl der Turbo- Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz molekularpumpe – 1000 – 1500 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellun- gen > TMP Drehzahl LD-Protokoll ASCII-Protokoll *CONFig:SPEEDTMP Lüfter der Turbomole- Lüfter der Turbomolekularpumpe steuern kularpumpe steuern – 0 immer eingeschaltet –... -
Seite 45: Vorverstärker Einstellen
Höhe des Emissions- Höhe des Emissionsstroms [Volt] stroms Min: 1.0 x 10 Max: 2.8 x 10 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Ionenquelle > Emissionsstr. > Emissionsstrom LD-Protokoll ASCII-Protokoll – 6.19 Vorverstärker einstellen Widerstandswert Vor- Widerstandswert des Vorverstärkers einstellen. Dies ist eine Servicefunktion und verstärker dient nur zu Testzwecken, da bei jedem Hochfahren des Systems der Widerstands- wert automatisch bestimmt wird. -
Seite 46: Einstellungen Für Den Xl Sniffer Adapter
6.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter Für den Betrieb mit dem XL Sniffer Adapter müssen Sie – die SL3000XL-Schnüffelleitung verwenden, – die Betriebsart "XL Sniffer Adapter" wählen, siehe 6.3 Kompatibilitätsmodus und Betriebsart wählen auf Seite Funktion rechte Aktivieren bzw. Deaktivieren der rechten Taste der SL3000XL-Schnüffelleitung Schnüfflertaste (Umschalten zwischen Low Flow und High Flow). - Seite 47 Schnüffler-Summer: Verhalten des Summers am Schnüffler bei Triggerwert-Überschreitung. Alarmkonfiguration – Aus: Keine Reaktion – akustisches Signal/Vibrationsalarm Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüffler > Summer > Schnüffler Summer LD-Protokoll Befehl 417 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:BEEP Anzeige des Wasser- Beim Schnüffeln mit Formiergas wird Wasserstoff verwendet.
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Seite 48: Typ Des Erweiterungsmoduls Auswählen
Fluss auswählen Low Flow oder High Flow auswählen. Anmerkung: Die Auswahl kann auch mit der rechten Schnüffler-Taste erfolgen oder auch auf eine der Favoriten-Tasten der Be- dieneinheit gelegt werden. – Klein (Low Flow) – Groß (High Flow) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Fluss > Fluss Steuerung oder Funktionen >... -
Seite 49: 6.22.2 Ein- Und Ausgänge Belegen
6.22.2 Ein- und Ausgänge belegen Analoge Ausgänge Die analogen Ausgänge des I/O-Moduls IO1000 können mit unterschiedlichen des I/O-Moduls bele- Messwertdarstellungen belegt werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Analog-Ausg. > Konfig. Analog-Ausgang 1/2 LD-Protokoll Befehl 222, 223, 224 ASCII-Protokoll... - Seite 50 Leckrate log. x ... 10 V; logarithmisch; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ und „Skalierung bei Leckrate“ eingestellt. Beispiel: Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10 mbar l/s (= 10 V).
- Seite 51 Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 1V/Dekade -2 Obere Grenze 0,01 (Exponent) 0,001 0,0001 0,00001 0,000001 0,0000001 1E-08 1E-09 1E-10 1E-11 1E-12 Analog-Ausgangsspannung in V Abb. 8 Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 1 V/Dekade 001E+00 Analog-Ausgangsspannung 1.000E-04 Leckrate log. 5V/Dekade -2 Obere Grenze 100E-04 (Exponent) 010E-04 001E-04 1.000E-08...
- Seite 52 Spannung LDS1000 LDS2010 10 V LDS3000 10,237 V Konfiguration Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die folgen- (LDS2010-kompatibel) de Tabelle genutzt werden. Leckrate Mantisse in gewählter Einheit. Leckrate Mantisse unrelevant unrelevant 1 ... 10 V Leckrate Exponent (Stufenfunktion) in gewählter Leckrate Exponent unrelevant unrelevant Einheit.
- Seite 53 Druck p2 log. in Pa p2 1 V/Dek. unrelevant unrelevant 1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar Leckrate log. in mbar l/s Leckrate log. 2 V/Dek. 1E+2 mbar l/s 0 ... 8 V, 2 V/Dekade, 0 V = 1E-3 mbar l/s Leckrate log.
- Seite 54 Leckrate lin. in mbar l/s Leckrate linear unrelevant 1E0 mbar l/s 0 ... 10 V, 1 V = 1E-1 mbar l/s Leckrate log. in mbar l/s Leckrate log. 1 V/Dek. 1E6 mbar l/s 0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-4 mbar l/s Leckrate lin.
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Seite 55: Digitale Eingänge Des I/O-Moduls Belegen
Analogen Eingang – Für den analogen Eingang ist keine Funktion konfigurierbar. auslesen – Er ist reserviert für zukünftige Anwendungen. – Über den LD-Befehl 220 ist der Spannungswert am analogen Eingang ausles- bar. 6.22.2.1 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen Die digitalen Eingänge PLC-IN 1 ... 10 des I/O-Moduls können beliebig mit den zur Verfügung stehenden Funktionen belegt werden. - Seite 56 Flanke/ Funktion Beschreibung Zustand: Auswahl dyn/norm Externer Kalibriermodus bei Aktivierung des Digital-Eingangs „CAL“: inaktiv → aktiv: Externe dynamische Kalibrierung (ohne Autotune, unter Berück- sichtigung der über die digitalen Eingänge vorgegebenen Mess- und Pumpzyklenzeiten) aktiv → inaktiv: Externe normale Kalibrierung (mit Autotune, ohne Berücksichti- gung der anlagenspezifischen Mess- und Pumpzyklenzeiten) Start / Stop inaktiv →...
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Seite 57: Digitale Ausgänge Des I/O-Moduls Belegen
6.22.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen Die digitalen Ausgänge PLC-OUT 1 ... 8 des I/O-Moduls können beliebig mit den zur Verfügung stehenden Funktionen belegt werden. Jede Funktion kann invertiert werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Digital-Ausg. -
Seite 58: Einstellungen Für Das Busmodul Bm1000
Die folgende Tabelle zeigt alle Warn- und Fehlermeldungen. Es werden mögliche Ur- sachen für die Störung und Hinweise zur Störungsbeseitigung genannt. Beachten Sie, dass die mit Stern gekennzeichneten Arbeiten nur von Serviceperso- nal durchgeführt werden darf, das von INFICON autorisiert wurde. Betrieb... - Seite 59 Jumper zur Uhr nicht gesteckt, Batterie leer, Uhr defekt Wrn122 Keine Antwort vom Bus Modul 99 99 Verbindung zum Bus-Modul unterbrochen Wrn123 Konfiguration INFICON vom 99 99 Die gewählte Konfiguration IN- BM1000 nicht unterstützt FICON wird vom angeschlos- senen BM1000-Feldbustyp nicht unterstützt.
- Seite 60 Fehlernummer Wrn222 Interne Spannung 24V_IO au- 24 120 Kurzschluss 24V am Ausgang ßerhalb des Bereichs Wrn223 Interne Spannung 24V_TMP 24 120 Kurzschluss 24V der TMP außerhalb des Bereichs Wrn224 Interne Spannung 24V_1 (Pi- 24 120 Kurzschluss 24V rani) außerhalb des Bereichs Drucksensor PSG500 (1,2,3), Schnüffelleitung Wrn240 Spannung +15V außerhalb...
- Seite 61 Fehlernummer Wrn311 Kathode 2 defekt 46 137 Kathode defekt, Leitung zur Ka- thode unterbrochen, IF-Board oder MSB defekt Err312 Kathoden defekt 47 138 Kathode defekt, Leitung zur Ka- thode unterbrochen, IF-Board oder MSB defekt Err340 Emissionsfehler 44 135 <90% des Sollwerts Emission war vorher stabil, ver- >110% des Sollwerts mutlich hoher Druck, Meldung...
- Seite 62 Fehlernummer Wrn421 TMP Spannung zu niedrig Leitungsquerschnitt 24-V-Ver- sorung für MSB-Module zu ge- ring, Ausgangsstrom 24-V- Netzteil zu gering (I <10 A), Netzteil defekt, TMP defekt Err422 TMP kein Hochlauf 49 2 8 Min. Vordruck TMP zu hoch, En- druck VV-Pumpe zu hoch, Un- dichtigkeit Hochvakuum-Sys- tem, Flutventil nicht geschlossen, Lagerschaden...
- Seite 63 Fehlernummer 6xx Kalibrierfehler Wrn600 Kalibrierfaktor zu niedrig 81 153 0,01 Kalibrierleck oder Maschinen- faktor falsch eingestellt Wrn601 Kalibrierfaktor zu hoch 81 153 10000 Kalibrierleck oder Maschinen- faktor falsch eingestellt, Teil- stromfaktor zu groß Wrn602 KalFaktor niedriger als bei 81 153 <...
- Seite 64 Fehlernummer Wrn670 Fehler beim Kalibrieren 81 153 Da beim Kalibrieren ein Prob- lem aufgetreten ist, müssen Sie neu kalibrieren. Wrn671 Peak nicht gefunden 81 153 Während der Peaksuche war das Signal zu unruhig. Die Kali- brierung wurde abgebrochen. Wrn680 Abweichung zur Kalibrierung Die Überprüfung der Kalibrie- festgestellt rung hat gezeigt, dass Sie neu...
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Seite 65: 6.24.1 Darstellung Der Fehlercodes Mit Hilfe Der Status-Leds
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs Ein Fehler oder eine Warnung in der MSB-Box wird sowohl als Fehlercode von der Bedieneinheit als auch als Blinkcode durch die Status-LED angezeigt. Der Blinkcode startet mit einem langen weißen Signal. Es folgt die Fehler- bzw. War- nungsnummer. -
Seite 66: Wartung
Die Wartung des Massenspektrometer-Moduls beschränkt sich auf den Tausch des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die Überprüfung des Lüfters an der Turbomolekularpumpe. Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner. Wartung bei INFICON Gefährdung der Gesundheit Kontaminierte Geräte können die Gesundheit der INFICON-Mitarbeiter gefährden. -
Seite 67: Wartungsplan
Gerät beschädigen. ► Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes Werkzeug benutzen. Wartungsplan Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgeführt werden, verfällt die Gewährleistung für das Massenspektrometer-Modul LDS3000. Betriebsstunden 24 8000 16000 24000 36000 Service-... -
Seite 68: Wartungsarbeiten
Wartungsarbeiten 7.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen Die Turbomolekularpumpe ist zur Schmierung der Kugellager mit einem Betriebsmit- tel gefüllt. Ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers muss spätestens alle 2 Jahre er- folgen. Unter extremen Belastungen der Pumpe oder in unreinen Prozessen muss der Schmiermittelspeicher in kürzeren Zeitabständen gewechselt werden. Der Verschlussdeckel des Betriebsmittelspeichers lässt sich nur herausschrauben, wenn die Turbomolekularpumpe geflutet ist. - Seite 69 Abb. 10 Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 Verschlussdeckel Betriebsmittelspeicher O-Ring Belüftungsschraube Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200 Zwei Schraubendreher Pinzette O-Ring Betriebsmittelspeicher, P/N: 200 003 801 Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet. Wartung...
- Seite 70 Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit gifti- gen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein. ► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen. ► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. ► Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen. Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt.
- Seite 71 Sachschäden durch Reinigungsflüssigkeiten Reinigungsflüssigkeiten können das Gerät beschädigen. ► Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden. ► Sauberes fusselfreies Tuch verwenden. 2 Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit saube- rem fusselfreien Tuch entfernen. 3 Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette einsetzen. Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen Der neue Betriebsmittelspeicher wird durch das Eindrehen des Verschlussdeckels korrekt positioniert: 1 Neuen Betriebsmittelspeicher nicht in ganzer Höhe, sondern nur bis zum O-Ring...
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Seite 72: Außerbetriebnahme
2 Warten, bis Turbomolekularpumpe nicht mehr läuft. Massenspektrometer-Modul entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zu INFICON gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollte von dieser Möglichkeit Gebrauch gemacht werden.. -
Seite 73: Anhang
Anhang EG-Einbauerklärung Anhang... -
Seite 74: Kontaminationserklärung
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- Seite 76 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi sit o ur we bsi t e fo r con t act i nfo rm ati on an d o t her sal es o ffice s wo rl dw id e. w w w . i n f i c o n . c o m...