INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 31

Leckrate Prüfleck
extern Schnüffeln
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-7 ... 9.9E-1 mbar l/s
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
► LD- und ASCII-Protokol: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260
bzw. *STATus:CAL
1 Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten.
2 Messung starten.
3 Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist.
4 Kalibrierung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > extern
LD-Protokoll: 4, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:EXT
IO1000 siehe
 Aufforderung „Prüfleck schließen"
5 Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen.
Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen.
 Leckratensignal fällt ab.
6 Stabilen Untergrundmesswert bestätigen:
Bedieneinheit: „OK"
LD-Protokoll: 11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000 siehe
 Die Kalibrierung ist beendet, wenn:
Bedieneinheit: Alter und neuer Kalibrierfaktor werden angezeigt
LD-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt
werden
ASCII-Protokoll: Wie bei den anderen Schritten, muss der Verlauf abgefragt
werden
IO1000 siehe
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten >
Schnüffeln > Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) >
Prüfleck extern SNIF H2 (M3, He)
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext.
(für aktuelle Masse in gewählter Einheit)
Befehl 392
Befehl *CONFig:CALleak:EXTSniff (für aktuelle Masse in
gewählter Einheit)
Abb. 6.
Abb. 6.
Abb. 6.
31
Betrieb