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1
Inficon 560-300 Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung
Inficon 560-300 Betriebsanleitung (76 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
Inficon
| Kategorie:
Messgeräte
| Dateigröße: 3.47 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Zu dieser Anleitung
6
Zielgruppen
6
Mitgeltende Dokumente
6
Darstellung von Informationen
6
Warnhinweise
6
Text-Auszeichnungen
7
2 Sicherheit
8
Bestimmungsgemäße Verwendung
8
Anforderungen an den Betreiber
8
Anforderungen an den Anwender
8
Allgemeine Sicherheitshinweise
9
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
10
4 Beschreibung
11
Funktion
11
Geräteaufbau
12
Gesamtgerät
12
Anschlussblock
13
MSB-Box
13
Technische Daten
15
Mechanische Daten
15
Elektrische Daten
15
Physikalische Daten
15
Umgebungsbedingungen
16
Werkseinstellungen
16
5 Montage
19
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
19
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
20
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Anschließen
21
Anschluss
22
Schlauchverbindungen Herstellen
22
Elektrische Verbindungen Herstellen
23
6 Betrieb
24
Gerät Einschalten
24
Voreinstellungen
25
Kompatibilitätsmodus und Betriebsart Wählen
25
Gasart Wählen (Masse)
27
Gerät Kalibrieren
27
Interne Kalibrierung
29
Kalibrierung Besonderheiten Intern
29
Externe Kalibrierung
30
Externe Dynamische Kalibrierung
32
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör)
34
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
34
Kalibrierung Prüfen
34
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
35
Kalibrierfaktor Eingeben
36
Kalibrierfaktor Schnüffeln
36
Kalibrierfaktor Vakuum
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
37
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
37
Messung Starten und Stoppen
38
Parameter Speichern und Laden
39
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
39
Gas-Untergründe mit den „ZERO"-Funktionen Unterdrücken
39
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
40
Vorvakuumpumpe Dekontaminieren
41
Einheit für die Leckrate Wählen
41
Einheit für den Druck Wählen
42
Anzeigegrenzen Wählen
42
Triggerwerte Einstellen
43
Kapillarüberwachung Einstellen
43
Turbomolekularpumpe Einrichten
43
Ionenquelle Einrichten
44
Vorverstärker Einstellen
45
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
46
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
48
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
48
6.22.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
48
6.22.2 Ein- und Ausgänge Belegen
49
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
55
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
57
Einstellungen für das Busmodul BM1000
58
Warn- und Fehlermeldungen
58
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
65
Einstellungen Zurücksetzen
65
7 Wartung
66
Wartung bei INFICON
66
Allgemeine Wartungshinweise
66
Wartungsplan
67
Wartungsarbeiten
68
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
68
8 Außerbetriebnahme
72
Lecksuchgerät Stillsetzen
72
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
72
Massenspektrometer-Modul Einsenden
72
Anhang
73
EG-Einbauerklärung
73
Kontaminationserklärung
74
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