Anschluss; Schlauchverbindungen Herstellen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

5.4

Schlauchverbindungen herstellen

22
Montage

Anschluss

KnL:
:
P
max
Ultra
kurzfristig (< 3 s):
P
max
S:
KnL:
:
P
max
Fine
kurzfristig (< 3 s):
P
max
S:
KnL:
:
Gross P
max
S:
Eine Überschreitung des dauerhaft zulässigen Einlassdrucks generiert die Warnmel-
dung „TMP Überhitzung".
Sachschäden durch Druckstöße
Druckstöße, die den maximalen Einlassdruck überschreiten, beschädigen das
Massenspektrometer-Modul.
► Maximalen Einlassdruck nicht überschreiten.
1 Die Betriebsart Vakuumanschluss und Drehzahl Turbomolekularpumpe nach va-
kuumphysikalischen Gegebenheiten der Prüfanlage bestimmen.
2 Das Massenspektrometer-Modul über die Anschlüsse „Ultra", „Fine", oder
„Gross" an das Vakuumsystem der Prüfanlage anschließen.
3 Die Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen.
1 Drucksensor PSG500 an einen der Gross-/Forepump-Anschlüsse anschließen.
2 Vorvakuumpumpe an den zweiten Gross/Forepump-Anschluss anschließen.
3 Für den Schnüffelbetrieb Schnüffelleitung an einen der Fine-/Sniffer-Anschlüsse
anschließen.
4 Falls vorhanden, das interne Prüfleck 560-323 an zweiten freien Flansch (Fine
bzw. Ultra) des Vakuumanschlusses anschließen.
Falls ein Schnüffelventil verwendet wird: Damit das Gerät beim Öffnen des Schnüf-
felventils fehlerfrei arbeitet, darf zwischen Anschlussblock und Schnüffelventil sowie
Schnüffelventil und Schnüffelleitung keine weitere Leitung angeschlossen sein.
Drehzahl Turbomolekularpumpe
1000 Hz
-12
5 x 10 mbar l/s
0,2 mbar
0,2 mbar
5 l/s
-11
1 x 10 mbar l/s
0,9 mbar
0,9 mbar
1,8 l/s
-9
1 x 10 mbar l/s
18 mbar
abhängig von der Vorvakuumpumpe
1500 Hz
-11
1 x 10 mbar l/s
0,2 mbar
0,4 mbar
6 l/s
-11
5 x 10 mbar l/s
0,4 mbar
0,7 mbar
2,5 l/s
-8
2 x 10 mbar l/s
15 mbar