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Betriebsarten; Vakuum - INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung

Modulares dichtheitsprüfgerät
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5

Betriebsarten

5.1

Vakuum

5-1
Betriebsarten
Es gibt folgende Vakuum-Betriebsarten:
Vakuum,
Commander,
Auto Leak Test.
Bei diesen Betriebsarten kann zusätzlich eine Teilstrompumpe verwendet werden.
Bei der Schnüffelversion des Modul1000 gibt es außerdem die Betriebsart:
Schnüffeln.
Im normalen Vakuumbetrieb wird das Modul1000 als „Stand Alone" Dichtheitsprüf-
gerät betrieben.
Das Prüfteil oder die Vakuumkammer wird nur über den Einlassflansch des Dicht-
heitsprüfgeräts evakuiert. Das Saugvermögen am Einlass des Dichtheitsprüfgeräts
ist abhängig von der verwendeten Vorvakuumpumpe und von geräteinternen Leit-
werten.
Ab einem Druck von kleiner 0,4 mbar, wechselt das Gerät in den Messbetrieb und
gibt die aktuell gemessene Leckrate aus.
Das Saugvermögen am Einlass wird im Messen nur noch durch die geräteinterne
Turbomolekularpumpe bestimmt und beträgt 2,5 l/s.

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Diese Anleitung auch für:

550-300a550-310a550-330a550-300a550-310a

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