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Betriebsarten
Vakuumbereiche" zwischen 0,2 mbar und 0,4 mbar einstellbar.
Abhängig von der Einstellung "Untergrundunterdrückung" wird ggf. eine
automatische Untergrundsubstraktion durchgeführt:
•
Bei Einstellung "AUS": Es wird kein Zero durchgeführt
•
Bei Einstellung "AN": Es wird nach der Zeit t_B_Zeroverzögerung ein Zero
durchgeführt
•
Bei Einstellung: "stabil": Es wird innerhalb der Zeit t_B_Zeroverzögerung ein Zero
durchgeführt, falls das Leckratensignal stabil genug ist, um ein Leck der Größe
des eingestellten Triggerlevels 1 nachzuweisen. Ist diese Bedingung innerhalb
der Zeit t_B_Zeroverzögerung nicht erfüllt, so wird der Messzyklus mit
Fehlermeldung 98 abgebrochen.
Ist der Kammerdruck innerhalb der voreingestellten Zeit t_F_Messbereitschaft nicht
klein genug für die Umschaltung in den Messbetrieb, so wird der Ablauf mit der
Fehlermeldung 94 abgebrochen.
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Nach dem Evakuieren des Prüfteils wird das Ventil V33 geöffnet und der
Befüllvorgang des Bauteils mit Helium beginnt. Erreicht der Druck im Prüfling den
eingestellten Fülldruck p_C_Fülldruck innerhalb der eingestellten Zeit t_C_Füllzeit,
wird das Ventil V33 wieder geschlossen und der Befüllvorgang ist abgeschlossen.
Wird der Fülldruck nicht rechtzeitig erreicht, wird der Messzyklus mit der
Fehlermeldung 93 abgebrochen.
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Die eigentliche Dichtheitsprüfung wird nun gestartet. Nach Ablauf der eingestellten
Zeit t_G_Messzeit wird die gemessene Leckrate ausgegeben. Sinkt während der
Dichtheitsprüfung der Prüflingsdruck aufgrund einer Undichtheit des Systems unter
den Druck p_E_Druckabfallschwelle, so wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung
99 abgebrochen..
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Nach Beendigung der Messzeit wird das Ventil V32 geöffnet.
Das Helium wird aus dem Prüfling in die Helium Füllvorrichtung zurückgeführt, bis
der Druck im Prüfling den Entspanndruck p_D_Entspanndruck erreicht hat. Im
Anschluss wird V32 wieder geschlossen.
Wenn dies nicht innerhalb der vorgegebenen Zeit t_D_Entspannzeit erfolgt, wird der
Messzylus mit der Fehlermeldung 95 abgebrochen.
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Um das übrige Helium aus dem Prüfteil zu entfernen, wird das Ventil V30 geöffnet
und das Prüfteil über die Pumpe 4 bis zum Druck p_B Abpumpdruck evakuiert.
Dies muss innerhalb der vorgegebenen Zeit t_A_Abpumpzeit erfolgen, sonst wird
der Messzyklus mit der Fehlermeldung 96 abgebrochen.
Das Ventil V30 wird geschlossen. Der Prüfling wird über Ventil V31 auf
Atmosphärendruck belüftet.
Wird der vorgegebene Prüflingsdruck p_A_Groblecktest nicht innerhalb der Zeit
t_E_Belüftungszeit erreicht, so wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 97 abge-
brochen.
Im Anschluss wird die Vakuumkammer durch das Modul1000 (und das externe
Flutventil V21
(Abb.
5-1), falls angeschlossen) auf Atmosphärendruck belüftet.
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