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取扱説明書
警告
システムは、線間電圧を簡単に遮断できるように設置する必要があります.
適切な空気の循環を可能にするために、ポンプの周囲に最低 20cm の空きスペ
注意
ースを確保してください。
オプションの付属品の取り付けについては、「技術情報」を参照してください。
この段落では、基本的な操作手順について詳しく説明します。
システムを使用する前には、すべての電気空気圧接続を行ってください。真空チ
ャンバーを加熱している間、インレットフランジの温度は、ConFlatフランジで
120 °C、ISOフランジで80 °Cを超えてはいけません。
ターボインレットフランジが真空チャンバーに接続されていないか、また
警告
は空になっていない場合は、ポンプシステムを使用しないでください。
加熱プロセス中は、ターボポンプまたはその付属品に触れないでくださ
警告
い。 高温により火傷する可能性があります。
操作中のポンプは、衝撃や激しい動きを避けてください。 ベアリングが破
警告
損したり、人への損傷や物が破損したりする可能性があります。
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Agilent TPS-mobile User Manual
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