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Agilent TPS-mobile Betriebsanleitung

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Agilent TPS-mobile
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent TPS-mobile

Inhaltszusammenfassung für Agilent TPS-mobile

  • Seite 1 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione Set-up Fissaggio del TPS-mobile Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Avvio e funzionamento del TPS-mobile Soft Start Arresto del TPS-mobile Arresto di emergenza Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 4 Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Anwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TPS-mobile Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 5 Contents Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-mobile Sanftanlauf Stoppen von Modell TPS-mobile Not-Aus Spezialeinheiten Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes Symboles d'avertissement Sécurité...
  • Seite 6 Contents Montage du TPS-mobile Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Démarrage et utilisation du TPS-mobile Démarrage progressif Arrêt du TPS-mobile Arrêt d’urgence Unités spéciales Entretien Durée de vie du rotor Nettoyage Élimination...
  • Seite 7 Montaje de la TPS-mobile Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-mobile Arranque suave (Soft Start) Parada del TPS-mobile Parada de emergencia Unidades especiales...
  • Seite 8 Contents 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TPS-mobile 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 TPS-mobile 的启动和运行 慢启动 停止 TPS-mobile 紧急停止 修改的标准 维护 转子寿命 清洁 处置 服务 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 9 Contents 取扱説明書 この説明書について 有効期 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 輸送と保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TPS-mobile 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け TPS-mobile コンパクトの起動と操作 ソフトスタート TPS-mobile コンパクトを停止する 非常停止 修正された標準 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 10 Installation Preparation for installation Set-up TPS-mobile Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Startup and Operation of the TPS-mobile Soft Start Stopping the TPS-mobile Emergency stop Modified Standard Maintenance Rotor life Cleaning...
  • Seite 11 Contents Technical Information Description of the TPS-mobile Turbopump Description Front Panel Electrical Devices Box 5 m TMP and Fan Cables Wheels Foreline Pumps Description Technical specification TPS-mobile Outline Inlet Screen Installation High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection Configurations...
  • Seite 12 Contents Examples Window Meanings Pumping System Component Info Troubleshooting Chart Accessories and Spare Parts Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    Preparazione per l’installazione Set-up Fissaggio del TPS-mobile Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Avvio e funzionamento del TPS-mobile Soft Start Arresto del TPS-mobile Arresto di emergenza Unità Speciali Manutenzione Vita del rotore...

  • Seite 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti del TPS-mobile, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Seite 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi del TPS-mobile. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
  • Seite 17 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Pericolo generico Certificazione CE Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Marcatura UK CA Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 18: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Seite 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio del TPS-mobile. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non ...

  • Seite 20: Attrezzatura Di Protezione

    • Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani. • Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. • Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 21: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni. Il dispositivo TPS-mobile non è idoneo all'uso in presenza di gas aggressivi, corrosivi o esplosivi.

  • Seite 22: Trasporto & Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Trasporto & Immagazzinamento Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa. durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non ...

  • Seite 23: Descrizione Del Prodotto

    È privo di agenti contaminanti e, quindi, è adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Il TPS-mobile ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.

  • Seite 24: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-mobile viene fornito in un imballo protettivo speciale; se sono presenti segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul TPS-mobile in seguito alla caduta del sistema.
  • Seite 25 Le differenze tra i diversi modelli del TPS-mobile riguardano solo le prestazioni del sistema, mentre il funzionamento e le procedure d’uso sono le medesime per tutti i TPS-mobile.

  • Seite 26: Set-Up

     TPS-mobile. umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli componenti del  TPS-mobile. In presenza di campi magnetici, il sistema deve essere protetto usando uno schermo per campi magnetici. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 27: Fissaggio Del Tps-Mobile

    Il TPS-mobile deve essere posizionato su una superficie piana. Fissare il TPS-mobile in una posizione stabile, montando la flangia di ingresso della turbopompa sulla controflangia del sistema, con una connessione in grado di...
  • Seite 28 Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le AVVERTENZA operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I AVVERTENZA cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 29 (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). Non utilizzare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi, AVVERTENZA tossici, infiammabili o radioattivi. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 30: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    Se la pompa viene fissata su una camera da vuoto con flange diverse AVVERTENZA da quelle consigliate da Agilent, esiste la possibilità che il TPS ruoti e si distacchi nel caso in cui il rotore si arresti improvvisamente. La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità...

  • Seite 31: Installazione Della Flangia Iso-K

    Stringere i bulloni con una coppia di 22 Nm. Per i modelli con Turbo-V 551 utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 10 per la flangia ISO 160  Stringere i bulloni con una coppia di 25 Nm. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 32: Installazione Della Flangia Conflat

    In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore. Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ATTENZIONE ammaccature sull'involucro della pompa turbomolecolare. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 33: Avvio E Funzionamento Del Tps-Mobile

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento del TPS-mobile Dopo aver disimballato il TPS-mobile, assicurarsi che il sistema non abbia  tracce di danneggiamenti dovuti al trasporto (parti critiche sono: flangia della pompa, staffe di fissaggio della pompa di Foreline, pannello frontale e ruote del sistema) mediante un’ispezione visiva.
  • Seite 34 Il sistema è equipaggiato con un interruttore principale (interruttore termico)  in grado di proteggere i componenti del sistema contro sovraccarichi o corto circuiti. Porre l’interruttore in posizione “1” per cominciare ad operare con il TPS-mobile. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 35 XGS-600 e il gauge IMG-100 entrambi opzionali, se questi sono collegati alla porta di connessione gauge posta nella parte posteriore del sistema. Porta gauge Porta seriale Figura 10 Collegamento del gauge Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 36 “ Selettore „Pumping“ Figura 11 Avvio del pompaggio I modelli 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTE 9698433 non sono equipaggiati con il selettore denominato “Pumping”; la stessa funzione è svolta dal pulsante “Start/Stop” posto sul controller. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 37: Soft Start

    (ad esempio il controller si spegne per mancanza rete o viene inviato un messaggio di STOP al controller), al successivo riavvio il controller riattiverà la rampa di Soft Start in modo automatico. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 38 Indicazioni display ad inzio Soft Start: il display indica STARTING e visualizza l’indicatore a barre; in modo alternato viene anche visualizzato il messaggio “SOFT START MODE”. Indicazioni display con Soft Start in progress: indicatore a barre evolve all’aumentare dei passi di velocità. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 39 AVVERTENZA di trovare l'insieme appropriato di istruzioni per attivare la modalità Soft Start (Remoto: Capitolo Informazioni tecniche - Collegamento del controller e significati delle finestre; A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 40: Arresto Del Tps-Mobile

    50° C. Arresto di emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-mobile occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF. Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L'uso AVVERTENZA di questa modalità...

  • Seite 41: Manutenzione

    (numero di cicli di rampa da arresto a piena velocità e ritorno a fine corsa) oppure contattare il servizio assistenza clienti per ulteriori informazioni. Pulizia La superficie esterna del TPS-mobile può essere pulita solo con un detergente delicato. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 42: Smaltimento

    Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. Figura 12 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 43: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 44: Betriebsanleitung

    Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TPS-mobile Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-mobile Sanftanlauf Stoppen von Modell TPS-mobile Not-Aus Spezialeinheiten Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service...

  • Seite 45: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der TPS-mobile mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Seite 46: Definitionen Und Terminologie

    Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein WARNUNG Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 47: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TPS-mobile angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Seite 48 Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte UK CA-Kennzeichnung Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 49: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Seite 50: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TPS-mobile ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als. Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial  Pumpen von ätzenden und oxidierenden Gasen ...

  • Seite 51: Schutzausrüstung

    Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem TPS-mobile und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen. Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung WARNUNG oder Installation.

  • Seite 52: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent. Das TPS-mobile ist nicht für den Einsatz in Umgebungen mit aggressiven, korrosiven oder explosiven Gasen bestimmt. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 53: Transport Und Lagerung

    Betriebsanleitung Transport und Lagerung Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen  dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten des...

  • Seite 54: Produktbeschreibung

    Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. Modell TPS-mobile ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe (TwisTorr 74 FS, Twistorr 305 FS, TwisTorr 305 FSQ, Turbo-V 551) für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht.

  • Seite 55: Installation

    Betriebsanleitung Installation Vorbereitung zum Einbau TPS-mobile wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den TPS-mobile, die durch Herunterfallen verursacht werden können.
  • Seite 56 Betriebsanleitung Normale Umwelteinflüsse können den TPS-mobile nicht beschädigen. Trotzdem ist es HINWEIS ratsam, es bis zum Einbau in das System in der Plastiktüte aufzubewahren, um jegliche Verschmutzung durch Staub zu vermeiden. Die in dieser Gebrauchsanleitung angegebenen Modelle unterliegen dem Angebot der Agilent-Pumpensymsteme TPS-mobile;...

  • Seite 57: Einrichten

    Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck  Temperatur: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten des TPS-mobile  Relative Luftfeuchtigkeit: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten ...

  • Seite 58: Montage Von Tps-Mobile

    TwisTorr 305 FS, kann die Pumpe auch dann eingeschaltet werden, wenn sie auf dem TPS-mobile installiert ist. Wenn das TPS-mobile mit Pumpen ausgestattet wird, die größer sind als die 305 FS, kann es nur für die Bewegung der Pumpe (ausgeschaltete Turbopumpe) verwendet werden.
  • Seite 59 Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße WARNUNG Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder WARNUNG ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 60 Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas VORSICHT (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Verwenden Sie das Pumpsystem nicht in der Nähe von explosiven, giftigen, WARNUNG brennbaren oder radioaktiven Gasen. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 61: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    Wenn die Pumpe an einer Vakuumkammer mit Flanschen befestigt ist, die WARNUNG von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der TPS-mobile dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen.

  • Seite 62: Installation Des Iso-K-Flansches

    Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 22 Nm an. Bei Modellen mit Turbo-V 551 die erforderliche Anzahl an Krallenklemmen verwenden: 10 für ISO 160 Flansch  Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 25 Nm an. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 63: Installation Des Conflat-Flansches

    Flansch herausragenden Schraubengewinde aufgetragen werden. In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden. Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Dellen VORSICHT am Turbomolekularpumpengehäuse zu vermeiden. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 64: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Tps-Mobile

    Betriebsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-mobile Nachdem das TPS-mobile ausgepackt wurde, mit dem Auge prüfen, ob das  System Beschädigungen aufgrund des Transports aufweist (die kritischen Teile sind: Pumpenflansch, Befestigungsbügel der Foreline-Pumpe, vorderes Abdeckung und die Räder des Systems). Die Eingangsspannung auf der Etikette Agilent am Gehäuse der Elektronik des ...
  • Seite 65 Dem System mittels Speisekabel die korrekte Spannung geben.  Das System ist mit einem Hauptschalter (Thermoschalter) ausgestattet, der die  Bestandteile des Systems gegen Überlastungen oder Kurzschlüsse schützt. Den Schalter auf die Position „1“ stellen, um mit dem TPS-mobile arbeiten zu können. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 66 Die Aktivierung des Systems (bei Turbo-V 551-Modellen) ermöglicht es dem Controller, die Druckdaten über den XGS-600-Controller und das IMG-100-Manometer abzulesen, beide optional, wenn diese an den Manometeranschluss an der Rückseite angeschlossen sind das System. Gauge Halter Serielle Tor Abbildung 22 Anschluss des Gauge Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 67 Turbopumpe und die Forelinepumpe. „Pumping Wahlschalter“ Abbildung 23 Pumpenstart Die Modelle 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, HINWEIS 9698433 sind nicht mit dem Wahlschalter “Pumping” ausgestattet; dieselbe Funktion wird durch den Druckknopf “Start/Stopp” am Controller ausgeführt. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 68: Sanftanlauf

    Sollte die Inbetriebnahme beim automatischen Softstart (Erster Anlauf) unterbrochen werden, bevor sie abgeschlossen ist (wenn das Steuergerät beispielsweise aufgrund eines Stromausfalls abgeschaltet oder eine STOP-Meldung an das Steuergerät gesendet wird), wird die Anlaufphase „Soft Start“ beim nächsten Neustart des Steuergeräts automatisch wieder aktiviert. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 69 Betriebsanleitung Displayanzeigen zu Softstart-Beginn: Auf dem Display erscheint STARTING sowie die Balkenanzeige; zusätzlich erscheint im Wechsel die Meldung „SOFT START MODE“. Displayanzeigen bei laufendem Soft Start: Die Balkenanzeige verändert sich mit zunehmenden Drehzahlstufen weiter. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 70 STOP durchgeführt werden. Informationen zum Aktivieren der Softstart-Modalität finden Sie in den WARNUNG entsprechenden Bedienungsanleitungen des Controllers. (Fern: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 71: Stoppen Von Modell Tps-Mobile

    Sie, bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die Oberflächentemperatur der Pumpe unter 50° C liegt. Not-Aus Zur Notstillsetzung des TPS-mobile ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden. Die Verwendung dieses WARNUNG Stoppmodus kann zu Fehlern und/oder Schäden an der Pumpe führen.

  • Seite 72: Wartung

    Betriebsanleitung Wartung TPS-mobile ist wartungsfrei (außer der Austausch des Tip-seal, bei den Ausführungen mit Scroll-Pumpen oder Öl auffüllen/-Wechsel für die Ausführungen mit Rotary Vane - Pumpen). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden. Bei Defekten kann der Agilent Service.

  • Seite 73: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 24 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 74: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 75: Mode D'emploi

    Préparation pour l’installation Configuration Montage du TPS-mobile Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Démarrage et utilisation du TPS-mobile Démarrage progressif Arrêt du TPS-mobile Arrêt d’urgence Unités spéciales Entretien Durée de vie du rotor Nettoyage Élimination...

  • Seite 76: À Propos De Ce Manuel

    À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs du TPS-mobile, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à l’utilisateur.

  • Seite 77: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’avertissement attirent l’attention de l’opérateur sur AVERTISSEMENT une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n’est pas effectuée correctement, peut entraîner de graves blessures. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 78: Symboles D'avertissement

    Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TPS-mobile. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
  • Seite 79 étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Marquage UK CA Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 80: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...

  • Seite 81: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TPS-mobile. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Seite 82: Équipements De Protection Individuelle

    En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation du TPS-mobile et pendant son installation. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.

  • Seite 83: Consignes De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires

    En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations. Le TPS-mobile n’a pas été conçu pour être utilisé en présence de gaz agressifs, corrosifs ou explosifs. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 84: Transport Et Entreposage

    Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la ATTENTION pompe doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. Faire très attention lors de la manutention de pièces lourdes.

  • Seite 85: Description Du Produit

    Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. Le TPS-mobile est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire (TwisTorr 74 FS, Twistorr 305 FS, TwisTorr 305 FSQ, Turbo-V 551) conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire.

  • Seite 86: Installation

    Éviter les impacts soudains sur le TPS-mobile qui seraient causés par la chute. Veiller à entretenir le carton d’emballage afin de le réutiliser en cas de stockage de longue durée ou d’expédition.
  • Seite 87 L’exposition normale à l’environnement ne peut pas endommager le NOTE TPS-mobile. Néanmoins, il est conseillé de garder le produit scellé dans son sac plastique jusqu’à ce qu’il soit installé dans le système, empêchant ainsi toute forme de pollution par la poussière.

  • Seite 88: Configuration

    : 2 bars au-delà de la pression atmosphérique  température : consulter les manuels des composants du TPS-mobile  humidité relative : consulter les manuels des composants du TPS-mobile  En présence de champs magnétiques, le système de pompage doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.

  • Seite 89: Montage Du Tps-Mobile

    égale à la TwisTorr 304 FS, la pompe peut être mise en marche même si elle est installée sur le TPS-mobile. Si le TPS-mobile est équipé d’une pompe de dimension supérieure à la 304 FS, le TPS-mobile ne peut être utilisé que pour le déplacement de la pompe (turbopompe à...
  • Seite 90 La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en AVERTISSEMENT marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 91 (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique). Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs, AVERTISSEMENT toxiques, inflammables ou radioactifs. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 92: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    AVERTISSEMENT brides différentes de celles recommandées par Agilent, le TPS-mobile risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d’une mauvaise fixation.

  • Seite 93: Installation De La Bride Iso-K

    Serrez les boulons au couple de 22 Nm. Pour les modèles avec Turbo-V 551, utilisez le nombre requis de brides de serrage : 10 pour la bride ISO 160  Serrez les boulons au couple de 25 Nm. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 94: Installation De La Bride Conflat

    Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur. Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter ATTENTION de créer des bosselures sur le boitier de la pompe turbomoléculaire. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 95: Démarrage Et Utilisation Du Tps-Mobile

    Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TPS-mobile Après avoir déballé le TPS-mobile, vérifiez visuellement que le système n’a pas  subi de dégâts pendant le transport (les parties critiques sont : la bride de la pompe, les pattes de fixation de la pompe primaire (foreline), façade avant et roues du système).
  • Seite 96 Alimenter la machine à la tension prescrite à l’aide du câble d’alimentation.  Le système est doté d’un interrupteur principal (à disjoncteur thermique)  destiné à protéger les composants électriques contre les surcharges ou les court-circuit. Placez l’interrupteur en position “1” pour commencer à utiliser le TPS-mobile. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 97 à lire la valeur de pression avec le contrôleur XGS-600 et le manomètre IMG-100 tous deux en option, s'ils sont connectés au port de connexion du manomètre à l'arrière du le système. Port manomètre Port série Figure 34 Branchement du manomètre Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 98 Sélecteur “Pumping” Figure 35 Demarrage du pompage Les modèles 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTE 9698433 ne sont pas dotés du sélecteur “Pumping”; cette fonction est assurée par le bouton “Start/stop” situé sur le contrôleur. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 99: Démarrage Progressif

    (par exemple le contrôleur s’arrête suite à une défaillance du réseau ou un message STOP est envoyé au contrôleur), le contrôleur réactivera automatiquement la rampe de démarrage progressif lors du prochain redémarrage. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 100 STARTING avec l’indicateur à barres et le message « SOFT START MODE ». Écran d’indication quand Soft Start est en cours : l’indicateur à barres évolue au fur et à mesure que les paliers de vitesse augmentent. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 101 (À distance : Chapitre Informations techniques – Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques – Interconnexions et significations des fenêtres). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 102: Arrêt Du Tps-Mobile

    Une utilisation inappropriée de ce mode d’arrêt pourrait annuler la garantie. Unités spéciales La plateforme TPS-mobile peut être personnalisée en fonction des exigences en obtenant des numéros de modèle spécifiques. Agilent a prévu de nombreuses configurations reportées dans la section «...

  • Seite 103: Entretien

    Agilent recommande de la remettre en service après 17 ans d’utilisation pour l’entretien ou contactez le service client Agilent pour plus d'informations. Nettoyage La surface extérieure du TPS-mobile ne peut être nettoyée qu’avec un détergent doux. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 104: Élimination

    Figure 36 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 105: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 106: Instrucciones De Uso

    Montaje de la TPS-mobile Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-mobile Arranque suave (Soft Start) Parada del TPS-mobile Parada de emergencia Unidades especiales...

  • Seite 107: Acerca Del Manual

    Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba TPS-mobile, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Seite 108: Definiciones Y Terminología

    Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 109: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba TPS-mobile. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Seite 110 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Peligro genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca UK CA Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 111: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Seite 112: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto del TPS-mobile. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ...

  • Seite 113: Equipo De Protección

    Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo. En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba TPS-mobile. Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas ADVERTENCIA durante el mantenimiento o la instalación.

  • Seite 114: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    En caso de que surja la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información. El dispositivo TPS-mobile no es adecuado al uso en presencia de gases agresivos, corrosivos o explosivos. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 115: Transporte Y Almacenamiento

    Instrucciones de uso Transporte y almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación. durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no ...

  • Seite 116: Descripción Del Producto

    Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. El TPS-mobile es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular (TwisTorr 74 FS, Twistorr 305 FS, TwisTorr 305 FSQ, Turbo-V 551) para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria.

  • Seite 117: Instalación

    Instrucciones de uso Instalación Preparación para instalación El TPS-mobile se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos al TPS-mobile que podrían ser causados al dejarla caer.
  • Seite 118 Instrucciones de uso La exposición normal al ambiente no puede dañar el TPS-mobile. Sin embargo, es NOTA aconsejable mantenerla sellada en su bolsa de plástico hasta que esté instalada en el sistema, evitando así cualquier forma de contaminación por polvo.

  • Seite 119: Puesta En Marcha

    Durante el funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica  temperatura: consultar los manuales de cada componente del TPS-mobile  humedad relativa: consultar los manuales de cada componente del ...

  • Seite 120: Montaje De La Tps-Mobile

    El TPS-mobile se debe colocar sobre una superficie plana. Fije la TPS-mobile en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión de:...
  • Seite 121 La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando ADVERTENCIA está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas o a las cosas. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 122 (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica). No utilice el sistema de bombeo en presencia de gases explosivos, ADVERTENCIA tóxicos, inflamables o radiactivos. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 123: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Si la bomba está fijada a una cámara de vacío con bridas diferentes a ADVERTENCIA las recomendadas por Agilent, es posible que el TPS-mobile se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará...

  • Seite 124: Instalación De La Brida Iso-K

    Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm. Para modelos con Turbo-V 551, utilice el número de pinzas de garra requerido: 10 para brida ISO 160  Ajustar los tornillos con un par de 25 Nm. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 125: Instalación De La Brida Conflat

    En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior. Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la PRECAUCIÓN carcasa de la bomba turbomolecular Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 126: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Tps-Mobile

    Controlar la tensión de entrada presente en la etiqueta Agilent fijada al chasis  de la unidad electrónica del sistema.
  • Seite 127 El sistema está equipado con un Interruptor Principal (interruptor térmico)  capaz de proteger los componentes del sistema contra sobrecargas o cortocircuitos. Colocar el interruptor en la posición “1” para comenzar a operar con el TPS-mobile. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 128 XGS-600 y el manómetro IMG-100, ambos opcionales, si están conectados al puerto de conexión del manómetro ubicado en la parte posterior del el sistema. Puerto del gauge Puerto serial Figura 46 Conexión del gauge Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 129 Figura 47 Puesta en marcha del bombeo Los modelos 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432 NOTA y 9698433 no están equipados con el selector denominado “Pumping”; la misma función es llevada a cabo por el pulsador "Start/Stop" ubicado en el controlador. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 130: Arranque Suave (Soft Start)

    STOP), en el siguiente reinicio el controlador reactivará la rampa de Soft Start de forma automática. Indicaciones de la pantalla a inicio del modo Soft Start: la pantalla indica STARTING y muestra el indicador de barra, alternándose al mensaje “SOFT START MODE”. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 131 Instrucciones de uso Indicaciones de visualización con Soft Start en curso: el indicador de barra evoluciona a medida que Aumentan los pasos de velocidad. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 132 Consulte los manuales de instrucción correspondientes del controlador ADVERTENCIA para encontrar las instrucciones adecuadas para activar el modo de arranque suave (Remote: Chapter Technical Information – Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 133: Parada Del Tps-Mobile

    50ºC. Parada de emergencia Para parar el TPS-mobile en condiciones de emergencia se puede desconectar el cable de alimentación de la toma de la red; esto apagará la bomba y el controlador. Este modo debe ser utilizada solo en caso de emergencia. El uso de ADVERTENCIA este modo de parada podría llevar a fallos y/o daños en la bomba.

  • Seite 134: Mantenimiento

    17 años de uso para mantenimiento o póngase en contacto con el servicio de atención al cliente de Agilent para obtener más información. Limpieza La superficie exterior de la superficie exterior del TPS-mobile puede ser limpiada con detergente suave solamente puede ser limpiada con detergente suave solamente. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 135: Eliminación

    Se invita al usuario final a comunicarse con el proveedor del dispositivo, ya sea directamente con la Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 48 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 136: Servicio

    Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 137: 使用说明

    使用说明 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TPS-mobile 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 TPS-mobile 的启动和运行 慢启动 停止 TPS-mobile 紧急停止 修改的标准 维护 转子寿命 清洁 处置 服务 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 138: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 TPS-mobile用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意事 项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 TPS-mobile 的人员可以安全操作，在设 备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 139: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 140: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 TPS-mobile 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危 险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 欧洲符合性声明 请勿触摸 保护接地端子 表示危险电压 表面较热 一般危险 电源关闭 电源开启 生产现场 有害物质认证限制 UK CA 打標 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 141 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。. 一般危险 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 UK CA 打標 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 142: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 143: 使用不当

    (Agilent Technologies)不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装泵  泵送氧化性、腐蚀性气体，但没有适当的废液排空  泵送爆炸气体  泵送冷凝蒸汽  泵送液体  泵送粉尘  气体产量过高的情况下作业  前真空压力过高的情况下作业  使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作  高热输入运行  磁场过高的情况下作业  使用过高的通⻛速率进行通⻛  使用真空泵来产生压力  在电离辐射区域运行设备  在潜在爆炸区作业  明知系统会受其影响，依然在应力和振动导致周期性重复出现冲击和力作用的  环境中使用系统. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 144: 防护设备

    使用说明 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作TPS-mobile时和安装过程中必须穿防事故鞋。 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 145: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有 特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置 （見段落“ConFlat 法兰的安装” “ISO-K 法兰的安装”）。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说 警告 明！ 当使用泵抽吸有毒、易燃或放射性气体时，请遵循每种气体处理所需的程 警告 序。该泵旨在泵送高吞吐量的 N2 Ar 和较轻的气体. 如果您需要泵送比氩气 Ar 重的气体，请联系安捷伦技术支持以获取信息。 TPS-mobile 不适用于存在侵略性、腐蚀性或爆炸性气体的环境. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 146: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷 凝的情况. 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件:  温度范围：参考单个TPS-mobile组件手册  相对湿度范围：参考单个TPS-mobile组件手册  涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动.  涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动.  如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷伦真空销 小心 售和服务代表以了解相关信息。 处理重部件时要格外小心。建议两人一起将其抬起。 警告 如果未在两人一起抬起的情况下进行操作，可能会导致人身伤害。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 147: 产品描述

    使用说明 产品描述 TPS-mobile 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够泵送任何类型 的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 TPS-mobile是一个带有涡轮分子泵的集成系统 (TwisTorr 74 FS, Twistorr 305 FS, TwisTorr 305 FSQ, Turbo-V 551) 用于相关控制器和主泵的高真空和超高真空应用。 该系统可以泵送任何类型的气体或气体化合物。不适用于泵送液体或固体颗粒. 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 70000 rpm）获得。它不含污染 剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 TPS-mobile配备辅助连接器来控制排气阀，通过串行线连接的主机从远程站点进行 控制. 详细信息可参考"技术信息"章节。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 148: 安装准备

    使用说明 安装 安装准备 TPS-mobile 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹象， 请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 TPS-mobile造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以便在存放时间过⻓ 或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令 94/62号和随后颁布的修正案。. 图 49 为防止出现脱气问题，请勿赤手操作 会暴露在真空中的组件。始终使用手套或 其 小心 他适当的保护措施. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 149 使用说明 正常暴露于环境中不会损坏 TPS-mobile。不过，还是建议将其密封在塑料袋中， 注意 直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 本用户手册中报告的型号基于名为 TPS-mobile 的安捷伦泵系统平台，不同零件号 （PN）引入的差异与特定系统中集成的涡轮分子泵 (TMP) 和前级泵以及适用于系 统的主电压有关。 不同 TPS-mobile 的零件号（PN）之间的差异仅影响系统性能，每个 TPS-mobile 的 操作和使用程序都是相同的。 除了特定的涡轮分子泵 (TMP)、前级泵或主电压外，报告的信息适用于整个平台 （所有 零件号（PN）） Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 150 使用说明 设置 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心 图 50 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气 体或爆炸性环境或高火灾⻛险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大压力：高于大气压 2 bar  温度：参考单个TPS-mobile组件手册  湿度范围：参考单个TPS-mobile组件手册.  在存在磁场的情况下，必须使用 铁磁屏蔽来保护泵送系统. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 151: Tps-Mobile 的安装

    8600 Nm (Turbo-V 551) 的扭矩。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 如果 TPS-mobile 配备了比 TwisTorr 305 FS 更小或相同尺寸的涡轮分子泵，即使安 装在 TPS-mobile 上，也可以打开泵。 如果 TPS-mobile 配备尺寸大于 305 FS 的 泵，则它只能用于启用在激活 TPS-mobile 之前必须通过其入口法兰安装在客户系 统中的泵（涡轮泵关闭。 在启动泵之前，检查旋片泵的油位。 小心 配備大於 305 FS 泵的 TPS-mobile 不能通過其底座固定，也不能通過其他非入口...
  • Seite 152 使用说明 警告 系统必须以能够轻松中断线路电压的方式进行安装 确保系统周围至少有 20 厘米的自由空间，以允许适当的空气流通. 小心 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 153 使用说明 有关可选附件的安装，请参见“技术信息”章节。 本段详细介绍了基本操作程序。 在使用系统之前，进行所有电气和气动连接。在加热真空室时，入口法兰的温度不 得超过 120°C（使用 ConFlat 法兰）和 80°C（使用 ISO 法兰） 警告 当涡轮进气法兰未连接到真空室或未封闭时，切勿使用泵系统。 警告 请勿在加热过程中接触涡轮分子泵或其任何附件。高温可能会导致灼伤 警告 避免泵在运行时受到冲击或发生剧烈运动。轴承可能会损坏，并可能对人体或物 品造成损害. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 154 使用说明 警告 對於配備尺寸小於或等於 Twistorr 305 FS 的渦輪分子泵的型號， 在启动泵之前一定要锁住系统的轮子，以避免意外移动 以免意外移動。 图 51 未锁住的轮子 图 52 锁住的轮子 使用不含灰尘、颗粒或湿气的惰性气体（如氮气）为泵排气。排气口的压力必须 小心 小于 2 bar（高于大气压） 警告 不要在存在爆炸性、有毒、易燃或放射性氣體的情況下使用泵系統。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 155: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。. 必须以承受“TPS-mobile 的安”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要 警告 注意夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然停止 警告 时，TPS-mobile 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组合 使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 156: Iso-K 法兰的安装

    對於帶有 TwisTorr 74 FS、TwisTorr 305 FS 和 TwisTorr 305 FSQ 的型號，使用所 需数量的夹钳： 4 表示 ISO 63 法兰  4 表示 ISO 100 法兰  4 表示 ISO 160 法兰  用22 Nm的扭矩拧紧螺栓 對於帶有 Turbo-V 551 的型號，使用所需数量的夹钳： 10 表示 ISO 160 法兰  用25 Nm的扭矩拧紧螺栓 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 157: Conflat 法兰的安装

    使用说明 ConFlat 法兰的安装 对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使用保护屏）。 图 54 使用所需数量的螺钉： 16 表示CFF 6”  25 表示 CFF 8”  连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉。 对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。 为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上以 及螺母与法兰之间的螺纹上。 在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。 擰緊螺母和螺栓時要小心，以免在渦輪分子泵殼上產生凹痕。 小心 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 158: Tps-Mobile 的启动和运行

    使用说明 TPS-mobile 的启动和运行 打开TPS-mobile包装后，对系统进行简要的目视分析，以确保不存在因运输而  造成的损坏迹象（关键部件有：涡轮分子泵 (TMP)法兰、前级泵紧固支架、系 统前面板和系统轮）。 检查贴在系统电子单元外壳的安捷伦标签上的系统电压。  TwisTorr 305 FS 和 TwisTorr 305 FSQ 泵的初始启动将处于“软启动”模式； 警告 有关此模式的详细信息，请参阅专用部分。 零件号 (PN) 序列号(SN) 电气数据 图 55 如果您的电源供应商提供的电压与系统电压兼容，您可以将提供的电源线连接  到系统背面的 IEC320 电源插座（见图）。 插座配有固定弹簧，可避免电源线 插头意外断开 - 使用弹簧固定电源线插头。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 159 使用说明 保持弹簧 电源线插头 图 56 连接到主开关 注意 已为 PN 9698433 随附集成电源线，因此您无需执行此步骤。 通过电源线为系统提供正确的电压.  该系统配备了一个主开关（断路器），能够保护系统组件免受过载或短路的影  响。 将断路器的开关移至位置“1”以开始使用 TPS-mobile 进行操作. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 160 图 57 系统激活 通过主开关激活系统为涡轮分子泵（TMP） 控制器提供电压，但涡轮分子泵  （TMP） 和前级泵继续保持关闭状态. 系統激活（使用 TwisTorr 74 FS、TwisTorr 305 FS 和 TwisTorr 305 FSQ 型 號）允許 TMP 控制器開始通過可選的壓力表 FRG-700 讀取壓力數據，前提是 它連接到儀表背面的壓力表連接端口系統 系統的激活（Turbo-V 551 型號）允許控制器開始通過 XGS-600 控制器和 IMG-100 壓力表讀取壓力數據，如果它們連接到後面的壓力表連接端口系統。 仪表端口 串行端口 图 58 仪表连接 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 161 使用说明 可以通过名为“泵送（Pumping）”的选择器开始泵送。 只要将泵选择器移至  位置“1”，涡轮分子泵（TMP）和前级泵就会开启. 泵送（Pumping）”选择器 图 59 开始泵送 PN 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, 9698433 注意 未配备名为“泵送（Pumping）”的选择器，相同的功能由涡轮分子泵（TMP） 控制器的启动/停止按钮提供。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 162: 慢启动

    警告 动设置（并且不能由用户停用）被称为“软启动”的渐进式泵启动斜坡 （泵被驱动旋转以获得连续的速度步进）。 成功完成软启动后，后续启动将按照正常模式进行，然后是连续爬升的斜 坡（不再是阶梯式）。 如果将新泵与使用过的控制单元一起使用，请记住手动设置慢启动模式。 与标准启动相比，慢启动模式需要更⻓的时间;用户必须等待泵完全达到转 速，然后才能停止泵。 第一次启动后，控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵。 注意 当软启动模式处于活动状态时（首次启动时由控制器自动启动和用户手动启 动），控制器会在显示屏上给出指示: “软启动模式”消息 • • 个随着速度步长的变化而变化的条形指示器。 条形指示器会显示在显示屏的右上角（参考箭头 A），此外还有其他已存在的消息 也一样。 “软启动模式”的信息与其他信息（参考箭头 B）会交替显示在显示屏上，并持续 显示约 3 秒钟。 当控制器显示屏不再显示条形指示器或"启动中 (STARTING)"的 消息与”软启动模 式”的消息交替显示，而当仅显示“正常”的消息时，则软启动（SOFT START） 已成功完成。 在自动软启动（第一次启动）期间，如果这在完成之前被中断（例如控制器由于网 络故障而关闭或向控制器发送“停止 (STOP) 的 消息），则在下一次重启时，控制 器将自动重新激活软启动斜坡。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 163 使用说明 软启动开始时的显示屏指示：显示器交替地通过条形指示器和“软启动模式”的消 息来指示正在启动。 正在进行软启动时显示屏指示：条形指示器随着速度步长的增加而变化。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 164 使用说明 软启动完成时的显示屏指示：”软启动模式“的消息不再出现在显示器上，条形指 示器也一样，”启动中“的消息被“正常”消息取代。 长时间不活动（60 天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂， 注意 有必要通过慢启动模式再次启动泵。 如有必要，可以使用前面板菜单（“自动软启动” 功能）或通过串行命令（输入 WIN190 = 1）重新激活泵的自动软启动功能。 通过这种方式，涡轮泵仅在第一次启 动时，才会执行首次启动时进行的渐进式泵启动。 只有在“停止（STOP）”条件下才能重新激活自动软启动功能。 请参阅控制器的相关说明手册，以找到激活"慢启动"模式的适当说明集（远 警告 程：技术信息-控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含 义的章节）。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 165: 停止 Tps-Mobile

    使用说明 停止 TPS-mobile 您可以通过使用“泵送（Pumping）”选择器（将其移动到位置“0”）来关闭  泵——涡轮分子泵（TMP）控制器将保持开启状态，如果仪表连接到系统，即使 泵关闭，也可以继续读取压力 另一种关闭泵的模式是使用主开关（将其移至位置“0”）——系统将完全关闭，  无法进行读取或操作. 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，在转子 警告 完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 紧急停止 如要在紧急情况下立即停止TPS-mobile，必须从电源插头上拔下电源线或将外部开 关移至OFF位置。 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/或损 警告 坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 修改的标准 TPS-mobile 平台适合根据各种不同的需求进行定制，因此特殊的 TPS-mobile 零件 号（PN) 也同样可用。 安捷伦为许多不同的配置提供支持，可在本手册的可订购部件章节找到相关说明。 不过，如果您难以找到符合您需求的零件号（PN)，请联系您的销售代表. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 166: 转子寿命

    使用说明 维护 对于配备涡旋泵的版本，TPS-mobile 不需要任何维护（除了更换尖端密封件），而 对于带有旋片泵的版本，其则不需要注油/换油。 如果出现故障，请联系您当地的安捷伦服务中心. 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置. 转子寿命 渦輪分子泵轉子的抗疲勞性在很大程度上取決於泵的尺寸。有關正確值（從停止到 全速再到停止的加速循環數），請參閱特定的泵手冊。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年 后退回泵以进行维护 或聯繫 Agilent 客戶服務以獲取更多信息。 清洁 TPS-mobile的外表面只能用温和的清洁剂清洁. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 167 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 60 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 168 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 169: 取扱説明書

    取扱説明書 取扱説明書 この説明書について 有効期 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 輸送と保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TPS-mobile 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け TPS-mobile コンパクトの起動と操作 ソフトスタート TPS-mobile コンパクトを停止する 非常停止 修正された標準 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 170: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、TPS-mobile の使用方法をユ ーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認ください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 TPS-mobile を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命中 注 に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 171: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能 注意 性を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害 警告 につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示 しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を 注 提供しています。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 172: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、TPS-mobile上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説 明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： CE適合宣言書 保護接地端子 触らないでください 危険な電圧 高温の表面 包括的な危険 製造所 電源オフ 電源オン EU RoHS指令認証 UK CAマーキング Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 173 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。. 包括的な危険 CE認証 CSA 認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 UK CAマーキング Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 174: 安全性

    取扱説明書 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監 督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みま す。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 175: 不適切な使用

    不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切 な使用は下記の通り定義されます： 不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け  適切な廃棄フローの排出なしに、酸化性ガス、腐食性ガスを汲み上げること.  爆発性のガスをポンプすること  凝縮した蒸気をポンプすること  液体をポンプすること  粉末をポンプすること  不適切な高ガス量での操作  不適切な高圧補助真空での操作  実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操作  高レベルの入熱での操作  不適切な高い磁界での操作  不敵な高い通気率での通気  圧力を生じさせるための真空ポンプの使用  電離放射線の範囲内での機器の操作  潜在的に爆発性がある範囲での操作  圧力と振動が、システムに影響を与える定期的に繰り返される衝撃と力につ  ながる環境でシステムを使用すること.  Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 176: 保護用装備

    取扱説明書 保護用装備 ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、 実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。 更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従う ものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は TPS-mobile を操作している時や取り付けの時に事故防止の 靴を着用しなくてはなりません。 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 警告 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 装置の落下による損傷のリスク。 警告 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ ればなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 177: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定 の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて いるどの部分へも放出されています （セクションを参照 “ConFlatフランジの取り 付け” と “SO-K フランジの取り付け”。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された 警告 取り付けの指示に厳密に従ってください！ 有毒ガス、可燃性ガス、または放射性ガスをポンプするためにポンプを使 警告 用する場合は、各ガス処理に必要な手順に従ってください。ポンプは、 N2 Ar とより軽いガスの高スループットをポンプするように設計されてい ます. Ar より重いガスをポンプする必要がある場合は、詳細情報に関して Agilent の技術サポートへお問い合わせください. TPS-mobile コンパクトは、侵襲性、腐食性、または爆発性のガスが存在 する環境での使用を想定していません。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 178: 輸送と保管

    取扱説明書 輸送と保管 アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮 を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過してはいけません：  温度範囲： 単一TPS-mobileコンポーネントのマニュアルを参照してくだ  さい 相対湿度範囲：単一TPS-mobileコンポーネントのマニュアルを参照して  ください お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ分子ポンプ  は常にゆっくりと開始されなければなりません. ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは常にゆっく  りと開始されなければなりません. もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場へ返送さ 注意 れなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報を お問い合わせください。 重い部品の取り扱いには細心の注意を払ってください。 持ち上げる場合 警告 は、2 人で行うことを推奨します。 2 人で持ち上げない場合、怪我をする可能性があります。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 179: 製品説明

    取扱説明書 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TPS-mobileは、ターボ分子ポンプを備えた統合システムです（TwisTorr 74 FS、 Twistorr 305 FS、TwisTorr 305 FSQ）関連するコントローラーとプライマリポンプ に関連する高真空および超高真空アプリケーション用。このシステムは、あらゆる タイプのガスまたはガス化合物をポンプで送ることができます。液体や固体粒子の ポンピングには適していません。 ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大70000 rpm） により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 180: 取り付け

    取扱説明書 取り付け 取り付けの準備 TPS-mobileは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこれに輸送中に 発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお問い合わせく ださい。 落下等によるTPS-mobileへの突然の衝撃は避けてください。長期間の保存または 輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意ください。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は100% リサイ クルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。. 图 61 ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取り扱わな 注意 いでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。ガス放出 の問題を防ぐために、真空にさらされるコンポーネントを素手で取り扱わない でください。 常に手袋やその他の適切な保護具を使用してください. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 181 取扱説明書 通常環境への露出は、TPS-mobile を損傷しません。しかしながら、ちり・ホコリ 注 によるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるまでビニールの 袋に密閉して保管することが推奨されます。 このユーザーマニュアルで報告されているモデルは、TPS-mobile ルという名称の Agilentポンプシステムのプラットフォームに基づいています。異なるPNで導入さ れる違いは、特定のシステムに統合されたTMPとフォアポンプ、およびシステム に適用可能な主要な電圧に関連しています。 異なるTPS-mobile ル PNの違いは、システムの性能や操作にのみ影響し、使用手 順はすべてのTPS-mobile ルで同じです。 報告される情報は、特定のTMP、フォアポンプ、または主要な電圧を除くプラッ トフォーム全体（すべてのPN）に適用されます Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 182: セットアップ

    取扱説明書 セットアップ システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保護キャッ 注意 プを取り外さないでください。 图 62 この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、 雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性があ る環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください. 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません： 最大圧力： 大気圧より2バール上  温度： 単一TPS-mobileコンポーネントのマニュアルを参照してください  相対湿度：単一TPS-mobileコンポーネントのマニュアルを参照してください  磁場が存在する環境下では、 ポンプシステムは強磁性シールドを使用して保護す る必要があります. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 183: Tps-Mobile 実装

    250 Nm（ツイスター74） 1000 Nm（Twistorr 305 FS, Twistorr 305 FSQ） 8600 Nm（Turbo-V 551） その軸の周り ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。 TPS-mobileルにTwisTorr305 FSと同じサイズまたはより小さいサイズのターボ分 子ポンプが装備されている場合は、TPS-mobileルに取り付けられていてもポンプ をオンにすることができます。TPS-mobileルに305 FSより大きいサイズのポンプ が装備されている場合、TPS-mobileルを起動する前に、お客様のシステムのイン レットフランジより取り付ける必要があるポンプ（ターボポンプオフ）を有効に するためにのみ使用できます. ポンプを始動する前に、ロータリーベーンポンプのオイルレベルを確認してく 注意 ださい。 305 FS を超えるポンプを備えた TPS モバイルは、ベースやインレットではな 注意 い他のフランジを介して固定することはできません。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 184 取扱説明書 警告 システムは、線間電圧を簡単に遮断できるように設置する必要があります. 適切な空気の循環を可能にするために、ポンプの周囲に最低 20cm の空きスペ 注意 ースを確保してください。 オプションの付属品の取り付けについては、「技術情報」を参照してください。 この段落では、基本的な操作手順について詳しく説明します。 システムを使用する前には、すべての電気空気圧接続を行ってください。真空チ ャンバーを加熱している間、インレットフランジの温度は、ConFlatフランジで 120 °C、ISOフランジで80 °Cを超えてはいけません。 ターボインレットフランジが真空チャンバーに接続されていないか、また 警告 は空になっていない場合は、ポンプシステムを使用しないでください。 加熱プロセス中は、ターボポンプまたはその付属品に触れないでくださ 警告 い。 高温により火傷する可能性があります。 操作中のポンプは、衝撃や激しい動きを避けてください。 ベアリングが破 警告 損したり、人への損傷や物が破損したりする可能性があります。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 185 取扱説明書 Twistorr 305 FS 以下のサイズのターボ分子ポンプを搭載したモデルの場合, 警告 偶発的な動きを避けるために、ポンプを作動させる前に必ずシステムのホ イールをブロックしてください。 图 63 ロックされていないホイール 图 64 ロックされたホイール ポンプに放出するには、ほこり、粒子、または湿気（窒素など）のない不活性 注意 ガスを使用してください。ベントポートの圧力は 2 バール未満（大気圧以上） でなければいけません. 爆発性、有毒、可燃性、または放射性ガスの存在下でポンプシステムを使 警告 用しないでください。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 186: 高真空フランジの接続

    取扱説明書 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを 留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません. “TPS-mobile 実装”のセクションで指定されたトルクに耐えられるように 警告 ポンプを接続する必要があります。特にクランプの設計、クランプとボル トの材質、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空チェ 警告 ンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に TPS-mobile がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフ ランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切な締 め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いません。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 187: Iso-K フランジの取り付け

    TwisTorr 74 FS、TwisTorr 305 FS、およびTwisTorr 305 FSQを搭載したモデルの 場合, 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 63 フランジ – 4個  ISO 100 フランジ – 4個  ISO 160 フランジ – 4個  22 Nmのトルクでボルトを締めます。 Turbo-V 551 を搭載したモデルの場合, 必要な個数のクロウクランプを使用してく ださい： ISO 160 フランジ – 10個  25 Nmのトルクでボルトを締めます。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 188: Conflat フランジの取り付け

    取扱説明書 ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの接続には、 下記の図に示される通り、2つのフランジをネジで固 定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。 图 66 必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個  CFF 8” – 25個  ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合うまで引き続き 締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締めます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨 します。 組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温潤滑剤をフ ランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間へ注入できます。 場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。 ターボ分子ポンプのケーシングにへこみが生じないように、ナットとボルトを 注意 締めるときは注意してください。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 189: Tps-Mobile コンパクトの起動と操作

    取扱説明書 TPS-mobile コンパクトの起動と操作 TPS-mobileルの梱包を開封した後、システムを簡単に視覚的にチェックし、  輸送による損傷がないことを確認します（重要な部品は、TMPフランジ、フ ォアポンプ固定ブラケット、システムフロントパネル、およびシステムホイ ールです）。 システム電子ユニットのケースに貼られているAgilentラベルのシステム電圧  を確認します。 TwisTorr 305FS および TwisTorr305FSQ ポンプの最初の起動は「ソフトス 警告 タート」モードになります。このモードの詳細については、専用セクショ ンを参照してください。 部品番号 (PN) シリアル番号 (SN) 電気データ 图 67 電気供給業者より提供される電圧がシステム電圧と互換性がある場合は、提  供された電源コードをシステムの背面にあるIEC320電気ソケットに接続でき ます（図を参照）。ソケットには、電源コードプラグが誤って外れるのを防 ぐための維持スプリングが付いています。スプリングを使用して電源コード プラグを固定します. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 190 取扱説明書 維持スプリング 電源コードプラグ 图 68 本線への接続 PN 9698433 にはすでに統合電源コードを備えているため、この手順を実行する 注 必要はありません。 電源コードよりシステムへ正しい電圧を供給します。  システムには、過負荷や短絡(ショート)からシステムコンポーネントを保護で  きる主要スイッチ（回路ブレーカー）が装備されています。 ブレーカースイ ッチを「1」の位置へ動かし、TPS-モバイルでの操作を開始します. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 191 取扱説明書 主要スイッチ (過電流保護付き n) 图 69 システムのアクティベーション 主要スイッチによるシステムのアクティベーションは、TMPコントローラーに電  圧を供給しますが、TMPとフォアラインポンプの両方は引き続きオフの状態です. システムアクティベーション（モデルTwisTorr 74 FS、TwisTorr 305 FS、お よびTwisTorr 305 FSQを使用）により、TMPコントローラーは、オプション のゲージFRG-700の背面にあるゲージ接続ポートに接続されている場合、圧 力データの読み取りを開始できます。システム。 システムのアクティブ化（Turbo-V 551モデルを使用）により、コントローラ ーは、XGS-600コントローラーとIMG-100ゲージの両方がオプションで、後部 のゲージ接続ポートに接続されている場合、これらを介して圧力データの読 み取りを開始できます。システム。 ゲージポート シリアルポート 图 70 ゲージ接続 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 192 取扱説明書 「ポンピング」という名称のセレクターを使用して、ポンピングを開始する  ことができます。 ポンピングセレクターが「1」の位置に移動するとすぐ に、TMPとフォアラインポンプがオンになります。 “ポンピング” セレクター 图 71 ポンピングの始動 PN 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, 9698433 注 には、「ポンピング」という名称のセレクターが装備されていません。同じ機 能は、TMP コントローラーの押しボタン開始 / 停止により提供されます。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 193: ソフトスタート

    ソフトスタート ターボポンプベアリングの適正な潤滑を確保するために、取り付け後の 警告 最初の始動時に、コントローラーは「ソフトスタート」(ポンプは連続し た段階速度で回転駆動します）と呼ばれる段階的なポンプブートのラン プを自動的に設定します（ユーザーが非アクティブにすることはできま せん）。ソフトスタートが正常に完了すると、後続のスタートは通常モ ードに従って行われ、その後、継続的な上昇のランプが続きます（段階 的ではなくなります）。 使用済みのコントロールユニットで新しいポンプを使用する場合には、 手動でソフトスタートモードを設定することを忘れないでください。 ソフトスタートモードは、標準の起動開始よりも時間がかかります；使 用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなけ ればなりません。 初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタ ートモードにはなりません。 ソフトスタートモードがアクティブな場合（最初の起動時にコントローラーに 注 よって自動的に開始された場合と、ユーザーにより手動でアクティブにされた 場合の両方）、コントローラーはディスプレイに以下が表示されます: • ソフトスタートモード」のメッセージ 速度ステップの進行に応じて進化するバーインジケーター • バーインジケータは、ディスプレイの右上隅に表示され（矢印Aを参照）、同じ場 所にすでに存在する他のメッセージに加えて同時に表示されます。 「ソフトスタートモード」というメッセージは、他のメッセージと交互にディスプ レイに表示され（矢印Bを参照）、約3秒間永続的に表示されたままになります。 コントローラーディスプレイにバーインジケータが表示されない、または「始動 中」メッセージと「ソフトスタートモード」のメッセージが交互に表示されなくな り、「正常」のメッセージのみが表示された場合、「ソフトスタート」は正常に完 了しています。 自動ソフトスタート中に（最初の始動時）、これが完了する前に中断する必要があ る場合（たとえば、ネットワーク障害のためにコントローラーがシャットダウンし たり、コントローラーに「停止」のメッセージが送信された場合）、次回の再始動 時にコントローラーはソフトスタートランプを自動的に再アクティブ化します。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 194 取扱説明書 ソフトスタート開始時のディスプレイ表示：ディスプレイには、バーインジケー タで「始動中」と「ソフトスタートモード」というメッセージが交互に表示され ます。 ソフトスタートが進行中のディスプレイ表示：速度段階が増加するにつれて、バー インジケーターが進行します。 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 195 取扱説明書 ソフトスタートが完了した時のディスプレイ表示：「ソフトスタートモード」のメ ッセージがディスプレイに表示されなくなり、バーインジケーターも表示されなく なります。「始動中」のメッセージは「正常」のメッセージに置き換えられます。 必要に応じて、フロントパネルメニュー（自動ソフトスタート機能）またはシリ アルコマンド（WIN190 = 1の書き込み）を使用して、ポンプの自動ソフトスター ト機能を再度アクティブ化することができます。 このようにして、ターボポンプ は、最初の始動時にのみ、最初の始動時と同様に段階的なポンプブートのランプ を実行します。自動ソフトスタート機能の再アクティブ化は、停止状態にある場 合にのみ実行できます。 長期間の不稼働状態（60 日間またはそれ以上）の後、軸受に残存している潤 注 滑油の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモードでポンプを 開始する必要があります。 ソフトスタート」モダリティを有効にする一連の適切な使用方法を探すに 警告 は、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照してください（リモ ートについて： 技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意 味；搭載について ；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味）。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 196: Tps-Mobile コンパクトを停止する

     す（「0」の位置へ移動します）– TMPコントローラーはオンのままで、ゲー ジがシステムに接続されている場合は、ポンプがオフの場合でも圧力の読み 取りを続行できます。 ポンプをオフにする別のモードは、主要スイッチを使用することです（「0」  の位置へ移動します）– システムは完全にオフになり、読み取りや操作はで きなくなります。 システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気弁でポ 警告 ンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 非常停止 緊急時にTPS-mobileコンパクトをただちに停止するには、電源ケーブルを主電源プ ラグから抜くか、または外部のスイッチをオフの位置に動かす必要があります. これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使用 警告 は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モ ードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 修正された標準 TPS- モバイルのプラットフォームは、様々なニーズに合わせて調整するのに適し ているため、特別なTPS- モバイル PNをリリースできます。 Agilent は様々な構成をサポートしており、その説明はこのマニュアルの「注文可 能な部品」セクションに記載されています。 それでも、お客様のニーズに合うP / Nを見つけるのが難しい場合は、営業担当者へお問い合わせください 。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 197: メンテナンス

    取扱説明書 メンテナンス TPS-mobileル は、スクロールポンプを備えたバージョンの場合はメンテナンスを 必要とせず（先端シールの交換を除く）、ロータリーベーンポンプを備えたバー ジョンの場合はオイルの充填/交換を必要としません。システムに行う作業はすべ て、専門の技術者が実行する必要があります。 故障した場合は、Agilentサービスセンターへお問い合わせください。 もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従う ようご確認ください. ローターの寿命 ターボ分子ポンプローターの耐疲労性は、ポンプのサイズに強く依存します。正 しい値（停止から全速力へのランプアップおよび停止への復帰のサイクル数）に ついては、特定のポンプのマニュアルを参照してください。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレン トは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します または、詳細については Agilent カスタマーサービスにお問い合わせください。 クリーニング TPS-mobileコンパクトの外面は、中性洗剤のみ使用して掃除できます。. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 198 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 72 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 199: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されていま す）。 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 200: Instructions For Use

    Installation Preparation for installation Set-up TPS-mobile Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Startup and Operation of the TPS-mobile Soft Start Stopping the TPS-mobile Emergency stop Modified Standard Maintenance Rotor life Cleaning...

  • Seite 201: About This Manual

    Instructions for Use About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TPS-mobile, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Seite 202: Definitions And Terminology

    Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 203: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TPS-mobile. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
  • Seite 204 When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information. Generic hazard CE certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 205: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Seite 206: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TPS-mobile. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ...

  • Seite 207: Protective Equipment

    In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the TPS-mobile and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.

  • Seite 208: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    The pump is designed to pump high throughput of N2, Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for informations. The TPS-mobile is not intended to be used in presence of aggressive, corrosive or explosive gases. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 209: Transport & Storage

    Instructions for Use Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation. when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ...

  • Seite 210: Product Description

    It is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The TPS-mobile also has auxiliary connectors through which it is possible to control the vent valve, to drive it remotely via a host computer connected by serial line.

  • Seite 211: Installation

    Installation Preparation for installation The TPS-mobile is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the TPS-mobile that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Seite 212 Nevertheless, it is advisable to keep it in its original packaging until the time of installation, thus preventing any form of pollution by dust. The models reported on this User Manual are based on the Agilent pumping system platform named TPS-mobile, differences introduced by different PNs are related to TMP and Forepump integrated in the specific system and to the main voltage applicable to the system.

  • Seite 213: Set-Up

     temperature: refer to the manuals of the single TPS-mobile components  relative humidity: refer to the manuals of the single TPS-mobile components.  In the presence of magnetic fields the pumping system must be protected using a ferromagnetic shield.

  • Seite 214: Tps-Mobile Mounting

    TwisTorr 305 FS, the pump can be turned on even if installed on TPS-mobile. If TPS-mobile is equipped with pumps of sizes bigger than 305 FS, it can be used only to enable the pump (turbo pump off) that must be installed by means of its inlet flange in the customer’s system prior to activate TPS-mobile.
  • Seite 215 The high temperatures may cause burns. Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation. The WARNING bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 216 Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for venting the CAUTION pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). Do not use the pumping system in presence of explosive, toxic, fiammable WARNING or radioactive gases. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 217: Connection Of The High Vacuum Flange

    Agilent, there is the chance of the TPS-mobile twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening.

  • Seite 218: Installation Of Iso-K Flange

    Tighten the bolts with a torque of 22 Nm. For models with Turbo-V 551 use the required number of claw clamps: 10 for ISO 160 flange  Tighten the bolts with a torque of 25 Nm. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 219: Installation Of Conflat Flange

    In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Be careful when tightening nuts and bolts to avoid creating dents on the CAUTION! turbomolecular pump casing. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 220: Startup And Operation Of The Tps-Mobile

    Instructions for Use Startup and Operation of the TPS-mobile After TPS-mobile unpacking, perform a brief visual analysis of the system to be  sure that no sign of damages due to transportation is present (critical parts are: TMP flange, Forepump fastening brackets, system front panel and the system wheels).
  • Seite 221  The system is equipped with a main switch ((circuit breaker)) able to protect  the system components against overload or short-circuits. Move the breaker switch to the position “1” to start operating with the TPS-mobile. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 222 XGS-600 controller and the IMG-100 gauge both optional, if these are connected to the gauge connection port at the rear of the system. Gauge port Serial port Figure 82 Gauge connection Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 223 “Pumping” selector Figure 83 Start pumping PNs 9698404, 9698405, 9698406, 9698419, 9698430, 9698431, 9698432, NOTE 9698433, are not equipped with the selector named “Pumping”, the same function is provided by the pushbutton Start/Stop on the TMP controller. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 224: Soft Start

    During automatic soft start (first start), if this should be interrupted before it is completed (for example the controller shuts down due to network failure or a STOP message is sent to the controller), at the next restart the controller will reactivate the soft start ramp automatically. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 225 Display indications at the beginning of Soft Start: the display alternatively indicates STARTING with the bar indicator and the message "SOFT START MODE". Display indications with Soft Start in progress: bar indicator evolves as speed steps increase. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 226 Please refer to the controller’s relevant instruction manuals in order to find WARNING the appropriate set of instructions to activate the “soft start” modality (Remote: Chapter Technical Information – Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 227: Stopping The Tps-Mobile

    Improper use of this stop mode could void the warranty. Modified Standard TPS-mobile platform is suited to be tailored in according to many different needs so special TPS-mobile PNs can be released. Agilent provides support for many different configurations, descriptions of which can be found in the Orderable Parts section of this manual.

  • Seite 228: Maintenance

    The fatigue resistance of the turbomolecular pump rotor strongly depends on pump size. Refer to the specific pump manual for correct value (number of cycles of ramp up from stop to full speed and back to stop) or contact Agilent Customer Service for further information.

  • Seite 229: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 84 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 230: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 231: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TPS-mobile Turbopump Description Front Panel Electrical Devices Box 5 m TMP and Fan Cables Wheels Foreline Pumps Description Technical specification TPS-mobile Outline Inlet Screen Installation High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection Configurations...

  • Seite 232: Description Of The Tps-Mobile

    Technical Information Description of the TPS-mobile The TPS-mobile pumping system consists of a turbo molecular pump with related controller and a forepump and is available in models which differ in the TPM size, high vacuum flange, forepump and voltage. The models are:...
  • Seite 233 230Vac 50/60Hz 1.5kW X3581-64527 305FSQ_ISO100 TS300 230Vac 50/60Hz XGS-600 1.5kW X3581-64529 305FSQ_ISO100 TS300 230Vac 50/60Hz FRG-700 1.5kW X3581-64531 305FSQ_ISO100 TS600 230Vac 50/60Hz 1.5kW X3581-64533 305FSQ_ISO100 TS600 230Vac 50/60Hz XGS-600 1.5kW X3581-64535 305FSQ_ISO100 TS600 230Vac 50/60Hz FRG-700 1.5kW Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 234 115V 60Hz FRG-700 1.5kW X3581-64500 305FSQ_ISO100 DS302 115V 60Hz 1.5kW X3581-64502 305FSQ_ISO100 DS302 115V 60Hz XGS-600 1.5kW X3581-64504 305FSQ_ISO100 DS302 115V 60Hz FRG-700 1.5kW X3581-64506 305FSQ_ISO100 DS602 115V 60Hz 1.5kW X3581-64508 305FSQ_ISO100 DS602 115V 60Hz XGS-600 1.5kW Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 235 115V 60Hz 1.5kW X3581-64526 305FSQ_ISO100 TS300 115V 60Hz XGS-600 1.5kW X3581-64528 305FSQ_ISO100 TS300 115V 60Hz FRG-700 1.5kW X3581-64530 305FSQ_ISO100 TS600 115V 60Hz 1.5kW X3581-64532 305FSQ_ISO100 TS600 115V 60Hz XGS-600 1.5kW X3581-64534 305FSQ_ISO100 TS600 115V 60Hz FRG-700 1.5kW Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 236 -Main Switch -TMP Controller Handle -Pumping Selector -Gauge Control Unit (optional) 1-TMP TMP fan TMP Height Setting-Up System 3-Electrical Devices Box 6-Foreline 4-5m long Pump TMP and Fan Cables 5-Wheels Vibration (with brake) Dampers Figure 85 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 237: Turbopump Description

    A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating (TwisTorr 74 FS, TwisTorr 305 FS, TwisTorr 305 FSQ). The pump is balanced after assembly with a low residual unbalance amplitude. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 238: Front Panel

    Pumping Selector  TPS-mobile versions equipped with 74 FS or 305 FS or 305 FS or 305 FSQ include an electrical selector named “Pumping” on the left side of the front panel. It is aimed to pumps management (ON/OFF). By means of “Pumping” selector you are able to start pumping;...

  • Seite 239: Electrical Devices Box

    Wheels TPS-mobile is provided with four wheels allowing the system to be moved and located where vacuum is needed. Two out of four wheels are provided with a breaking system to avoid accidental moving of the pumping system during operation.

  • Seite 240: Foreline Pumps Description

    Technical Information Foreline Pumps Description TPS-mobile can be equipped both with a dry pump (Scroll type) or with an oil sealed Rotary Vane Pump. TPS-mobile versions equipped with a Scroll pump are free of contaminating agents and therefore are suitable for applications requiring “clean”...
  • Seite 241 Technical Information TPS-mobile versions equipped with RVPs are reported in the "Description of the TPS-mobile" section. Figure 87 A metal rotor is located (eccentric) into a round pumping chamber. Two sliding vanes are placed in the rotor. The vanes are pushed toward the stator wall either by springs.

  • Seite 242: Technical Specification

    Compliance with: EN 55011 (Class A Group 1) EN 61326-1 EN 61010-1 EN 1012-2 EN 12100 RoHS: EN 63000 Indoor Use Only Max altitude 2000 m Serial Communication kit A-Plus Storage Temperature -20 °C to +70 °C Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 243 -20 °C to +70 °C According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leakfree test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 244 When the TPS-mobile has been stored at the minimum prescribed ambient NOTE operating temperature (5°C for TPS-mobile equipped with Scroll Pump and 12°C for TPS-mobile equipped with Rotary Vane Pump), wait until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 245 Compliance with: EN 55011 (Class A Group 1) EN 61326-1 EN 61010-1 EN 1012-2 EN 12100 RoHS: EN 63000 Indoor Use Only Max altitude 2000 m Serial Communication kit None Storage Temperature -20 °C to +70 °C Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 246 -20 °C to +70 °C According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leakfree test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 247 When the TPS-mobile has been stored at the minimum prescribed ambient NOTE operating temperature (5°C for TPS-mobile equipped with Scroll Pump and 12°C for TPS-mobile equipped with Rotary Vane Pump), wait until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 248 Technical Information Table 6 TPS-mobile 230 V Technical Specification Characteristic X3581-64001, X3581-64003, X3581-64005, X3581-64007, X3581-64009, X3581-64011, X3581-64013, X3581-64015, X3581-64017, X3581-64019, X3581-64021, X3581-64023, X3581-64024, X3581-64025, X3581-64026, X3581-64028, X3581-64030, X3581-64032 Turbo Pump 305 FS TMP Flange CFF 6 Forepump IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP-15, TS300, DS302, DS602...
  • Seite 249 Technical Information Table 7 TPS-mobile 115 V Technical Specification Characteristic X3581-64000, X3581-64002, X3581-64004, X3581-64006, X3581-64008, X3581-64010, X3581-64012, X3581-64014, X3581-64016, X3581-64018, X3581-64020, X3581-64022, X3581-64027, X3581-64029, X3581-64031 Turbo Pump 305 FS TMP Flange CFF 6 Forepump IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP-15, TS300, DS302, DS602...
  • Seite 250 When the TPS-mobile has been stored at the minimum prescribed ambient NOTE operating temperature (5°C for TPS-mobile equipped with Scroll Pump and 12°C for TPS-mobile equipped with Rotary Vane Pump), wait until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 251 Technical Information Table 8 TPS-mobile 230 V Technical Specification Characteristic X3581-64501, X3581-64503, X3581-64505, X3581-64507, X3581-64509, X3581-64511, X3581-64513, X3581-64515, X3581-64517, X3581-64519, X3581-64521, X3581-64523, X3581-64525, X3581-64527, X3581-64529, X3581-64531, X3581-64533, X3581-64535 Turbo Pump 305 FSQ TMP Flange ISO 100 Forepump IDP-7, IDP-15, TS300, TS600, DS302, DS602...
  • Seite 252 When the TPS-mobile has been stored at the minimum prescribed ambient NOTE operating temperature (5°C for TPS-mobile equipped with Scroll Pump and 12°C for TPS-mobile equipped with Rotary Vane Pump), wait until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 253 Technical Information Table 9 TPS-mobile 115 V Technical Specification X3581-64500, X3581-64502, X3581-64504, X3581-64506, Characteristic X3581-64508, X3581-64510, X3581-64512, X3581-64514, X3581-64516, X3581-64518, X3581-64520, X3581-64522, X3581-64524, X3581-64526, X3581-64528, X3581-64530, X3581-64532, X3581-64534 Turbo Pump 305 FSQ TMP Flange ISO 100 Forepump IDP-7, IDP-15, TS300, TS600, DS302, DS602...
  • Seite 254 NOTE operating temperature (5°C for TPS-mobile equipped with Scroll Pump and 12°C for TPS-mobile equipped with Rotary Vane Pump), wait until the TPS-mobile has reached the above mentioned temperature. Figure 88 Graph of pressure vs time with TwisTorr 305 and IDP-7 pump, pump down vol.

  • Seite 255: Tps-Mobile Outline

    Technical Information TPS-mobile Outline The following figure shows the TPS-mobile outline (with XGS-600). Dimensions: millimeters [inches] Figure 89 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 256: Inlet Screen Installation

    0.7 mm diameter. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump. TPS-mobile is always provided with inlet screen fitted on. Agilent suggest not to remove the TMP inlet screen, to avoid accidents involving the pumping system tool and/or pumping system users.

  • Seite 257: High Vacuum Flange Connection

    Figure 92 For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange.

  • Seite 258: High Vacuum Flange Connection Configurations

    Technical Information High Vacuum Flange Connection Configurations Figure 93 Figure 94 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 259: Electrical Connections

    The following figure shows the input power connector. Retention Spring Power cord plug Figure 95 Connection to main PN 9698433 is already supplied with an integrated power cord so you don’t need NOTE to perform this step. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 260: Gauge - Serial Line Connection

    Gauge Connector (with TwisTorr 74 FS, TwisTorr 305 FS and TwisTorr 305 FSQ) TPS-mobile is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge (FRG-700). The Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge).

  • Seite 261: Gauge Connector (With Turbo-V 551)

    Technical Information Gauge Connector (with Turbo-V 551) TPS-mobile is equipped with an optional Gauge Control named Agilent XGS-600. By means of XGS-600 is possible to manage a couple of gauges to monitor pressure on system foreline; by means of a ConvecTorr gauge (1x10...

  • Seite 262: Connection Schematics

    Technical Information Table 10 Signal name +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Not used A + (RS485) Not used B - (RS485) RESERVED Connection Schematics Remote Controller Figure 100 RS – 232 Connection Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 263 (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port connections. Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions NOTE unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the 0-subconnector.

  • Seite 264: Serial Communication Description

    This unit can comunicate by two different protocol: protocol (old system) “letter”  “Window” protocol (new system)  These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. NOTE Please use “Window” protocol for new development. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 265: Letter Protocol Description

    Parameters writing  "I" = Request for operating status  "J" = Request for numerical reading  "K" = Request for counters reading.  CRC corresponds to the sum (with inverted sign) of all the preceding bytes. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 266 START command "A" in ASCII code = 41; inverted it will be: FF + 1 - 41 = BF. Table 11 Character ASCII Converted ASCII for CRC Calculation "A" "B" "C" "D" "E" "F" "G" "H" "I" "J" "K" "ACK" "NACK" Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 267 R2 Status * The values for current and voltage are given as numbers, scaled from 0 to 255, where 0 corre-sponds to 0 V and 255 to the full scale voltage (130 V) or current (2.5 A). Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 268 The following parameters can be changed: Table 14 Bytes Meaning Speed threshold Run up time in seconds (long coded in 4 bytes) Deat time (0 = NO 1 = YES) Reserved Soft Start mode (0 = YES 1 = NO) Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 269 When the Request is "J" (Numerical readings), the answer will contain a string of 5 characters with the following parameters: Table 16 Bytes Meaning Current (0-255 scaled) Voltage (0-255 scaled) Rotational speed KRPM Pump temperature °C (0-254 temperature reading, 255 = fail) Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 270 When the Request is "K" (Counters readings), the answer will contain a string of 11 characters with the following parameters: Table 17 Bytes Meaning Cycle time Pump life 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Agilent. Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 271: Window Protocol Description

    ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data NOTE is the corresponding ASCII character. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 272 MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 273 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 274: Examples

    Technical Information Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 275 Technical Information Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 276 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 277: Window Meanings

    2 = 2400 bit/s 3 = 4800 bit/s 4 = 9600 bit/s Pump life/Cycle time/Cycle number To reset write ‘1’ reset Interlock type. Impulse = 0 The interlock can be checked at start Continuous = 1 (impulse) or continuously Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 278 Off = 0 Vent valve opening time 0¸65535 (from 0 to 13107s) (1unit = 0.2s; 0 = infinite) (Ref. to “vent connector” paragraph) Actual maximum power limit (W) (It reads the maximun power deliverable to the pump) Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 279 (with X = 0 to 9; s = + or -) Threshold value is meaningful if win101 = 4 Start Output Config. 0 = Starting (Output ON only with pump Status = Starting) 1 = Running (Output ON when the pump is running) Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 280 Meaning Admitted Factory Write Values 0 = Not configured Gauge Gas Type 1 = Nitrogen (TPS-mobile equipped with 551 2 = Argon pump does not have this window) 3 = Hydrogen 4 = Other Correction Factor for 10¸999 Custom Gauge...
  • Seite 281 Values Gauge Power Mode 4 = Power On Set Point 3 3 = Power On Set Point 2 (TPS-mobile equipped with 551 2 = Power On Set Point 1 pump does not have 1 = Power On Always this window) 0 = No Power Cycle time in minutes;...
  • Seite 282 Technical Information TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. OVERRIDE RUN UP TIME Figure 103 Window N. 206 Bit Description Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 283: Pumping System Component Info

    Technical Information Pumping System Component Info Here following the complete list of the TPS-mobile Part numbers. By clicking on the PN referred to your system, specific information about single components integrated in your TPS-mobile will be showed beside the picture. For each component PN, component name and user manual reference are reported.
  • Seite 284 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 699908410 699908410 TQNa74e1 TQNa74e1 Gauge Figu re 105 Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 285: Troubleshooting Chart

    Check if the vent valve is screwed closed completely down Leak on Vent Valve Check the Vent valve sealing o-ring positioning and intactness TMP stopped and the Room temperature higher than 35 °C [95 F] Controller shows the message “Pump Overtemp” Agilent TPS-mobile User Manual...

  • Seite 286: Accessories And Spare Parts

    Gauge KIT DIY FRG-700 / 305 FS and 305 FSQ ISO 100 9699194 Gauge KIT DIY FRG-700 / 305 FS CFF 6’’ 9699201 Gauge KIT DIY FRG-700 / 305 FS ISO 160 9699195 Gauge KIT DIY FRG-700 / 305 FS CFF 8’’ 9699202 Agilent TPS-mobile User Manual...
  • Seite 292 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Seite 293 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2021 Edition G.00, 11/21 *87-901-005-01* *87-901-005-01* 87-901-005-01...

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