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19.2.1
NA-Grenzwert, typische Vergrößerung und Messebenenabstand
Das Zusammenwirken der optischen Komponenten ermöglicht es, eine quer zur z‑Achse und außerhalb des
Messgeräts liegende Messebene auf den CCD‑Sensor im Geräteinneren abzubilden. Drei wichtige Größen
sind dabei im Zusammenhang zu betrachten (siehe Tab. 19.1): der Grenzwert der Numerischen Apertur (NA‑
Grenzwert), die typische Vergrößerung und der Messebenenabstand.
Der Messebenenabstand ist der Abstand der Messebene zum Messobjektiv. Die in Tab. 19.1 angeführten
Werte entsprechen jeweils dem Abstand der Messebene zur Oberkante des Messobjektivs. Der Messebe‑
nenabstand ist wesentlich für das manuelle Ausrichten des Gerätes entlang der z‑Achse (siehe 8.3.1 auf
Seite 23).
Messobjektiv
NA-Grenz-
werte
3,3x
1 064 nm
0,1
532 nm
0,1
355 nm
0,09
5x
1 064 nm
0,19
532 nm
0,18
355 nm
0,14
10x
1 064 nm
0,24
532 nm
0,24
355 nm
0,17
Tab. 19.1:
NA‑Grenzwerte, typische Vergrößerung und Messebenenabstand
*) Nur zur Justage verwendbar
FO = Feldobjektiv
SWV = Strahlwegverlängerung
Beim Verwenden des Schutzglases mit 1,5 mm Dicke vergrößert sich der Messebenenabstand um
ca. 500 µm.
Aufgrund von Fertigungstoleranzen sind die in Tab. 19.1 angeführten Werte des Messebenenab‑
stands mit einem Fehler von ± 800 µm behaftet. Es besteht allerdings die Möglichkeit, den Messe‑
benenabstand der Messobjektive auf ± 50 µm genau validieren zu lassen (TCP‑Bestimmung).
92
Typ. Vergrößerung
Standard
mit SWV
3,12
5,65
3,23
5,81
3,36
6,02
4,96
8,31
5,15
8,6
5,35
8,92
8,84
14,39
9,17
14,91
9,62
15,6
MicroSpotMonitor MSM+
Messebenenabstand in mm
mit FO
Standard
1,12
73
1,11
70,5
*)
67,3
1,63
51,1
1,59
49,3
*)
47,2
2,77
29,9
2,72
‑
*)
‑
mit SWV
mit FO
64,6
63,7
62,6
61,5
60,1
57,7
47,1
46,7
45,7
45,1
43,8
42,7
27,9
27,6
‑
‑
‑
‑
Revision 01 DE – 03/2021
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